标准解读

《JJG 901-1995 电子探针分析仪》是一项国家计量检定规程，专门针对电子探针分析仪的性能测试与校准方法进行了详细规定。该标准适用于新制造、使用中以及修理后的电子探针分析仪的质量控制与技术评估。

根据此标准，电子探针分析仪的主要技术指标包括但不限于分辨率、稳定性、重复性等关键参数。对于分辨率的要求，涵盖了空间分辨率和能量分辨率两方面；而稳定性则是指仪器在一定时间内保持其测量结果不变的能力；重复性则反映了多次测量同一样品时数据的一致性程度。

此外，《JJG 901-1995 电子探针分析仪》还明确了具体的检定项目及其相应的技术要求，如X射线强度比值测定、元素定量分析误差范围等，并提供了详细的检定条件设置指导及操作步骤说明。通过这些规定，确保了不同型号或品牌的电子探针分析仪之间具有可比性的测量结果，同时也为用户提供了选择合适设备的技术依据。

该标准强调了对环境条件（如温度、湿度）的控制要求，以保证检定过程中外界因素对结果影响最小化。同时，也提出了关于仪器维护保养方面的建议，旨在延长使用寿命并保持最佳工作状态。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 1995-10-19 颁布
  • 1996-03-01 实施
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JJG 901-1995电子探针分析仪_第1页
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文档简介

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG901—1995

电子探针分析仪

ElectronProbeMicroanalyzer

1995-10-19发布1996-03-01实施

国家技术监督局发布

JJG901—1995

电子探针分析仪检定规程췍췍

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ElectronProbeMicroanalyzer

本检定规程经国家技术监督局于年月日批准并自年

19951019,1996

月日起施行

0301。

归口单位:上海市技术监督局

起草单位:上海市测试技术研究所

本规程技术条文由起草单位负责解释

JJG901—1995

本规程主要起草人:

张训彪上海市测试技术研究所

()

JJG901—1995

目录

一概述…………………

(1)

二技术要求……………

(1)

三检定条件……………

(2)

四检定项目和检定方法………………

(2)

五检定结果的处理和检定周期………

(5)

附录电子探针分析仪检定记录……………………

1(6)

附录检定证书背面格式……………

2(8)

JJG901—1995

电子探针分析仪检定规程

本规程适用于新制造使用中和修理后的电子探针分析仪以下简称电子探针的

、()

检定也适用于配有波谱仪具有元素分析功能的扫描电子显微镜的检定

,。

一概述

电子探针主要用于测定固体样品中微小区域内原子序数从号硼至号铀

5()92()

元素的种类和含量同时可以用于分析样品表面的形貌其原理是用细聚焦一定能量

,。:

的电子束轰击样品样品在电子的作用下产生射线二次电子等信息用波谱仪将

,X、。

射线按波长进行分散并测定特征射线的强度根据特征射线的波长确定元素

X,X。X

的种类根据特征射线的强度进行修正计算确定元素的含量用二次电子成像分

;X,。

析表面形貌

。

电子探针主要由电子光学系统射线色散系统信号接收放大和显示系统计算

、X、、

机系统真空系统供电系统等部分组成

、、。

二技术要求

电子探针按其性能分为一级二级三级

、、。

外观

1

标明仪器名称型号制造单位出厂日期出厂编号等面板上的标记清晰部

、、、、;;

件装配牢固导线连接可靠无影响计量性能的损伤操作自如运转正常

;;;,。

放大倍数示值误差

2

一级不超过二级不超过三级不超过

±5%;±10%;±20%。

二次电子像分辨力

3

一级不大于二级不大于三级不大于

10nm;20nm;50nm。

探针束流稳定度

4

一级不大于-3二级不大于-3三级不大于-3

3×10;5×10;10×10。

束斑位置稳定度

5

一级不大于二级不大于三级不大于

0.5μm;1μm;2μm。

样品台重复性

6

一级不超过二级不超过三级不超过

1μm;2μm;5μm。

射线强度重复性

7X

一级不大于二级不大于

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