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文档简介

集成电路制造工艺实训中心维护改造去离子水处理系统改造原水桶增设上、下液位传感器和控制部分，起到报警和保护功能。原净化树脂桶已破损，必须新购替换。净化设备下增设接液盘，防止漏液外溢。硬件采购费用预计*万元；劳务费用预计*万元（含专用工具）；合计约*万元。镀膜设备检修电子腔电源异常，高压无法加载，必须检查维修。腔室阀门和气缸动作异常，需检修或采购更换。前、后级真空泵需检查维修。气、液体管路需要检修更换。预计硬件费用*万元；劳务费用预计*万元；合计约*万元。扩散炉检修（6管）温控异常：检查电源；检查温控器；检查热偶；检查所有连线。检查炉体，损坏涉及定制更换。检查石英，损坏涉及定制更换。温控异常检查工作量大，热偶、炉体、石英价格昂贵。硬件采购费用预计*万/管。劳务费用预计*万/管。合计约*万元（6管）。气房检修改造气瓶阀锈蚀，更换；空压机锈蚀，更换；地板、墙面损坏严重，需处理。材料费用预计*万元；劳务费用预计*万元；合计约*万元。总结&建议上述设备长期未进行维保，系统启动异常，部分功能已失效，通过上述检修和改造，可恢复其基本功能，同时，因设备老旧，恢复后也必须在资深人员的指导下操作。为适应国内集成电路行业的高速发展，建议适时配置一些新型的设备，比如：镀膜设备、扩散炉等设备，国产化的价格大多在每台*~*万之间

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