标准解读

《GB/T 33140-2016 集成电路用磷铜阳极》是一项国家标准，它规定了用于集成电路制造过程中电镀工艺的磷铜阳极的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。该标准适用于集成电路制造业中作为电镀材料使用的磷铜阳极。

根据标准内容，磷铜阳极按照其化学成分被分为不同的牌号，每个牌号对应特定范围内的铜含量和其他杂质的最大允许量。此外，还对磷铜阳极的外观质量提出了明确的要求，比如表面应平整光滑无裂纹等缺陷，并且尺寸公差也有具体规定。

对于物理性能方面，《GB/T 33140-2016》也给出了详细指标，包括但不限于导电率、硬度等关键参数。这些物理特性直接影响到最终产品的性能表现。

在测试方法上，本标准提供了针对各种技术要求的具体检测手段，确保所有产品均能满足既定的质量标准。例如，通过化学分析来测定材料中的元素组成；利用金相显微镜观察试样的微观结构以评估其组织状态等。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-10-13 颁布
  • 2017-09-01 实施
©正版授权
GB/T 33140-2016集成电路用磷铜阳极_第1页
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文档简介

ICS7715030

H62..

中华人民共和国国家标准

GB/T33140—2016

集成电路用磷铜阳极

Phosphorizedcopperanodeusedforintegratedcircuit

2016-10-13发布2017-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T33140—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司

:、。

本标准主要起草人高岩何金江姚力军曾浩刘书芹王学泽李勇军徐学礼赵玉林刘志杰

:、、、、、、、、、、

熊晓东陈明刘秀袁海军

、、、。

Ⅰ

GB/T33140—2016

集成电路用磷铜阳极

1范围

本标准规定了集成电路用磷铜阳极以下简称磷铜阳极的要求试验方法检验规则及标志包

(:)、、、

装运输贮存质量证明书和订货单或合同内容

、、、()。

本标准适用于集成电路用的各类磷铜阳极产品

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范光滑工件尺寸的检验

GB/T3177(GPS)

铜及铜合金化学分析方法第部分磷含量的测定

GB/T5121.22:

铜及铜合金化学分析方法第部分碳硫含量的测定

GB/T5121.44:、

铜及铜合金化学分析方法第部分铬铁锰钴镍锌砷硒银镉锡

GB/T5121.2828:、、、、、、、、、、、

锑碲铅铋量的测定电感耦合等离子体质谱法

、、、

金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则

GB/T14265、、、

铜及铜合金平均晶粒度测定方法

YS/T347

高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

YS/T922

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

磷铜阳极phosphorizedcopperanode

在集成电路中采用电化学电镀工艺制备高纯铜金属镀层的阳极

。

4要求

41产品分类

.

411磷铜阳极按形状分为圆形矩形和异形如三角形环形等示意图见图

..、(、),1。

a圆形b矩形c环形

)))

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