标准解读

GB/T 14603-1993 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 三氟化硼》。该标准主要规定了电子工业中使用的三氟化硼气体的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保三氟化硼气体的质量满足电子工业的特定应用需求。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用于电子工业生产过程中使用的三氟化硼气体，规定了其基本要求及测试评估方法。

  2. 规范性引用文件：列出了实施本标准时所依据或参考的其他相关标准和文件，确保各项要求和技术指标的一致性和协调性。

  3. 技术要求：

    • 纯度：规定了三氟化硼气体的最低纯度要求，通常以体积分数或质量分数表示，以去除可能影响电子元件性能的杂质。
    • 水含量：限制了气体中的水分含量，因为水分可能对电子器件的制造过程产生不利影响。
    • 酸性物质和碱性物质含量：设定了酸碱性物质的限量，以防止这些物质对半导体材料造成腐蚀或污染。
    • 其它杂质含量：根据具体应用，可能还会对如氧气、氮气等其他可能存在的杂质作出限制。

  4. 试验方法：详细描述了如何通过化学分析、气相色谱等手段来检测三氟化硼气体的纯度、杂质含量等关键指标，确保检测结果的准确性和可重复性。

  5. 检验规则：包括产品出厂前的检验项目、抽样方法、判定规则等，以保证每批次产品的质量符合标准要求。

  6. 包装、标志、运输和储存：

    • 包装：规定了气体容器的材质、密封性要求，以及必要的安全标识。
    • 标志：要求在包装上明确标注产品名称、规格、批号、生产日期、有效期、生产厂家等信息。
    • 运输：提供了运输过程中的安全措施和注意事项，以避免泄漏、火灾等危险情况。
    • 储存：说明了适宜的储存条件，如温度、压力、避光等，以维持气体品质并确保使用安全。

此标准的实施有助于提升电子工业用三氟化硼气体的质量控制水平，保障半导体制造和其他精密电子加工过程的顺利进行。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 14603-2009
  • 1993-08-26 颁布
  • 1994-07-01 实施
©正版授权
GB/T 14603-1993电子工业用气体三氟化硼_第1页
GB/T 14603-1993电子工业用气体三氟化硼_第2页
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文档简介

UDC661G86中华人民共和国国家标准CB/T14603—93电子工业用气体三氟化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride1993-08-26发布1994-07-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准电子工业用气体三氟化硼GB/T14603-93中中国标准出版社出版发行北京西城区复兴门外三里河北街16号邮政编码：100045电话：63787337、637874471994年5月第一版2006年3月电子版制作书号：155066·1-24530版权专有权必究举报电话：（010)68533533

中华人民共和国国家标准GB/T14603-93电子工业用气体三氟化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride主题内容与适用范臣本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、财存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。分子式：BF，相对分子质量：67.805(按1989年国际相对原子质量）2引用标准GB190危险货物包装标志GB4844氮气GB4845氮气检验方法气体分析GB5274校准用混合气体的制备称量法GB5275气体分析校准用混合气体的制备诊透法GB7144气瓶颜色标记GB116406招合金无缝气瓶3技术要求三氟化硼的质量应符合下表的技术要求。优等品一等品合格品三氟化硼纯度,10-99.99599.9599.6空气含量,10-1004000二氧化硫含量，10-10四氟化硅含量，10-20300硫酸盐合量，10-10注：D表中纯度和含量均为摩尔分数。)质量保证期一年。试验方法4

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