GB/T 34002-2017微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法

ICS7104040

G04..

中华人民共和国国家标准

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

微束分析透射电子显微术用周期结

构标准物质校准图像放大倍率的方法

Microbeamanalysis—Analyticaltransmissionelectronmicroscopy—

Methodsforcalibratingimagemagnificationbyusingreference

materialshavingperiodicstructures

(ISO29301:2010,IDT)

2017-07-12发布2018-06-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语定义和缩写

3、…………………………1

图像放大倍率

4……………5

图像放大倍率的定义

4.1………………5

放大倍率的表示

4.2……………………5

标准物质

5…………………6

总则

5.1…………………6

对的要求

5.2CRM/RM………………6

储存与装卸

5.3…………………………6

校准步骤

6…………………6

总则

6.1…………………6

安装

6.2CRM/RM……………………6

设置校准的操作条件

6.3TEM………………………7

数字化图像的获得

6.4…………………8

照相底片图像的数字化

6.5……………8

数字图像上角度修正距离D的测量

6.6t………………9

校准像素尺寸的参考标尺的数字化

6.7………………12

图像放大倍率的校准

6.8………………13

标尺的校准

6.9…………………………14

仅用光学底片测量长度的校准法

6.10………………14

图像放大倍率的精度

7……………………15

测量结果的不确定度

8……………………15

校准报告

9…………………16

概述

9.1…………………16

校准报告的内容

9.2……………………16

附录资料性附录影响放大倍率的因素

A()TEM……………………18

附录规范性附录图像放大倍率校准步骤流程图

B()…………………19

附录规范性附录平均化线条数目的确定

C()…………20

确定线条数目以得到平滑轮廓线的方法

C.1…………20

实验结果举例

C.2………………………20

附录资料性附录校准放大倍率用的标准物质

D()……………………22

校准放大倍率标尺的标准物质

D.1(RM)……………22

Ⅰ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

校准像素尺寸的标准物质

D.2(RM)…………………22

一些纯元素的晶面间距

D.3……………23

具有周期性结构的图像示例

D.4………………………23

附录资料性附录放大倍率校准测试报告样本

E()TEM……………24

参考文献

……………………32

Ⅱ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准使用翻译法等同采用微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质

ISO29301:2010《

校准图像放大倍率的方法

》。

与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下

:

检测和校准实验室能力的通用要求

———GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

本标准对原文中的下列错误进行了修正

:

图中数码相机放大倍率MM修改为MM

———111s<gs<f;

中修改为

———6.6.2b)“SRM/RM”“CRM/RM”;

第行将修改为将N和L分别修改为N和L

———6.9.351nm1μm,u(nm)u(nm)u(μm)u(μm);

将第章引用的补充到规范性引用文件中

———7ISO5725-1:1994;

表中的银修改为硅是硅的化学符号点阵常数为银的化

———D.1(Si)(Si),Si(Silicon),0.543nm,

学符号是点阵常数为

Ag,0.409nm。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本标准起草单位北京科技大学

:。

本标准主要起草人柳得橹郜欣权茂华

:、、。

Ⅲ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

引言

透射电子显微镜广泛地应用于一系列重要材料微纳米结构的研究例如半导体金属纳米粒子

/,、、、

聚合物陶瓷玻璃食品以及生物材料本标准适用于图像放大倍率的校准规范了应用具有周期结构

、、、。,

的有证参考物质或参考物质校准透射电镜图像放大倍率的要求

。

Ⅳ

GB/T34002—2017/ISO293012010

:

微束分析透射电子显微术用周期结

构标准物质校准图像放大倍率的方法

1范围

本标准规定了透射电镜在很大放大倍率范围内所记录的图像的校准方法用于校准的标

(TEM)。

准物质具有周期性结构例如衍射光栅复型半导体的超点阵结构或射线分析的分光晶体以及碳金

,、X、

或硅的晶体晶格像

。

本标准适用于记录在照相胶片上或成像板上或数字相机内置传感器采集的图像的放大倍

TEM

率本标准也可用于校准标尺但不适用于专用的临界尺寸测长透射电镜和扫描透射电镜

。,(CD-TEM)

(STEM)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

检测和校准实验室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

指南与参考物质相关的术语和定义

ISOGuide30:1992ISO30:1992(Termsanddefinitions

usedinconnectionwithreferencematerials)

指南参考物质制造者技能的一般要求

ISOGuide34:2000ISO34:2000(Generalrequirements

forthecompetenceofreferencematerialproducer)

指南参考物质认证的一般原则和统计原理

ISOGuide35:2006ISO35:2006