标准解读
《JJF 1916-2021 扫描电子显微镜校准规范》相较于《JJG 550-1988》在多个方面进行了更新和调整,以适应技术进步与行业需求。首先,在适用范围上,《JJF 1916-2021》不仅涵盖了传统的扫描电子显微镜,还增加了对环境扫描电镜等新型设备的支持,反映了近年来该领域内仪器类型和技术的发展趋势。
其次,在术语定义部分,《JJF 1916-2021》引入了一些新概念,并对原有术语进行了修订或补充说明,使得标准更加符合当前国际通用的语言习惯和技术理解水平。例如,“分辨率”、“放大倍率”等关键性能指标的定义得到了细化和完善。
再者,针对校准项目,《JJF 1916-2021》增加了更多关于图像质量评价的内容,如信噪比、对比度均匀性等参数,这些新增项能够更全面地反映SEM(扫描电子显微镜)的实际工作状态。同时,对于已有的校准项目,如分辨率测试方法等,《JJF 1916-2021》也提供了更为详细的操作指导及要求,提高了校准过程的一致性和可重复性。
此外,《JJF 1916-2021》还特别强调了不确定度评估的重要性,并给出了具体实施指南,帮助用户更好地理解和控制测量结果中的不确定性因素。这体现了现代计量学中对数据准确性和可靠性的更高追求。
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....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2021-07-28 颁布
- 2022-01-28 实施
文档简介
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1916—2021
扫描电子显微镜校准规范
CalibrationSpecificationforScanningElectronicMicroscopes(SEM)
2021-07-28发布2022-01-28实施
国家市场监督管理总局发布
JJF1916—2021
扫描电子显微镜校准规范ৣॣ
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ॣJJF1916—2021ॣ
CalibrationspecificationforScanningॣॣ
ৣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣ
ॣ代替JJG5501988ॣ
ॣ—ৣ
ElectronicMicroscopes(SEM)
归口单位全国几何量长度计量技术委员会
:
主要起草单位中国计量科学研究院
:
参加起草单位广州市计量检测技术研究院
:
浙江省计量科学研究院
上海市计量测试技术研究院
山东省计量科学研究院
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JJF1916—2021
本规范主要起草人
:
李伟中国计量科学研究院
()
高思田中国计量科学研究院
()
施玉书中国计量科学研究院
()
参加起草人
:
古耀达广州市计量检测技术研究院
()
茅振华浙江省计量科学研究院
()
傅云霞上海市计量测试技术研究院
()
赵东生山东省计量科学研究院
()
JJF1916—2021
目录
引言
………………………(Ⅱ)
范围
1……………………(1)
引用文件
2………………(1)
术语和定义
3……………(1)
标准样板
3.1……………(1)
概述
4……………………(1)
计量特性
5………………(1)
校准条件
6………………(2)
环境条件
6.1……………(2)
校准用标准器
6.2………………………(2)
校准项目和校准方法
7…………………(2)
测长示值误差
7.1………………………(2)
正交畸变
7.2……………(3)
线性失真度
7.3…………(3)
校准结果表达
8…………(4)
复校时间间隔
9…………(4)
附录扫描电子显微镜测长示值误差的不确定度评定示例
A………(5)
附录比例尺校准值
B…………………(7)
附录校准证书内容及内页格式
C……………………(8)
Ⅰ
JJF1916—2021
引言
国家计量校准规范编写规则通用计量术语及定义和
JJF1071《》、JJF1001《》
测量不确定度评定与表示共同构成支撑本规范制修订工作的基础性系列
JJF1059.1《》
规范
。
本规范是对扫描电子显微镜试行的修订修订过程中参照
JJG550—1988《()》。
了纳米级长度的扫描电镜测量方法通则和
GB/T20307—2006《》GB/T27788—2011
微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则与相比除编辑性修
《》。JJG550—1988,
改外主要技术变化如下
,:
增加了扫描电镜测长示值误差的校准
———;
增加了Y方向的测长示值误差校准
———;
删除了真空度的测量
———;
删除了射线泄漏量的测量
———X;
增加了附录比例尺校准值
———B“”。
本规范的历次版本发布情况为
:
———JJG550—1988。
Ⅱ
JJF1916—2021
扫描电子显微镜校准规范
1范围
本规范适用于扫描电子显微镜的校准
。
2引用文件
本规范引用了下列文件
:
国家计量校准规范编写规则
JJF1071—2010
纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
GB/T20307—2006
凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文
,;
件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范
,()。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本规范
。
标准样板
3.1referenceartifact
具有多个等间距栅格的样板其栅格间距经过国家法定计量检定机构校准间距值
,,
溯源到国家基准
。
4概述
扫描电子显微镜以下简称电镜利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描电
(“
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