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文档简介
AUOProprietary&Confidential无尘室概念及管制说明课程大纲一、洁净室的定义二、洁净室的功能三、洁净度的定义四、洁净室环境要求五、洁净室的管理控制产品所接触大气的洁净度及温湿度:不论室外空气条件如何变化,室内都还能维持原先设定的空气条件.使产品能在一个良好的环境中生产制造.如:TFT-LCD能在一个洁净度良好、温湿度、压力稳定的环境中被生产制造.洁净室的定义洁净室就是所谓的无尘室:洁净度的定义FED-209洁净度等級
S03厂无尘室等级为1000级洁净度的定义Particle来源:Particle防制原则洁净室环境要求Particle测量仪不带入排除不堆积不产生二、不可产生particle
.无尘服穿着确实
.规划作业
.避免内装会产生particle
四、排除particle
.维持排气畅通.维持气流稳定洁净室环境要求一、不可带入particle
.穿着无尘服
.物品携入前,先清洁
.环境压差确认三、不可积累particle
.选择易清洁之材质
.定期清洁
.防静电产生,避免浮游粒子吸附Particle防制原则:人员进出规定:一、进入洁净室须穿戴无尘服、网帽、口罩、静电手套.二、进入洁净室时必须依规定通行“风淋室”.
三、进入洁净室后,必须量测静电手环是否OK.四、离开无尘室时,必须依规定关闭“双向对开门”.五、非紧急状况,不得使用安全门.六、设备商进厂及来宾参访,须提出申请,并了解洁净室规洁净室的管理(一)1.进入3F-FI产线的人员统一从
通道进入后按指定的路标走.
三人以上必须排队,且排整齐不可打闹,严禁嘻戏.2.进入2F-FI产线的人员由2FCartoncheck1线进入.洁净室的管理(一)洁净室的管理(二)穿无尘服规范1.扎好头发,带好网帽,(如图一).
穿无尘服.MPG注:在戴网帽时要把头发全部放到网帽里去,不可漏出来.2.带上无尘帽,检查头发是否露出(如图二).3.带上口罩.(如图三).图一图二图三4.穿无尘服拉上拉链.(如图四)5.穿上无尘鞋套,贴好魔鬼贴.6.穿上无尘鞋,穿无尘鞋时脚禁止搭在鞋柜上.(如图五).7.带上静电环及静电手套,在整装镜前整理OK后进入无尘室.
注:手套和无尘衣接口处皮肤不可以露出(如图六)洁净室的管理(二)脱无尘服规范:脱去无尘鞋套.洁净室的管理(二)脱无尘服脱无尘帽挂无尘服脱无尘服.MPG脱去无尘鞋脱去静电手套脱静电环
将头发扎好不可披发(男生不可留长发).
戴上网帽将所有头发包住,头发不可外漏.
戴上口罩需遮住口鼻,口罩上的铁丝要捏一下卡住鼻子,
防止口罩掉下来.
戴上无尘帽,网帽不可外漏.
穿上无尘服,无尘帽领需没于无尘衣内(不可坐在地上穿).
穿上无尘鞋(不可以踩踏鞋柜、隔板),裤管需扎入鞋套里.
在戴上静电环和静电手套.洁净室的管理(二)洁净室的管理(三)物品相关规定1)进入洁净室之物品,一律均须洁净后方可携入.2)文件、纸张及手册,必须使用洁净室专用之长纤维.3)洁净室内仅可使用圆珠笔、油性签字笔(投影笔).4)搬入洁净室之重物,必须使用专用推车运送,以免刮伤地板.5)过重设备之搬运,需先铺设钢板后,方可进行搬运.6)挥发性化学品于搬入洁净室,必须放置于化学防爆柜(酒精).7)厂商所携带之物品须由相关人员检查是否洁净,方可携入.Gowningroom相关管理:一、无尘服须依规定送洗(1次/周)鞋(1次/2周)二、未经许可,严禁摄影、拍照及录音.三、网帽及口罩用毕,须确实丢入垃圾桶.四、更换无尘服时严禁嘻戏、大声喧哗,无尘服、无尘鞋用毕后按规定摆放好.五、静电环挂于衣服架上;无尘服按同一方向(左袖统一外侧)拉链拉好,魔鬼贴粘好.六、无尘鞋鞋跟朝外摆放整齐,鞋柜里不可以放任何垃圾.七、各部门之耗材需求均须登记后,
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