标准解读

《GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法》是一项国家标准，主要针对靶材（如用于半导体、显示器等行业的溅射靶材）与其支撑材料（背板）之间的粘结强度进行评价。该标准规定了测定靶材和背板之间结合力的方法，旨在为相关行业提供统一的测试依据。

标准中介绍了几种不同的测试方法，包括但不限于拉伸试验、剪切试验以及剥离试验等，每种方法都有其特定的应用场景和技术要求。例如，在进行拉伸试验时，需要将样品制备成一定规格，并通过专用设备施加均匀的外力直至靶材与背板分离；而剪切试验则是模拟实际使用过程中可能遇到的侧向力作用情况，考察两者间在水平方向上的抗剪性能；剥离试验则侧重于评估沿着界面逐渐施力条件下材料间的脱粘行为。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-11-19 颁布
  • 2021-10-01 实施
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文档简介

ICS19060

H22.

中华人民共和国国家标准

GB/T39163—2020

靶材与背板结合强度测试方法

Testmethodsofthebondingstrengthfortarget-backingplateassemblies

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T39163—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有色金属技术经济研究院宁波江丰电子材料股份有

:、、

限公司山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司贵研铂业股份有限公司

、、。

本标准主要起草人丁照崇陈明赵永善熊晓东贺昕林若虚李勇军张晓娜曹欢欢王云能

:、、、、、、、、、、

袁海军李利利曹晓萌张静王传军

、、、、。

Ⅰ

GB/T39163—2020

靶材与背板结合强度测试方法

1范围

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法

。

本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法

。

注靶材与背板结合方式包括钎焊传统焊料导电银胶纳米箔焊接等扩散焊电子束或激光焊爆炸焊摩擦

:(、、)、、、、

焊机械复合冷喷涂热喷涂等

、、、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

金属材料拉伸试验第部分室温试验方法

GB/T228.1—20101:

金属材料拉伸试验第部分高温试验方法

GB/T228.22:

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

金属材料力学性能试验术语

GB/T10623

静力单轴试验机的检验第部分拉力和或压力试验机测力系统的检验与

GB/T16825.11:()

校准

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件为了便于使用以下重复列出了

GB/T228.1—2010。,

中的某些术语和定义

GB/T228.1—2010。

31

.

靶材target

在溅射沉积技术中的阴极部分该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子的形

。、

式脱离阴极而在阳极表面沉积由靶坯和背板组成

。。

32

.

靶坯targetblank

阴极上用作溅射材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的部分

。

34

.

最大力maximumforce

F

m

试样在屈服阶段之后所能抵抗的最大力对于无明显屈服连续屈服的材料为试验期间最大

。(

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