JJF 1663-2017激光测微仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1663—2017

激光测微仪校准规范

CalibrationSpecificationforLaserMicrometers

2017-11-20发布2018-02-20实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJF1663—2017

激光测微仪校准规范ৣॣ

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CalibrationSecificationforॣJJF1663—2017ॣ

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LaserMicrometers

归口单位全国几何量工程参量计量技术委员会

:

主要起草单位工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心

:

佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司

陕西省计量科学研究院

参加单位江苏省计量科学研究院

:

青海省计量检定测试所

中国计量科学研究院

本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

JJF1663—2017

本规范主要起草人

:

李江云工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心

()

李升春佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司

()

常青工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心

()

张辉陕西省计量科学研究院

()

参加起草人

:

王晓飞江苏省计量科学研究院

()

赵勇青海省计量检定测试所

()

崔建军中国计量科学研究院

()

JJF1663—2017

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

计量特性

4………………(2)

重复性

4.1………………(2)

漂移

4.2…………………(2)

示值误差

4.3……………(2)

校准条件

5………………(2)

环境条件

5.1……………(2)

校准用标准器及相应设备

5.2…………(2)

校准项目和校准方法

6…………………(2)

校准前准备

6.1…………(2)

重复性

6.2………………(3)

漂移

6.3…………………(3)

示值误差

6.4……………(3)

校准结果的表达

7………………………(4)

复校时间间隔

8…………(4)

附录激光测微仪示值误差测量结果不确定度评定

A………………(5)

附录校准证书信息及内页格式

B……………………(7)

Ⅰ

JJF1663—2017

引言

本规范是针对三角法测量的激光测微仪校准制定的计量技术规范

。

本规范的编写是以国家计量校准规范编写规则

JJF1071—2010《》、JJF1001—

通用计量术语及定义测量不确定度评定与表示为基础

2011《》、JJF1059.1—2012《》

和依据新制定的计量技术规范

。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF1663—2017

激光测微仪校准规范

1范围

本规范适用于采用光学三角法测量的激光测微仪的校准

。

2引用文件

测量仪器特性评定

JJF1094—2002

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3概述

激光测微仪以下简称测微仪是一种利用光学三角法测量原理测量物体位移

(),

尺寸变化的测量仪器主要由激光光源透镜光学阵列接收部件信号转换电路

(),、、、

等组成由激光光源发出的激光束垂直照射到被测物体表面形成光斑然后从另一角

。,,

度对物体表面的激光光斑进行成像由接收部件对其进行瞄准并记忆当被测物表面位

,。

置沿激光轴线方向产生位移后光学阵列接收部件感受到光斑的位置变化将变化量换

,,

算成位移变化L再通过信号转换系统显示出位移量其工作原理见