拉晶标准化考试试题

拉晶标准化考试试题一、填空题1.车间的湿度要求是（），温度要求是（）。(答案：10-70,18-28)答案解析：1.湿度要求是10-70%，温度要求是18-28℃2.加料过程卡料或加不完，直接提出不得再尝试（），第一时间反馈值班主管，禁止（）。(答案：加料,私自处理)答案解析：2.加料过程卡料或加不完，直接提出不得再尝试加料，第一时间反馈值班主管，禁止私自处理3.拉料领料时确认（），防止拉错加错，或加多现象(答案：炉牌号)答案解析：3.拉料领料时确认炉牌号，防止拉错加错，或加多现象4.引晶的目标拉速在（）。(答案：180-210)答案解析：4.引晶的目标拉速在180mm/h-210mm/h5.点调温之前确认晶转为（）转，埚转（）转，氩气流量，干泵频率，炉压投闭环(答案：8,7)答案解析：5.点调温之前确认晶转为8转，埚转7转，氩气流量，干泵频率，炉压投闭环6.确定大盖毡的对中性，确定方法:（）。(答案：大盖毡内沿四点与下保温盖内沿距离相等)答案解析：6.确定大盖毡的对中性，确定方法：大盖毡内沿四点与下保温盖内沿距离相等7.吸盘压力表显示负压大于（），静置（）min吸盘压力无变化，可进行吊料操作。(答案：0.06,5)答案解析：7.吸盘压力表显示负压≥0.06MP，静置5min吸盘压力无变化，可进行吊料操作。8.清理炉盖时需要戴（）。(答案：安全帽)答案解析：8.清理炉盖时需要戴安全帽。9.停泵2小时后，再次开启主泵，抽（）后关闭主泵,禁止开启（）。(答案：10-20,球阀)答案解析：9.停泵2小时后，再次开启主泵，抽10min-20min后关闭主泵,禁止开启球阀10.吸盘下沿与埚帮上沿前后左右四点高度偏差小于（），若超出范围，需重新提升装置进行调整。(答案：3mm)11.拉晶过程中，如需校准实际直径，可根据（）个像素值对应实际直径为（）mm参考值进行校准。(答案：5,1)12.抽真空前需（），正确输入（）信息，之后点击抽空，系统自动进入抽空。(答案：初始化,投料量)13.收尾前，应根据（）、晶体（）是否达到收尾标准后再启动，收尾的目的是为了（）。(答案：剩料重量,晶体长度,排查位错)14.坩埚零位指的是:。(答案：埚帮上沿与加热器上沿平行的位置)15.单晶炉打开炉盖后，炉膛内充满（），氩气密度比空气（），会充满整个炉膛，不易扩散，因此（）人在主炉室没有打开的情况下，直接进入炉膛，否则会发生（）（氩气对人体无直接危害，但是大量吸入会造成人体缺氧窒息）。(答案：氩气,大,严禁,窒息死亡)一、简答题1.系统校正液口距的流程，步骤及关键点?（10分）答案解析：1、确认液口距捕捉线无跳动，换热器置于下限，校准系数1.4

2、CCD校准：液口距捕捉线捕捉到“月牙”左右边缘，捕捉稳定（跳动范围≤±0.2mm），像素实时值与平均值稳定后，在“液口距校准”框内点击“点击校准”

3、埚位放置：【运动控制】--升降埚位，使“液口距标准值”显示为20mm，下降埚位23个，使“液口距标准值”显示为36.5±1mm2.预防漏硅注意事项。（8分）答案解析：（1）装料前确认热场装配正常，上轴正常，石墨埚帮及石英坩埚合格。

（2）严格按照装料要求操作，避免砸伤石英坩埚，碰伤的坩埚退回坩埚房，经确认后再进行相关处理，禁止直接进行使用。

（3）提升上轴时注意隔离阀完全打开且上轴无摆动。

（4）回熔晶棒时，防止晶体一次性下降太多，戳坏石英坩埚。

（5）拉晶过程中要防止结晶造成漏硅。

（6）防止拉晶时多次断线回熔造成拉晶时间太长漏硅

（7）提升上轴时禁止升过上轴限位。3.简述晶体扭曲的原因以及处理方法。（8分）答案解析：1、炉内温度过低，拉速过高

2、液口距过大。

处理措施：

1、观察坩埚位置，若坩埚位置过低，液口距过大，则手动增大埚升，液口距合适后退出。

2、观察炉内情况，若液口距合适，则手动升温0.5kw,30min后查看晶棒情况，若还是变形再升0.5kw。4、简述异常停电处理方法。（10分）答案解析：所有人立马撤离至过道等通知

1、大于两分钟没来电

①设备开启柴油泵-电源柜来电

②进入片区进行处理-降埚，降晶转（埚位下降30mm,晶转给至0）

③撤离-安全区域

2、小于两分钟来电

①全部进入片区处理

②班长把所有主泵开关打开（除停炉炉台），主泵预热1min后，打开主室球阀，副室充气阀（主室充气阀）；主操负责打开负责炉台的主底加开关，并给定主底加功率（熔料加料：主底加90+70Kw,调温引放，等径75kw）,停炉炉台无需操作。

③降晶转，埚转，提出晶棒（晶转给至0，埚转下降30mm）\