LCD基本知识课件

LCD基本知识1LCD基本知识1内容一、LCD三大主材二、LCD的顯示原理三、LCD工藝流程

2内容一、LCD三大主材2一、LCD的三大主要材料为：

导电玻璃、液晶、偏光片1、导电玻璃导电玻璃，是在普通玻璃（无钠硼硅玻璃）的一个表面镀有透明导电膜的璃。最常用的导电玻璃是氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃.☆导电玻璃参数

㈠透光率在可见光范围内的透光率在80%以上。ITO玻璃的透光率影响因素有:玻璃材料、ITO厚度、折射率.

备注：ITO膜厚度250~2000埃（1埃=10-10米）

ITO膜玻璃衬底一﹑LCD三大主材3一、LCD的三大主要材料为：ITO膜玻璃衬底一﹑LCD三㈡方阻值

ITO膜导电性能采用的指标是方块电阻，用R□表示。R□与ITO的体电阻率及ITO膜厚有关；ρ为导电膜的体电阻率

d为膜厚

式中，R□单位为：(Ω/□)；方块电阻通常用四探针测试仪来测定，一般有15、20、30、60、80、100、180欧姆等。㈢平整度平整度是指玻璃表面在一定范围内的起伏程度；平整度可用h/L表示,为在长度L的范围内,表面最高点与最低点的差值为h.如图所示：R□=dρ4㈡方阻值R□=dρ4ITO玻璃基板平整度直接影响着液晶显示器的质量，对STN液晶显示器的影响更大。一般TNLCD用玻璃要求平整度小于0.5um/20mm，STNLCD用玻璃要求平整度小于0.05um/20mm。㈣机械性能、化学抗蚀与抗热性能导电玻璃整体要有足够的机械强度，易于生产。ITO膜能抗强碱，易被酸腐蚀。温度升高，面电阻增大

Lh玻璃表面5ITO玻璃基板平整度直接影响着液晶显示器的质量，对S2、液晶液晶为一种新的物理相态。在1888年由奥地利科学家FriedrichReinitzer发现的。加热到晶体熔化时，变化成了乳白色混浊液体，继续加热乳白色液体则变成完全透明的液体，降温过程中此现象也同样出现。用偏光显微镜观察乳白色液体与一般的液体不同，呈现光学各向异性，即物体内分子有一定程度的有序排列，这与传统的固体、液体概念不同，被定义为液晶。㈠液晶的技术参数

相变温度（Tsn/Tni）

阈值电压Vth

体积电阻率ρ(Ω.CM)

手性剂C(dopant)

粘度(CP.S)

陡度（STEEPNESS）Vst/Vth

双折射率差ΔN

介电系数Δε

弹性系数（K11\K22\K33)

螺距P

62、液晶63、偏光片㈠偏光片结构透射型、半透射型及全反射型为最常见的三种偏光片类型，另还有位相差补偿型及普通TFT片等。离型膜

Releasefilm感压胶

AdhesiveTACPVATAC保护膜

Protectionfilm透射型保护膜

Protectionfilm半透膜Transflectivefilm感压胶AdhesiveTACPVATAC感压胶

Adhesive离型膜

Releasefilm半透射型反射膜感压胶

AdhesiveTACPVATAC感压胶

Adhesive离型膜

Releasefilm反射射型73、偏光片离型膜Releasefilm感压胶PVA:PVA膜是一种高分子聚合物，用各类具有二向色性的有机染料进行染色，同时在一定的湿度和温度条件下进行延伸，使其吸收二向色性染料形成偏振性能，在脱水、烘干后形成偏光片原膜。TAC：PVA膜具有亲水性，在湿热的环境中很快会变形、收缩、松弛、衰退、且强度很低，质脆易破，不便于使用和加工，因此在膜两边都复合上一层强度高、透光率高而又耐湿热的TAC膜，起保护作用。㈡偏光片的主要技术指标

作为LCD三大主要材料之一的偏光片，LCD的显示性能与偏光片均有很大的关系。通常偏光片的性能评价指标分为外观性能、光学性能、粘附性能、耐候性能，其它特殊性能等。8PVA:PVA膜是一种高分子聚合物，用各类具有二向色性（1）颜色（外观性能）：普通偏光片为灰色，细分为中灰和蓝灰。但随着LCD品种的多样化，相应需求的彩色偏光片也相继出现，目前最常用的为紫色，其它还有蓝色、黄色、红色等多种颜色的偏光片。（2）有效厚度（外观性能）

：指偏光片的总厚度，包括基片厚度，胶厚度和保护膜厚度。（4）透光率和透射光谱（光学性能）：透光率T=Iout/Iin,其中Iout,Iin分别为透过偏光片的光强和入射偏光片的光强，理想情况下，垂直偏光轴方向振动的光被完全吸收，相当于光的一半通过，即T=50%，通常分单体透光率，平行透光率和直交透光率。透射光谱：LCD要求偏光片在整个可见光范围内的透光率是均匀的，即透光光谱曲线要平直，否则出射的光会带有颜色，影响显示效果。（3）偏光度（光学性能）：偏光度也称为偏振率，其定义为：P=（I平行-I垂直）/（I平行+I垂直）×100%，式中I平行，I垂直分别是自然光经偏光片后，振动方向沿偏光片偏光轴和垂直偏光轴方向上透射光光强。理想情况下I垂直=0，此时P=1，偏振率为100%9（1）颜色（外观性能）：（2）有效厚度（外观性能）：（4）（5）色相（光学性能）：指偏光片颜色所对应的色坐标值（NBS），通常以三个参数值来表示：a,b,L值。（6）耐高温（耐候性能）耐高温是指偏光片在一定烘烤温度下的外观性能、光学性能及粘附性的稳定性，目前根据偏光片的技术等级，主要分为以下三个等级（普通型、中耐久型、高耐久型）（7）耐湿热（耐候性能）耐湿热技术指标是指偏光片在恒温恒湿条件下外观性能、光学性能及粘附性能的稳定性，它也通常分为三个技术等级（普通型、中耐久型、高耐久型）10（5）色相（光学性能）：（6）耐高温（耐候性能）（7）耐湿热二﹑LCD顯示原理2.1LCD基本構造

11二﹑LCD顯示原理2.1LCD基本構造11a.偏光片有一固定光軸,它的作用只允許偏振方向與其偏光軸相同的光通過,其余的光被吸收,即自然光通過偏光片后,只剩下振動方向與偏光軸相同的光,即線性偏光.b.偏光片使線性偏振光在通過液晶盒時,其偏振方向沿著液晶分子扭轉90˚c.當液晶盒上下兩個偏光片的偏光軸互相平行時,為黑底白字.d.當液晶盒上下兩個偏光片的偏光軸互相垂直時,為白底黑字.2.2偏光片12a.偏光片有一固定光軸,它的作用只允許偏振方向與其偏光軸相a.此圖表示在互相垂直的偏光片之間設置TN排列液晶盒的光電的反應.b.在液晶盒未加電場時,前偏光片的偏振光順著液晶分子的扭曲結構扭曲90˚,變成和后片偏光片的光軸一致,順利到達后偏片,顯示為透明狀態,處于非顯示態(非選擇態).C.在液晶盒中加電場時,驅動電路將驅動的信號電壓加到需要顯示的有關電極時,該部分液晶分子扭曲結構消失,失去了旋光能力,從前偏光片射出的偏振光的偏振方向未經改變就到達后偏光片,由于前偏光片的偏振方向與后偏光片的偏振方向垂直,偏振光無法透過后偏光片,這樣,該顯示電極部分就變得不透明,顯現黑色,處于顯示態(選擇態).13a.此圖表示在互相垂直的偏光片之間設置TN排列液晶盒的光電的偏光片光LCD盒体LCD盒体偏光片施加电压当上下偏光片吸光轴相互垂直时，若未施加电压，光线可通过呈现亮态。当施加电压时，光线被完全阻挡呈现暗态。14偏光片光LCD盒体LCD盒体偏光片施加电压当上下偏光片吸光轴ITO玻璃投入玻璃清洗與干燥涂光刻膠預烘曝光去膜蝕刻堅膜顯影TOP涂佈UV烘烤固化清洗涂取向劑清洗固化摩擦定向烘烤清洗干燥噴襯墊料三﹑LCD工藝流程絲網印刷對位壓合固化前制程3.1LCD產品制作工藝流程圖15ITO玻璃投入玻璃清洗與干燥涂光刻膠預烘曝光去膜蝕刻堅膜顯影後制程切割裂片灌注液晶封口固化特殊制程電測光臺檢測再定向清洗印油墨固化油墨貼偏光片消泡外觀檢察上針腳/熱壓紙終檢包裝入庫16後制程切割裂片灌注液晶封口固化特殊制程電測光臺檢測再定向清洗3.2LCD制作工藝流程簡介 從LCD工藝流程圖可知,LCD全部制作過程大體分為40多道工序,其中實際TN制程有20多道工序,STN有30多道工序,有些工序是特殊制程,只當客戶有特殊要求才實施.這些工序又可分為ITO圖形蝕刻(光刻)﹑定向排列﹑空盒制作﹑液晶灌注和成品檢測與包裝五個階段173.2LCD制作工藝流程簡介 從LCD工藝流程圖可知,L3.2.1ITO圖形蝕刻(光刻) 本階段在導電玻璃上蝕刻出顯示所需要的ITO電極圖形.(1)ITO玻璃投入 根據產品要求,選擇合適的ITO.(2)玻璃清洗與干燥 將符合生產規格的ITO玻璃用清洗劑﹑DI水等,將ITO玻璃表面的雜質﹑油污洗凈,然後把水除去並干燥,保證下道工序的加工質量.183.2.1ITO圖形蝕刻(光刻) 本階段在導電玻璃上蝕刻(3)涂光刻膠 在潔凈的ITO玻璃的導電層表面上均勻涂上一層光刻膠.涂過膠的玻璃要在一定溫度下做預烘處理.如下圖所示.(4)前烘 在一定的溫度下將涂有光刻膠的玻璃烘一段時間,以使光刻膠中溶劑揮發,增加與玻璃表面的粘附性.ITO膜光刻膠玻璃基板在ITO玻璃上涂光刻膠19(3)涂光刻膠(4)前烘ITO膜光刻膠玻璃基板在IT(5)曝光 用紫外光通過預先制作好的菲林照射到光刻膠表面,使被紫外光照射部分的光刻膠層發生反應.在紫外光燈下對光刻膠進行選擇性曝光,如下圖所示.UV光光刻膠ITO膜玻璃基板曝光示意圖20(5)曝光UV光光刻膠ITO膜玻璃基板曝光示意圖20(6)顯影 用顯影液處理玻璃表面,將經過光照分解的光刻膠層(正性膠)除去,保留未曝光部分的光刻膠層,用使受UV光照射部分的光刻溶於顯影液中.顯影後的玻玻要經過一定溫度的堅膜處理,如下圖所示.(7)堅膜將玻璃再經一次高溫處理,使光刻膠膜更加堅固.光刻膠ITO膜玻璃基板顯影效果圖21(6)顯影(7)堅膜光刻膠ITO膜玻璃基板顯影效果圖(8)蝕刻 用適當的酸刻液將無光刻膠覆蓋的ITO膜腐蝕掉,這樣就得到了所需要的ITO電極圖形,如下圖所示.(9)去膜 用高濃度堿液作脫膜液,將玻璃上剩余的光刻膠剝離掉,使ITO玻璃上形成與菲林圖形完全一致的ITO圖形,如下圖所示.光刻膠ITO膜玻璃基板蝕刻效果圖ITO膜玻璃基板去膜效果圖22(8)蝕刻(9)去膜光刻膠ITO膜玻璃基板蝕刻效果圖(10)清洗干燥 用高純水沖洗玻璃上剩余的堿液﹑殘留光刻膠和其他雜質. 工藝流程圖中的TOP涂布工藝是特殊流程,一般的TN及STN產品,不要求經過這些步驟.TOP涂布工藝是在光刻工藝之後,再做一次SiO2的涂佈,以便把蝕刻區與非蝕刻區之間的溝槽填平並把電極覆蓋住,這既可以起到絕緣層的作用,又能有效地消除非顯示狀態下的電極底影,還有助於改善視角特性等.所以,一些高檔次的STN產品要求有TOP涂布工藝制程.23(10)清洗干燥233.2.2定向排列

本階段是將蝕刻後的ITO玻璃表面涂定向層,並用特定的方法對定向層進行處理,以使液晶分子能在定向層表面沿特定方向扭曲,這是LCD生產的特有工藝.(1)涂定向劑 用一定的方法,將有機高分子定向材料涂在玻璃表面.即在ITO玻璃上的適當位置涂一層均勻的定向層.同時對定向層做固化處理.如下圖所示.243.2.2定向排列 本階段是將蝕刻後的ITO玻璃表面涂(2)固化 通過高溫處理使定向層固化.(3)定向摩擦 用絨佈類材料以特定的方向摩擦定向層表面,以使液晶分子將來能沿著定向層的摩擦方向排列.(4)清洗 定向摩擦後玻璃上會留下絨佈線等污染物,需要采取特殊的清洗步驟來消除污染物.ITO膜玻璃基板取向層涂取向層25(2)固化ITO膜玻璃基板取向層涂取向層253.2.3空盒制作

本階段包括工藝流程圖中把兩片導電玻璃對疊,利用封邊材料貼合起來並固化,制成間隙為特定厚度的玻璃盒.制盒技術是制造LCD的最關鍵技術之一.(1)絲印邊框及銀點 將封邊材料(封框膠)用絲網印刷的方法分別對上板和下板玻璃印上邊框膠和導電膠.(2)噴襯墊料 在下玻璃均勻分佈支撐材料.將一定尺寸的襯墊料均勻爭散在玻璃表面,制盒時就靠這些襯墊料保證一定的盒厚.263.2.3空盒制作 本階段包括工藝流程圖中把兩片導電玻璃(3)對位壓合 按對位標記將上﹑下玻璃對位粘合,將對應的兩片玻璃面用封邊材料粘合起來.(4)固化 在高溫下使封邊材料固化.固化時一定在上﹑下玻璃上加上一定的壓力,以使盒厚保持均勻.3.2.4液晶灌注 本階段包括把液晶灌入到制好的空盒內,並將開口封堵,這樣液晶盒就基本制成了.27(3)對位壓合27(1)切割與裂片 通常一對ITO玻璃可以制作多個液晶盒,為了把LCD開口露出來,必須把玻璃適當切割成粒狀.(2)灌注液晶 一般用專門的液晶灌注機在真空的狀態下將液晶注入LCD盒內.(3)封口 用封口材料(如封口樹脂)將灌完液晶盒開口堵起來.28(1)切割與裂片28(4)清洗 用洗潔劑清洗液晶盒外部粘附的液晶及其他污物.(5)再配向 用適當加溫一段時間的辦法使液晶分子按摩擦方向整齊排佈.3.2.5成品檢測及包裝

這一階段是LCD生產的最後一個階段,包括成品檢測﹑貼偏光片和包裝等.29(4)清洗3.2.5成品檢測及包裝 這一階段是LCD(1)光臺檢驗 目視檢測,將不合格品剔出.在光臺下檢查液晶盒外觀質量,外觀正品交下道工序.(2)電測圖形檢驗 加電狀態下檢查液晶屏的顯示圖形.(3)貼偏光片 在液晶盒兩面貼上產品所規定的上﹑下偏光片,這樣一個完整的LCD就製成了.(4)消泡 用特殊的工具將液晶盒上貼的偏光片壓一下,以消除偏光片與璃璃之間的氣泡.30(1)光臺檢驗30(5)外觀檢驗

對液晶盒進行外觀檢查,並對一些情況做處置.(6)上針腳或熱壓紙 對用戶有上針腳或熱壓紙的產品時,安裝適當的金屬電極針腳或熱壓紙.(7)終驗 按出廠檢驗標準,對成品進行檢驗把關.31(5)外觀檢驗31

謝謝!32謝謝!32LCD基本知识33LCD基本知识1内容一、LCD三大主材二、LCD的顯示原理三、LCD工藝流程

34内容一、LCD三大主材2一、LCD的三大主要材料为：

导电玻璃、液晶、偏光片1、导电玻璃导电玻璃，是在普通玻璃（无钠硼硅玻璃）的一个表面镀有透明导电膜的璃。最常用的导电玻璃是氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃.☆导电玻璃参数

㈠透光率在可见光范围内的透光率在80%以上。ITO玻璃的透光率影响因素有:玻璃材料、ITO厚度、折射率.

备注：ITO膜厚度250~2000埃（1埃=10-10米）

ITO膜玻璃衬底一﹑LCD三大主材35一、LCD的三大主要材料为：ITO膜玻璃衬底一﹑LCD三㈡方阻值

ITO膜导电性能采用的指标是方块电阻，用R□表示。R□与ITO的体电阻率及ITO膜厚有关；ρ为导电膜的体电阻率

d为膜厚

式中，R□单位为：(Ω/□)；方块电阻通常用四探针测试仪来测定，一般有15、20、30、60、80、100、180欧姆等。㈢平整度平整度是指玻璃表面在一定范围内的起伏程度；平整度可用h/L表示,为在长度L的范围内,表面最高点与最低点的差值为h.如图所示：R□=dρ36㈡方阻值R□=dρ4ITO玻璃基板平整度直接影响着液晶显示器的质量，对STN液晶显示器的影响更大。一般TNLCD用玻璃要求平整度小于0.5um/20mm，STNLCD用玻璃要求平整度小于0.05um/20mm。㈣机械性能、化学抗蚀与抗热性能导电玻璃整体要有足够的机械强度，易于生产。ITO膜能抗强碱，易被酸腐蚀。温度升高，面电阻增大

Lh玻璃表面37ITO玻璃基板平整度直接影响着液晶显示器的质量，对S2、液晶液晶为一种新的物理相态。在1888年由奥地利科学家FriedrichReinitzer发现的。加热到晶体熔化时，变化成了乳白色混浊液体，继续加热乳白色液体则变成完全透明的液体，降温过程中此现象也同样出现。用偏光显微镜观察乳白色液体与一般的液体不同，呈现光学各向异性，即物体内分子有一定程度的有序排列，这与传统的固体、液体概念不同，被定义为液晶。㈠液晶的技术参数

相变温度（Tsn/Tni）

阈值电压Vth

体积电阻率ρ(Ω.CM)

手性剂C(dopant)

粘度(CP.S)

陡度（STEEPNESS）Vst/Vth

双折射率差ΔN

介电系数Δε

弹性系数（K11\K22\K33)

螺距P

382、液晶63、偏光片㈠偏光片结构透射型、半透射型及全反射型为最常见的三种偏光片类型，另还有位相差补偿型及普通TFT片等。离型膜

Releasefilm感压胶

AdhesiveTACPVATAC保护膜

Protectionfilm透射型保护膜

Protectionfilm半透膜Transflectivefilm感压胶AdhesiveTACPVATAC感压胶

Adhesive离型膜

Releasefilm半透射型反射膜感压胶

AdhesiveTACPVATAC感压胶

Adhesive离型膜

Releasefilm反射射型393、偏光片离型膜Releasefilm感压胶PVA:PVA膜是一种高分子聚合物，用各类具有二向色性的有机染料进行染色，同时在一定的湿度和温度条件下进行延伸，使其吸收二向色性染料形成偏振性能，在脱水、烘干后形成偏光片原膜。TAC：PVA膜具有亲水性，在湿热的环境中很快会变形、收缩、松弛、衰退、且强度很低，质脆易破，不便于使用和加工，因此在膜两边都复合上一层强度高、透光率高而又耐湿热的TAC膜，起保护作用。㈡偏光片的主要技术指标

作为LCD三大主要材料之一的偏光片，LCD的显示性能与偏光片均有很大的关系。通常偏光片的性能评价指标分为外观性能、光学性能、粘附性能、耐候性能，其它特殊性能等。40PVA:PVA膜是一种高分子聚合物，用各类具有二向色性（1）颜色（外观性能）：普通偏光片为灰色，细分为中灰和蓝灰。但随着LCD品种的多样化，相应需求的彩色偏光片也相继出现，目前最常用的为紫色，其它还有蓝色、黄色、红色等多种颜色的偏光片。（2）有效厚度（外观性能）

：指偏光片的总厚度，包括基片厚度，胶厚度和保护膜厚度。（4）透光率和透射光谱（光学性能）：透光率T=Iout/Iin,其中Iout,Iin分别为透过偏光片的光强和入射偏光片的光强，理想情况下，垂直偏光轴方向振动的光被完全吸收，相当于光的一半通过，即T=50%，通常分单体透光率，平行透光率和直交透光率。透射光谱：LCD要求偏光片在整个可见光范围内的透光率是均匀的，即透光光谱曲线要平直，否则出射的光会带有颜色，影响显示效果。（3）偏光度（光学性能）：偏光度也称为偏振率，其定义为：P=（I平行-I垂直）/（I平行+I垂直）×100%，式中I平行，I垂直分别是自然光经偏光片后，振动方向沿偏光片偏光轴和垂直偏光轴方向上透射光光强。理想情况下I垂直=0，此时P=1，偏振率为100%41（1）颜色（外观性能）：（2）有效厚度（外观性能）：（4）（5）色相（光学性能）：指偏光片颜色所对应的色坐标值（NBS），通常以三个参数值来表示：a,b,L值。（6）耐高温（耐候性能）耐高温是指偏光片在一定烘烤温度下的外观性能、光学性能及粘附性的稳定性，目前根据偏光片的技术等级，主要分为以下三个等级（普通型、中耐久型、高耐久型）（7）耐湿热（耐候性能）耐湿热技术指标是指偏光片在恒温恒湿条件下外观性能、光学性能及粘附性能的稳定性，它也通常分为三个技术等级（普通型、中耐久型、高耐久型）42（5）色相（光学性能）：（6）耐高温（耐候性能）（7）耐湿热二﹑LCD顯示原理2.1LCD基本構造

43二﹑LCD顯示原理2.1LCD基本構造11a.偏光片有一固定光軸,它的作用只允許偏振方向與其偏光軸相同的光通過,其余的光被吸收,即自然光通過偏光片后,只剩下振動方向與偏光軸相同的光,即線性偏光.b.偏光片使線性偏振光在通過液晶盒時,其偏振方向沿著液晶分子扭轉90˚c.當液晶盒上下兩個偏光片的偏光軸互相平行時,為黑底白字.d.當液晶盒上下兩個偏光片的偏光軸互相垂直時,為白底黑字.2.2偏光片44a.偏光片有一固定光軸,它的作用只允許偏振方向與其偏光軸相a.此圖表示在互相垂直的偏光片之間設置TN排列液晶盒的光電的反應.b.在液晶盒未加電場時,前偏光片的偏振光順著液晶分子的扭曲結構扭曲90˚,變成和后片偏光片的光軸一致,順利到達后偏片,顯示為透明狀態,處于非顯示態(非選擇態).C.在液晶盒中加電場時,驅動電路將驅動的信號電壓加到需要顯示的有關電極時,該部分液晶分子扭曲結構消失,失去了旋光能力,從前偏光片射出的偏振光的偏振方向未經改變就到達后偏光片,由于前偏光片的偏振方向與后偏光片的偏振方向垂直,偏振光無法透過后偏光片,這樣,該顯示電極部分就變得不透明,顯現黑色,處于顯示態(選擇態).45a.此圖表示在互相垂直的偏光片之間設置TN排列液晶盒的光電的偏光片光LCD盒体LCD盒体偏光片施加电压当上下偏光片吸光轴相互垂直时，若未施加电压，光线可通过呈现亮态。当施加电压时，光线被完全阻挡呈现暗态。46偏光片光LCD盒体LCD盒体偏光片施加电压当上下偏光片吸光轴ITO玻璃投入玻璃清洗與干燥涂光刻膠預烘曝光去膜蝕刻堅膜顯影TOP涂佈UV烘烤固化清洗涂取向劑清洗固化摩擦定向烘烤清洗干燥噴襯墊料三﹑LCD工藝流程絲網印刷對位壓合固化前制程3.1LCD產品制作工藝流程圖47ITO玻璃投入玻璃清洗與干燥涂光刻膠預烘曝光去膜蝕刻堅膜顯影後制程切割裂片灌注液晶封口固化特殊制程電測光臺檢測再定向清洗印油墨固化油墨貼偏光片消泡外觀檢察上針腳/熱壓紙終檢包裝入庫48後制程切割裂片灌注液晶封口固化特殊制程電測光臺檢測再定向清洗3.2LCD制作工藝流程簡介 從LCD工藝流程圖可知,LCD全部制作過程大體分為40多道工序,其中實際TN制程有20多道工序,STN有30多道工序,有些工序是特殊制程,只當客戶有特殊要求才實施.這些工序又可分為ITO圖形蝕刻(光刻)﹑定向排列﹑空盒制作﹑液晶灌注和成品檢測與包裝五個階段493.2LCD制作工藝流程簡介 從LCD工藝流程圖可知,L3.2.1ITO圖形蝕刻(光刻) 本階段在導電玻璃上蝕刻出顯示所需要的ITO電極圖形.(1)ITO玻璃投入 根據產品要求,選擇合適的ITO.(2)玻璃清洗與干燥 將符合生產規格的ITO玻璃用清洗劑﹑DI水等,將ITO玻璃表面的雜質﹑油污洗凈,然後把水除去並干燥,保證下道工序的加工質量.503.2.1ITO圖形蝕刻(光刻) 本階段在導電玻璃上蝕刻(3)涂光刻膠 在潔凈的ITO玻璃的導電層表面上均勻涂上一層光刻膠.涂過膠的玻璃要在一定溫度下做預烘處理.如下圖所示.(4)前烘 在一定的溫度下將涂有光刻膠的玻璃烘一段時間,以使光刻膠中溶劑揮發,增加與玻璃表面的粘附性.ITO膜光刻膠玻璃基板在ITO玻璃上涂光刻膠51(3)涂光刻膠(4)前烘ITO膜光刻膠玻璃基板在IT(5)曝光 用紫外光通過預先制作好的菲林照射到光刻膠表面,使被紫外光照射部分的光刻膠層發生反應.在紫外光燈下對光刻膠進行選擇性曝光,如下圖所示.UV光光刻膠ITO膜玻璃基板曝光示意圖52(5)曝光UV光光刻膠ITO膜玻璃基板曝光示意圖20(6)顯影 用顯影液處理玻璃表面,將經過光照分解的光刻膠層(正性膠)除去,保留未曝光部分的光刻膠層,用使受UV光照射部分的光刻溶於顯影液中.顯影後的玻玻要經過一定溫度的堅膜處理,如下圖所示.(7)堅膜將玻璃再經一次高溫處理,使光刻膠膜更加堅固.光刻膠ITO膜玻璃基板顯影效果圖53(6)顯影(7)堅膜光刻膠ITO膜玻璃基板顯影效果圖(8)蝕刻 用適當的酸刻液將無光刻膠覆蓋的ITO膜腐蝕掉,這樣就得到了所需要的ITO電極圖形,如下圖所示.(9)去膜 用高濃度堿液作脫膜液,將玻璃上剩余的光刻膠剝離掉,使ITO玻璃上形成與菲林圖形完全一致的ITO圖形,如下圖所示.光刻膠ITO膜玻璃基板蝕刻效果圖ITO膜玻璃基板去膜效果圖54(8)蝕刻(9)去膜光刻膠ITO膜玻璃基板蝕刻效果圖(10)清洗干燥 用高純水沖洗玻璃上剩余的堿液﹑殘留光刻膠和其他雜質. 工藝流程圖中的TOP涂布工藝是特殊流程,一般的TN及STN產品,不要求經過這些步驟.TOP涂布工藝是在光刻工藝之後,再做一次SiO2的涂佈,以便把蝕刻區與非蝕刻區之間的溝槽填平並把電極覆蓋住,這既可以起到絕緣層的作用,又能有效地消除非顯示狀態下的電極底影,還有助於改善視角特性等.所以,一些高檔次的STN產品要求有TOP涂布工藝制程.55(10)清洗干燥233.2.2定向排列

本階段是將蝕刻後的ITO玻璃表面涂定向層,並用特定的方法對定向層進行處理,以使液晶分子能在定向層表面沿特定方向扭曲,這是LCD生產的特有工