标准解读

《GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》是一项国家标准，规定了使用触针式轮廓仪测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的方法。该标准适用于厚度在纳米级别的薄膜材料，其主要目的是提供一种精确、可重复的测量手段来确定这些薄膜的实际厚度。

根据此标准，测量过程首先需要准备待测样品，确保表面清洁无污染，并且没有明显的划痕或损伤。接下来，选择合适的触针式轮廓仪作为测试设备，这种仪器通过物理接触的方式沿着样品表面移动，记录下高度变化数据。为了保证测量结果的准确性，标准中还对环境条件如温度和湿度提出了具体要求，以减少外部因素对测量结果的影响。

此外，《GB/T 33826-2017》详细描述了如何设置参数、执行扫描以及处理获取的数据。它强调了校准的重要性，建议定期检查并调整设备状态，确保每次测量都能达到最佳效果。对于数据处理部分，则介绍了从原始信号到最终厚度值转换的具体步骤，包括但不限于基线修正、噪声过滤等技术应用。

最后，该标准还提供了关于报告编写的内容指南，包括但不限于测量日期、所用设备信息、实验条件及最终得出的薄膜厚度值等关键要素，以便于其他研究人员能够复现实验或验证结果。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-05-31 颁布
  • 2017-12-01 实施
©正版授权
GB/T 33826-2017玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法_第1页
GB/T 33826-2017玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法_第2页
GB/T 33826-2017玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法_第3页
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文档简介

ICS7104099

Q34..

中华人民共和国国家标准

GB/T33826—2017

玻璃衬底上纳米薄膜厚度

测量触针式轮廓仪法

Measurementofnanofilmthicknessonglasssubstrate—Profilometricmethod

2017-05-31发布2017-12-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

玻璃衬底上纳米薄膜厚度

测量触针式轮廓仪法

GB/T33826—2017

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20176

*

书号

:155066·1-56567

版权专有侵权必究

GB/T33826—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国科学院提出

。

本标准由全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会归口

(SAC/TC279/SC1)。

本标准主要起草单位中国建筑材料科学研究总院漳州旗滨玻璃有限公司宣城晶瑞新材料有限

:、、

公司冶金工业信息标准研究院

、。

本标准参加起草单位中国建材检验认证集团股份有限公司中国建材检验认证集团陕西有限公

:、()

司广东中科华大工程技术检测有限公司哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所

、、。

本标准主要起草人孟政刘静候英兰徐勇戴石锋汪洪梁慧超张继军张庆华代铮张卫星

:、、、、、、、、、、、

赵晋武郎岩梅

、。

Ⅰ

GB/T33826—2017

玻璃衬底上纳米薄膜厚度

测量触针式轮廓仪法

1范围

本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理仪器要求试验环境要求

、、、、

步骤及测试报告等

。

本标准适用于玻璃衬底上厚度在范围内的纳米薄膜厚度测量且薄膜与衬底之

10nm~1000nm,

间存在或可刻蚀出台阶其他硬质平面衬底可参考本标准执行

。。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

GB/T29505

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

掩模mask

选择性地阻挡辐照或物质穿透的掩蔽模板

。

32

.

化学蚀刻chemicaletching

利用表面材料在特定介质或特定环境下与腐蚀液发生化学反应而移除的技术

。

4原理

通过覆盖掩模或者化学蚀刻等手段在薄膜表面与玻璃衬底表面之间形成一个台阶如图所示

,1。

触针式轮廓仪的触针沿被测表面从运动到或从运动到同时采集表面轮廓数据根据采集

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