标准解读

《GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范》相比于《GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件》主要在以下几个方面进行了更新与调整:

  1. 技术内容的扩充与细化:2012版标准在原有基础上,对离子束蚀刻机的技术要求进行了更加详尽的规定,包括设备的结构设计、材料选择、控制系统、安全性能等方面,以适应技术进步和行业发展的新需求。

  2. 性能指标的提升:新版标准提高了对离子束蚀刻机的加工精度、稳定性和效率等关键性能指标的要求,确保设备能够满足更高质量的加工需求,提升产品竞争力。

  3. 安全与环保要求:随着对安全生产和环境保护重视程度的增加,2012版标准加入了更多关于设备操作安全、辐射防护以及废弃物处理的相关规定,确保生产过程中的人员安全和环境友好。

  4. 测试方法与检验规则:对设备的测试方法和检验规则进行了修订和完善,提供了更为科学、可操作性强的检测手段,有助于统一检验标准,保证产品质量的可靠性。

  5. 兼容性与标准化:考虑到技术融合趋势,新标准加强了与其他相关国际标准的接轨,提高了设备的国际兼容性,方便国内外市场的交流与合作。

  6. 术语与定义的更新:根据技术发展,对一些专业术语和定义进行了修订或新增,以准确反映当前离子束蚀刻技术的特点和最新进展。

  7. 维护与服务要求:增加了对售后服务、用户手册内容、设备维护保养指导等方面的要求,强调了制造商需提供的全方位支持,以提升用户体验和服务质量。

这些变化旨在促进离子束蚀刻机技术的规范化、高效化及可持续发展,为相关产品的设计、制造、使用和维护提供更为具体和先进的指导。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2012-11-05 颁布
  • 2013-02-15 实施
©正版授权
GB/T 15861-2012离子束蚀刻机通用规范_第1页
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文档简介

ICS31-550

L97

中华人民共和国国家标准

GB/T15861—2012

代替

GB/T15861—1995

离子束蚀刻机通用规范

Generalspecificationofionbeametchingsystem

2012-11-05发布2013-02-15实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T15861—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准代替离子束蚀刻机通用技术条件

GB/T15861—1995《》。

本标准与相比主要变化如下

GB/T15861—1995:

由代替由代替

———GBn193—1983GB/T13384—1992,SJ2573—1985SJ/T10674—1995;

环境温度调整为见

———20℃±10℃[5.1a)];

束能量范围调整为可调见

———0~2000eV,(5.4.1);

表中束流密度2调整为22调整为2见表

———10.5mA/cm≥0.3mA/cm,1mA/cm0.8mA/cm(1);

增加束能量为时束流密度2见表

2000eV≥1mA/cm(1);

有效束径规格增加了ϕ和ϕ两种去掉了ϕ见

———50100,60(5.4.4);

中和方式增加了电子源中和器见

———“”(5.4);

对束流密度检测方法进行了更清楚的表述见

———(6.4.2);

膜厚均匀性为的蚀刻样片改为膜厚均匀性优于厚度制备了掩膜图案的

———“±5%”“±2%、2μm、

蚀刻样片见

”(6.4.10);

检验规则去掉例行检验项见

———(7);

增加包装前检查的条款见

———(8.2.1)。

本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出

本标准由中国电子技术标准化研究所归口

本标准起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所

:。

本标准主要起草人陈特超周大良

:、。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为

:

———GB/T15861—1995。

GB/T15861—2012

离子束蚀刻机通用规范

1范围

本标准规定了离子束蚀刻机的术语产品分类技术要求试验方法检验规则以及包装运输

、、、、、、

贮存

本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行

。。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191

包装运输包装件基本试验第部分正弦定频振动试验方法

GB/T4857.7—20057:

设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试

GB/T5080.7—1986

验方案

运输包装收发货标志

GB/T6388—1986

机电产品包装通用技术条件

GB/T13384—1992

电子工业专用设备通用规范

SJ/T142

金属镀层和化学处理层质量检验技术要求

SJ/T1276

涂料涂覆通用技术条件

SJ/T10674

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

31

.

束能量beamenergy

表征离子束中离子的动能

注单位为电子伏特

:(eV)。

32

.

束流密度beamcurrentdensity

离子束某一指定截面上单位面积所通过的电流强度

33

.

有效束径effectivebeamdiameter

打到靶上的束流密度均匀性在要求值不低于以内的束直径范围

(±5%)

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