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  • 正在执行有效
  • 2014-07-24 颁布
  • 2015-04-01 实施
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GB/T 30859-2014太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法_第1页
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文档简介

ICS77040

H21.

中华人民共和国国家标准

GB/T30859—2014

太阳能电池用硅片翘曲度和

波纹度测试方法

Testmethodforwarpandwavinessofsiliconwafersforsolarcells

2014-07-24发布2015-04-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30859—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会及材料分技术委员会

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并归口

203/SC2)。

本标准起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司瑟米莱伯贸易上海有限公司有研半导体

:、()、

材料股份有限公司

。

本标准主要起草人薛抗美夏根平孙燕林清香徐自亮黄黎

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T30859—2014

太阳能电池用硅片翘曲度和

波纹度测试方法

1范围

本标准规定了太阳能电池用硅片以下简称硅片翘曲度和波纹度的测试方法

()。

本标准适用于硅片翘曲度和波纹度的测试

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

GB/T3505—2009(GPS)、

硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T6620

半导体材料术语

GB/T14264

产品几何技术规范表面结构轮廓法表面波纹度词汇

GB/T16747—2009(GPS)

产品几何技术规范表面结构轮廓法相位修正滤波器的计量特性

GB/T18777(GPS)

所有部分产品几何技术规范滤波

GB/Z26958()(GPS)

3术语和定义

和界定的术语和

GB/T3505—2009、GB/T14264、GB/T16747—2009、GB/T18777GB/Z26958

定义适用于本文件为了便于使用以下重复列出了和中的某

。,GB/T3505—2009GB/T16747—2009

些术语和定义

。

31

.

轮廓滤波器profilefilter

把轮廓分成长波和短波成分的滤波器在测量粗糙度波纹度和原始轮廓的仪器中使用三种滤波

。、

器见图它们都具有规定的相同的传输特性但截止波长不同

,1。GB/T18777,。

定义

[GB/T3505—2009,3.1.1]

32

.

λs轮廓滤波器λsprofilefilter

确定存在于表面上的粗糙度与比它更短的波的成分之间相交界限的滤波器见图

,1。

定义

[GB/T3505—2009,3.1.1.1]

33

.

λc轮廓滤波器λcprofilefilter

确定粗糙度与波纹度成分之间相交界限的滤波器见图

,1。

定义

[GB/T3505—2009,3.1.1.2]

34

.

λf轮廓滤波器λfprofilefilter

确定存在于表面上的波纹度与比它更长的波的成分之间相交界限的滤波器

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