JJF 1967-2022激光衍射法反射光栅校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1967—2022

激光衍射法反射光栅

校准规范

CalibrationSpecificationforReflectionGratings

byLaserDiffraction

2022-04-29发布2022-10-29实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1967—2022

激光衍射法反射光栅

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校准规范ॣॣ

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CalibrationSpecificationforReflectionॣৣ

GratingsbyLaserDiffraction

归口单位全国新材料与纳米计量技术委员会

:

主要起草单位中国计量科学研究院

:

参加起草单位同济大学

:

本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释

JJF1967—2022

本规范主要起草人

:

殷聪中国计量科学研究院

()

石春英中国计量科学研究院

()

参加起草人

:

王建波中国计量科学研究院

()

程鑫彬同济大学

()

邓晓同济大学

()

JJF1967—2022

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和计量单位

3………………………(1)

光栅

3.1…………………(1)

反射光栅

3.2……………(1)

间距

3.3…………………(1)

平均间距

3.4……………(1)

利特罗结构

3.5…………(1)

利特罗角

3.6……………(1)

二维光栅正交性

3.7……………………(1)

概述

4……………………(2)

计量特性

5………………(2)

校准条件

6………………(2)

环境条件

6.1……………(2)

测量标准及其他设备

6.2………………(3)

校准项目和校准方法

7…………………(3)

一维反射光栅平均间距

7.1……………(3)

二维反射光栅平均间距

7.2……………(4)

二维反射光栅正交性

7.3………………(4)

校准结果表达

8…………(5)

复校时间间隔

9…………(5)

附录校准记录内容

A…………………(6)

附录校准证书内页内容

B……………(11)

附录不确定度评定示例

C……………(13)

附录衍射法测量反射光栅间距的原理

D……………(22)

Ⅰ

JJF1967—2022

引言

本规范依据通用计量术语及定义国家计量校准规范编写

JJF1001《》、JJF1071《

规则编制参考了纳米技术人造光栅的描述测量和几何

》,IEC/TS62622:2012《,

量的质量参数

》(Nanotechnologies—Description,measurementanddimensionalquality

一维光栅比对

parametersofartificialgratings)、Nano4(Nano4comparisonon1Dgrat-

二维光栅比对测量不确定度的评

ings)、Nano5(Nano5comparisonon2Dgratings),

定按照测量不确定度评定与表示进行

JJF1059.1《》。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF1967—2022

激光衍射法反射光栅

校准规范

1范围

本规范适用于平均间距为能观测到衍射现象的一维或二维反

(140~2000)nm、

射光栅的校准

。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

光学仪器术语

GB/T13962—2009

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和计量单位

光栅

3.1grating

一种表面排列大量精细的相互平行的等距的周期性的相同的结构的光学器

、、、、

件其周期性结构既可以是直线阵列也可以是沿直线排列的点阵

。,。

注:此处光栅的定义与/—《光学仪器术语》中光栅的定义不同。此处的

GBT1396220096.139

定义仅针对被校准对象的特征。

反射光栅

3.2reflectiongrating

入射光与衍射光在光栅工作面同一侧的衍射光栅

。

间距

3.3pitch

光栅上相邻结构之间的距离

。

注:单位为。

1nm

注:一般用结构的中心距确定间距,有些情况下也可以用结构的边界确定间距。