最新-光电检测技术第一章2-课件

第1章概述掌握内容光电检测系统的研究内容、基本构成、工作原理及基本结构形式；调制和检测光特征参数及相应的基本方法。理解内容光的本质及相关知识；辐射度与光度学的基本概念。

了解内容了解光电检测技术的优缺点；光电检测技术的展望第1章概述掌握内容1第1章主要内容§1.1引言§1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理§1.3光电检测技术的现代发展

第1章主要内容§1.1引言2§1.1引言一、光电检测技术的定义

光学与电子学技术相结合而产生的一门新兴检测技术，它是利用电子技术对光学信息进行检测，并进一步传递、储存、控制、计算和显示等。§1.1引言一、光电检测技术的定义3二、光电检测技术的检测量

从原理上讲可以检测一切能够影响光量或光特性的非电量。光量：光通量或光强度光特性：光波的幅值、频率、相位、偏振最新-光电检测技术第一章2-课件4三、光电检测技术的主要内容

光电检测技术的主要内容是通过光学系统把携带被测信息的非电量信息变换成便于接收的光学信息，然后用光电探测器将光学信息变换成电量，并进一步经电路放大、处理等，达到输出的目的。信息变换技术和电信号处理技术。信息变换技术：非电量变换成光学量光学量变换成电量

三、光电检测技术的主要内容5§1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理

一、几个光电检测实例1、红外防盗报警系统

图1－1§1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理一、几个光电检62、激光外径扫描仪图1－21－旋转多面体2－半导体激光器3－透镜4－工件5－物镜6－光电器件2、激光外径扫描仪图1－273、光弹性效应测力计图1－31-白炽灯2-聚光镜3-滤光片4-减光楔5-分束镜6-起偏振镜7-云母片8-测力元件9-检偏振镜10，12-光电池11-减光楔13-检流计

3、光弹性效应测力计8二、光电检测系统的构成框图

图1－4光电检测系统框图二、光电检测系统的构成框图9

光是信息传递的媒介，它由光源产生。光源与照明光学系统一起获得测量所需的光载波，光载波与被测对象同时作用在光学系统上而将被测量载荷到光载波上，称为光学变换。光学变换是用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光载波上载荷有各种被测信息，称为光信息。光信息经光电器件实现由光向电的信息转换，称为光电转换。然后被测信息就可用各种电信号处理的方法实现解调、滤波、整形、判向、细分等，或送到计算机进行进一步的运算，直接显示被测量或者存储或者去控制相应的装置。

10光电检测系统各部分的功能：（1）光源和照明光学系统考虑光源的辐射功率、光谱范围、发光空间分布；发出的光作为载波或者被测对象；照明光学系统的分类光电检测系统各部分的功能：11（2）被测对象及光学变换光学变换：通过光学元件和光学系统把待测量转换为光参量光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应，其结构形式不同光参量：光本质是电磁波，其参量有幅值、频率、相位、偏振态、传播方向等（3）光信号的匹配处理

光信号的处理主要包括光信号的调制、变光度、光谱校正、光漫射，以及会聚、扩束、分束等。使用的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。

（2）被测对象及光学变换12（4）光电转换以光信号为媒质，以光电探测器为手段，将经过待测量调制的光信号转换成电信号；决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态响应；光电探测器（4）光电转换13（5）电信号的放大与处理主要实现两个功能：①实现对微弱信号的检测；②实现光源的稳定化

（6）存储、显示与控制系统（5）电信号的放大与处理14三、基本工作原理

光电检测系统是以光信息变换为基础的，把待测量通过光信号变换为电量来进行测量的。三、基本工作原理15（一）把待测量变换为光信息量

它是以光通量的大小来反映待检测量的大小。光电探测器的输出往往与入射到它的光敏面上的光通量成正比，所以，光电探测器的光电流大小可以反映出待检测量的大小，即光电流I是待检测信息量Q值的函数：

I=f(Q)(1-1)

这是一种模拟量信息变换。（一）把待测量变换为光信息量16（二）把待检测量变换为光信息脉冲

它是以光脉冲或条纹数的多少来反映待测量的大小，光电探测器的输出为低电平和高电平两个状态组成的一系列脉冲数字信息，这些数字信息量T是待测信息量Q的函数：T=f(Q)(1-2)这是一种模/数信息转换。（二）把待检测量变换为光信息脉冲17四、基本结构形式1、辐射式图1－51、被测物体2、会聚透镜3、光电二极管四、基本结构形式图1－51、被测物体2、会聚透18例：全辐射测温：由斯忒藩－玻尔兹曼（Stefan—Boltzman）定律可知，物体的全辐射出射度为：（1－1）式中：ε—比辐射率，对于某一物体ε值为常数σ—斯忒藩－玻尔兹曼常数；T—绝对温度。在近距离测量时，可不考虑大气对辐射的吸收作用，则光电探测器输出的电压信号为：式中β为光电变换系数。将（1－1）代入上式得：(1—2)例：全辐射测温：192、反射式图1－61、光源2、被测物3、光电探测器2、反射式图1－61、光源2、被测物3、光电探20测转速的例子：

轴转动一周，光电探测器4就获得一个由光源1发出的反射光的脉冲，此脉冲数就反映了轴的转速。图1－71、光源2、转轴3、小平面镜4、光电探测器测转速的例子：图213、遮挡式图1－81、光源2、待检测物3、光电探测器3、遮挡式图1－8224、透射式：根据工作原理不同又分为：（1）模拟量信息变换方式（2）模/数信息变换方式

图1－9图1－104、透射式：根据工作原理不同又分为：图1－9图1－235、干涉式

图1－111－光源2－透镜3－分束器4－反射镜5－待测物体6－光电探测器5、干涉式246、衍射式

图1－12衍射测量原理结构

6、衍射式图1－12衍射测量原理结2512/19/2022《光电检测技术》26五、基本方法1.方法分类12/17/2022《光电检测技术》26五、基本方法2612/19/2022《光电检测技术》272.方法的选择

合理选择光学测量方法主要依据以下五点来综合考虑：⑴被测对象与被测量；⑵测量范围；⑶测量的灵敏度或精度；⑷经济性；⑸测量时的环境要求。12/17/2022《光电检测技术》272.方法的选择2712/19/2022《光电检测技术》28测量精度与测量灵敏度

选择测量方法的另一主要原则是灵敏度和要求的精度。右图是主要光学测量方法在尺寸上能达到的分辨率。而精度一般来说是测量分辨率的1～3倍。

12/17/2022《光电检测技术》28测量精度与测量灵敏度2812/19/2022《光电检测技术》29测量的经济性与环境要求经济性好,环境要求低经济性中,环境要求一般经济性偏高，有环境要术衍射计量扫描计量散斑计量光纤计量莫尔与拓扑法图像计测法共路干涉计量全息计量光谱计量纳米计量表：主要光学测量方法的经济性和对环境的要求方法选择小结

以上选择的依据是初步的，测量方法的最终确定应有具体设计方案，综合考虑以上各方面的因素。测量方法的确定往往是测量是否取得成功的关键。

12/17/2022《光电检测技术》29测量的经济性与环境要2912/19/2022《光电检测技术》30§1.3光电检测技术的现代发展1.技术特色12/17/2022《光电检测技术》30§1.3光电检测技3012/19/2022《光电检测技术》312.技术现状（光学测量技术学科的组成）

光学是这个基本体系中的原理基础，而精密机械、电子技术与计算机技术构成塔底三角形，是光学测量的支撑基础。12/17/2022《光电检测技术》312.技术现状（光学测3112/19/2022《光电检测技术》32技术现状（光学测量技术主要原理分类）

12/17/2022《光电检测技术》32技术现状（光学测量技3212/19/2022《光电检测技术》33技术现状（光学测量系统的主要构成）12/17/2022《光电检测技术》33技术现状（光学测量系3312/19/2022《光电检测技术》34光学测量技术发展趋势（原理上）从主观光学发展成为客观光学，即用光电探测器取代人眼这个主观探测器，提高了测量精度与效率；用激光光源来取代常规光源，获得方向性极好的实际光线用于各种光学测量上；从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换，实现测量与控制的一体化。光学测量技术发展趋势（功能上）从静态测量发展成为动态测量；从逐点测量发展成为全场测量；从低速度测量发展成快速的，具有存贮、记录功能的测量。12/17/2022《光电检测技术》34光学测量技术发展趋势3412/19/2022《光电检测技术》353.技术发展方向亚微米级、纳米级的高精密光学测量方法首先得到优先发展；利用新的物理学原理和光电子学原理而产生的新的光学测量方法将不断出现；以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向，小型的、微型的非接触式光学传感器以及微光学这类微结构系统将崭露头角；半导体激光器(LD)及其阵列，光开关，光滤波器，光电探测阵列等新器件将在过程控制，在线测量与控制上得到广泛应用；12/17/2022《光电检测技术》353.技术发展方向亚微3512/19/2022《光电检测技术》36快速、高效的3D测量技术将取得突破，成为带存贮功能的全场动态测量仪器；发展闭环式光学测试技术，实现光学测量与光学控制的一体化；发展光学诊断和光学无损检测技术；生物科学研究中的光探测越来越收到世界科技工作者的共同关注。3.技术发展方向非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化12/17/2022《光电检测技术》36快速、高效的3D测量36光电检测技术的优点：（1）非接触式检测。（2）响应速度快。（3）测量精度高。（4）检测对象范围宽。（5）远距离、大量程。（6）具有很强的信息处理和运算能力，可将复杂信息并行处理。（7）寿命长。光电检测技术的优点：37光电检测技术的缺点：

(1)由于光电检测系统中用到光学元件，容易被沾污，影响光信号的传输，必须采取措施，否则使用受限制。（2）外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影响使信噪比变差，但可采取措施减至最小。（3）使用温度范围小，不能用在高温。光电检测技术的缺点：38补充知识§1.4光的本质§1.5光在介质表面的反射和折射§1.6光与物质的相互作用§1.7光的干涉、衍射和偏振§1.8辐射度的基本物理量§1.9光度的基本物理量补充知识§1.4光的本质39

§1.4光的本质光是电磁波具有波、粒二象性§1.4光的本质40电磁波谱10^-14 :宇宙射线10^-12 :γ射线10^-10 :x射线10^-7 :紫外线10^-6 :可见光3.8^-7~7.8^-710^-5 :红外线10^-4 :毫米波10^-3 :厘米波10^-2~10^2 :无线电光波电磁波谱光波41电磁波谱图电磁波谱图42一、基本概念

1.光谱可见光波长0.38μm～0.78μm光速C=f.λ紫外线0.01μm～0.38μm具有荧光作用（荧光灯），生理作用（医用紫光灯）光学玻璃透射弱石英玻璃透射强红外线0.78μm～1000μm具有热辐射作用（人体保健）近红外λ<3μm,远红外λ>3μm（人体辐射9.4μm――远红外内衣）一、基本概念1.光谱432.色谱在可见光范围内，由于波长的不同。而对视觉产生的颜色差异。（人眼的光谱）0.38～0.435～0.49～0.58～0.60～0.65～0.78紫蓝绿黄橙红

2.色谱44

3.光的单位◎光强度：光源产生光的强弱。频率为540×1012（λ＝0.555μm）的单色光在给定方向上产生的辐射功率为1/680W/Sr（球面度）定为光强度单位。称坎德拉cd◎光通量：具有1cd均匀光源在一个球面内产生的光的辐射量，定为光通量单位称流明lm◎光照度：物体表面被光照亮的程度。1lm的光通量在1㎡的平面上产生的照度，单位为勒克斯lx

3.光的单位45§1.5光在介质表面的反射和折射一、光在两透明介质分界面上的反射和折射

实质上是光波的电磁场与物质的相互作用，反射光和折射光的传播方向与入射光入射角的关系就是我们熟知的反射定律和折射定律。那么入射波、反射波和折射波的能量关系是与反射率（R）和透射率（T）有关。§1.5光在介质表面的反射和折射46二、光在金属表面上的反射（1）金属反射光的能力与金属包含的自由电子的密度有关

自由电子密度越大（电导率也越大），反射本领也越高（2）对于同一种金属，入射光波长不同，反射率也不同

频率较低的红外辐射，主要对金属中的自由电子发生作用；频率较高的可见光和紫外辐射，也可以对金属中的束缚电子发生作用。（这时因为束缚电子本身的固有频率处在可见光和紫外辐射区）束缚电子使金属的反射能力降低，透射能力增大，呈现出非金属的光学性质。二、光在金属表面上的反射47（3）金属表面的反射率也与光的入射角有关

与电介质表面的反射不同，不论在什么角度下反射，金属都不能使反射光成为全偏振。（3）金属表面的反射率也与光的入射角有关48§1.6光与物质的相互作用——光的吸收、色散和散射一、光的吸收与色散（1）导电介质和绝缘介质都可以引起光吸收现象。（2）光的吸收是基于朗伯一比尔定律，用公式表示为:

（1.11）§1.6光与物质的相互作用49式中：I为吸收后的光强度；I。是物质浓度为零(即不存在吸收物质)时的光强度；L为色皿(采样槽)的长度；为吸收常数。用图可以表示为：

图1－5朗伯－比尔定律原理图式中：I为吸收后的光强度；I。是物质浓度为零(即不存在吸收物50吸收系数：（1）是波长的函数，这种函数关系称为吸收光谱；不同的材料吸收光谱完全不同。（2）吸收系数与折射率有关，为：式中，称为吸收率或消光系数；消光系数和折射率都是波长的函数。吸收系数：51（3）色散定义：当某一介质的吸收系数随波长不同而改变时，则光在该媒质中传播时，不同波长的光路将被散开。表示介质折射率随波长变化的程度，用色散率表示：（3）色散定义：当某一介质的吸收系数随波长不同而改52二、光的散射

光在不均匀介质中，才有散射。根据散射光波长与入射光波长是否相同，散射可分为两类：（一）瑞利散射

散射光波长与入射光波长相同。

二、光的散射53根据不均匀结构的性质，瑞利散射又可分为三类：（1）丁达尔散射

介质中有很多大质点，其线度约等于光的波长，它们的折射率与周围均匀介质的折射率不同。如乳状液、含有悬浮物的流体、胶体溶液。由这些质点的无规则排列所引起的散射称为丁达尔散射。最新-光电检测技术第一章2-课件54（2）瑞利散射

由于介质中存在着密度起伏，破坏了介质的光学均匀性，从而导致散射。这种散射光的强度和波长的4次方成反比，即：称为瑞利定律。散射光的波长还是原来入射光的波长，只是入射光中波长较短的光散射系数大，即容易被散射。（2）瑞利散射55（3）瑞利散射

在各向异性介质中，除了密度起伏外，分子的去向与它们最可能的平均取向也有偏差。这种偏差表现为这部分分子的极化率（P=XE中的X）对其平均值有起伏，破坏了次波的相干性，导致光的散射。（3）瑞利散射56（二）喇曼散射在散射光中，除有与入射光频率相同的瑞利散射外，在瑞利线的两侧还有频率为的散射线存在。这种散射现象称之为喇曼散射。（二）喇曼散射57§1.7光的干涉、衍射和偏振一、光的干涉1、波的叠加原理2、波强度3、相干条件4、光源的相干性（1）时间相干性（2）空间相干性§1.7光的干涉、衍射和偏振58二、光的衍射1、定义2、分类菲涅耳衍射：夫朗和费衍射：二、光的衍射59三、光的偏振1、定义三、光的偏振602、分类自然光偏振光（1）线偏振光（2）圆偏振光（3）椭圆偏振光（4）完全偏振光（5）部分偏振光2、分类613、获得偏振光的方法（1）反射和折射产生偏振光（2）双折射产生偏振光（3）偏振片3、获得偏振光的方法62光的偏振调制方法：1、旋光现象振动面旋转的角度决定于旋光物质的性质、厚度以及入射光的波长光的偏振调制方法：振动面旋转的角度决定于旋光物质的性质、厚度632、法拉第效应一些不具有旋光性的物质，在磁场的作用下也可以使穿过它的偏振光的振动方向旋转。这种在磁场作用下产生的旋光效应或磁致旋光效应。2、法拉第效应643、光弹效应（1）双折射现象（2）光弹效应3、光弹效应654、克尔电光效应迄今为止已发现的电光效应有两种：一种是折射率的变化量与外电场强度的一次方成比例，称为泡克耳斯（Pochels）效应；另一种是折射率的变化量与外电场强度的平方成比例，称为克尔（Kerr）效应。利用克尔效应制成的调制器称为克尔盒，其中的光学介质为具有电光效应的液体有机化合物。利用泡克尔斯效应制成的调制器称为泡克尔斯盒，其中的光学介质为非中心对称的压电晶体。泡克尔斯盒又可分为纵向和横向调制器两种。

4、克尔电光效应66克尔电光效应克尔电光效应67

§1.8辐射度的基本物理量1、辐射能Qe辐射能是一种以辐射的形式发射、传播或接收的能量，单位为J（焦耳）。当辐射能被其它物质吸收时，可以转变为其它形式的能量，如热能、电能等等。§1.8辐射度的基本物理量682、辐射通量辐射通量又称辐射功率Pe，是以辐射形式发射、传播或接收的功率，单位为W（瓦），即1W=1J/S（焦耳每秒）。它也是辐射能随时间的变化率:

(1.1)2、辐射通量693、辐射强度Ie

辐射强度定义为在给定方向上的单位立体角内，离开点辐射源（或辐射面源）的辐射通量。从图1-1可见：(1.2)

单位为W/sr（瓦每球面度）。图1-1点辐射源的辐射强度3、辐射强度Ie图1-1点辐射源的辐射强度70

若点辐射源是各向同性的，即其辐射强度在所有方向上都相同，则该辐射源在有限立体角内发射的辐射通量为:(1.3)在空间所有方向（）上发射的辐射通量为：（1.4）

实际上，一般辐射源多为各向异性的辐射源，其辐射强度随方向而变化，可用极坐标辐射强度表示，即若点辐射源是各向同性的，即其辐射强度在所71

如图1-2所示。这样，点辐射源在整个空间发射的辐射通量为：

(1.5)1-2某一方向上的发光强度如图1-2所示。这样，点辐射源在整个空间发1-2724、辐射出射度Me辐射出射度为面辐射源表面单位面积（通常往半空间立体角）上发射的辐射通量，即:

(1.6)单位为W/m2（瓦每平方米）。4、辐射出射度Me735、辐射照度Ee辐射照度为接收面上单位面积所照射的辐射通量，即:(1.7)辐射通量的单位为W/m2（瓦每平方米）。辐射出射度Me与辐射照度Ee的表达式和单位完全相同，其区别仅在于前者是描述面辐射源向外发射的辐射特性，而后者则为描述辐射接收面所接收的辐射特性。对此，应从概念上区别。5、辐射照度Ee746、辐射亮度Le（图1-3）辐射亮度定义为辐射源表面一点处的面元在给定方向上的辐射强度，除以该面元在垂直与该方向的平面上的正投影面积，即:(1.8)单位为W/sr（瓦每球面度平方米）。

图1-3辐射源的辐射亮度6、辐射亮度Le（图1-3）图1-3辐射源75

一般辐射源表面各处的辐射亮度及该面源各方向上的辐射亮度都是不相同的，此时辐射源的辐射亮度的一般表达式为：

（1.9）一般辐射源表面各处的辐射亮度及该面源各方767、光谱辐射量实际上，辐射源所发射的能量往往由很多波长的单色辐射所组成。为了研究各种波长的辐射能量，还必须对单一波长的光辐射作相应的规定。前面介绍的几个重要辐射量，都有与其相对应的光谱辐射量。光谱辐射量又叫辐射量的光谱密度，是辐射量随波长的变化率。

7、光谱辐射量77光谱辐射通量：辐射源发出的光在波长处的单位波长间隔内的辐射通量。辐射通量与波长的关系曲线如图1-4所示，其关系式为(1.10)

单位为W/um（瓦每微米），或W/nm（瓦每纳米）

图1-4光谱辐射通量与波长的关系光谱辐射通量：图1-4光谱辐射通量与78其它辐射量也有类似的关系：光谱辐照度：光谱辐射出射度：光谱辐射亮度：辐射源的总辐射通量是：其它辐射量也有类似的关系，用一般的函数表示：其它辐射量也有类似的关系：79§1.9光度的基本物理量一、光谱光视效率国际照明委员会（CIE）根据对许多人的大量观察结果，确定了人眼对各种波长光的平均相对灵敏度，称为“标准光度观察者”光谱光视效率，或称视见函数，用表示。§1.9光度的基本物理量80

二、光度学的基本物理量光度量和辐射度量的定义、定义方程是一一对应的。为避免混淆，在辐射度量符号上加下标“e”，而在光度量符号上加下标“V”。表1-1给出了辐射度量与光度量之间的对应关系。

81

表1-1辐射度量和光度量的对照表辐射度量符号单位光度量符号单位辐[射]能QeJ光量Qvlms辐[射]通量或辐[射]功率W光通量lm辐[射]照度EeWm-2光照度Evlx=lmm-2

辐[射]出度MeWm-2光出射度Mvlmm-2

辐[射]强度IeWsr-1发光强度Ivcd=lmsr-1

辐[射]亮度LeWm-2sr-1

光亮度光谱光视效率Lvcdm-2

82

由于人眼对等能量的不同波长的可见光辐射能所产生的光感觉是不同的。光谱辐射通量为的可见光辐射，所产生的视觉刺激值，即光通量：其中Km称为视觉最大光谱光视效能，它表示人眼对波长为555nm[V（λ=555）=1]光辐射产生的光视效能，且λ1=

380nm，

λ2=780nm由于人眼对等能量的不同波长的可见光辐射83三、光度学基本定律1、余弦定律

又称朗伯余弦定律任意表面上的照度随该表面法线与辐射能传播方向之间的夹角余弦变化。三、光度学基本定律842、亮度守恒定律

光在同一种介质中传播时，若传播过程中无能量损失，则光能传输的任一表面亮度相等，即亮度守恒。光从一种介质传输到另一种介质，即所取二个面元分别处于不同介质中，并认为光在介质表面无反射和吸收损失，基本辐亮度（定义：辐射亮度/介质平方）是守恒的。2、亮度守恒定律853、照度与距离平方反比定律

当均匀点光源向空间发射球面波，则点光源在传输方向上某点的照度与该点到点光源距离平方成反比。3、照度与距离平方反比定律86第1章概述掌握内容光电检测系统的研究内容、基本构成、工作原理及基本结构形式；调制和检测光特征参数及相应的基本方法。理解内容光的本质及相关知识；辐射度与光度学的基本概念。

了解内容了解光电检测技术的优缺点；光电检测技术的展望第1章概述掌握内容87第1章主要内容§1.1引言§1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理§1.3光电检测技术的现代发展

第1章主要内容§1.1引言88§1.1引言一、光电检测技术的定义

光学与电子学技术相结合而产生的一门新兴检测技术，它是利用电子技术对光学信息进行检测，并进一步传递、储存、控制、计算和显示等。§1.1引言一、光电检测技术的定义89二、光电检测技术的检测量

从原理上讲可以检测一切能够影响光量或光特性的非电量。光量：光通量或光强度光特性：光波的幅值、频率、相位、偏振最新-光电检测技术第一章2-课件90三、光电检测技术的主要内容

光电检测技术的主要内容是通过光学系统把携带被测信息的非电量信息变换成便于接收的光学信息，然后用光电探测器将光学信息变换成电量，并进一步经电路放大、处理等，达到输出的目的。信息变换技术和电信号处理技术。信息变换技术：非电量变换成光学量光学量变换成电量

三、光电检测技术的主要内容91§1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理

一、几个光电检测实例1、红外防盗报警系统

图1－1§1.2光电检测系统的基本构成和基本工作原理一、几个光电检922、激光外径扫描仪图1－21－旋转多面体2－半导体激光器3－透镜4－工件5－物镜6－光电器件2、激光外径扫描仪图1－2933、光弹性效应测力计图1－31-白炽灯2-聚光镜3-滤光片4-减光楔5-分束镜6-起偏振镜7-云母片8-测力元件9-检偏振镜10，12-光电池11-减光楔13-检流计

3、光弹性效应测力计94二、光电检测系统的构成框图

图1－4光电检测系统框图二、光电检测系统的构成框图95

光是信息传递的媒介，它由光源产生。光源与照明光学系统一起获得测量所需的光载波，光载波与被测对象同时作用在光学系统上而将被测量载荷到光载波上，称为光学变换。光学变换是用各种调制的方法来实现的。光学变换后的光载波上载荷有各种被测信息，称为光信息。光信息经光电器件实现由光向电的信息转换，称为光电转换。然后被测信息就可用各种电信号处理的方法实现解调、滤波、整形、判向、细分等，或送到计算机进行进一步的运算，直接显示被测量或者存储或者去控制相应的装置。

96光电检测系统各部分的功能：（1）光源和照明光学系统考虑光源的辐射功率、光谱范围、发光空间分布；发出的光作为载波或者被测对象；照明光学系统的分类光电检测系统各部分的功能：97（2）被测对象及光学变换光学变换：通过光学元件和光学系统把待测量转换为光参量光学系统可以根据不同的光学性质、光学效应，其结构形式不同光参量：光本质是电磁波，其参量有幅值、频率、相位、偏振态、传播方向等（3）光信号的匹配处理

光信号的处理主要包括光信号的调制、变光度、光谱校正、光漫射，以及会聚、扩束、分束等。使用的光学器件可以是透镜、滤光片、光阑、光楔、棱镜、反射镜、光通量调制器、光栅等。

（2）被测对象及光学变换98（4）光电转换以光信号为媒质，以光电探测器为手段，将经过待测量调制的光信号转换成电信号；决定整个检测系统的灵敏度、精度、动态响应；光电探测器（4）光电转换99（5）电信号的放大与处理主要实现两个功能：①实现对微弱信号的检测；②实现光源的稳定化

（6）存储、显示与控制系统（5）电信号的放大与处理100三、基本工作原理

光电检测系统是以光信息变换为基础的，把待测量通过光信号变换为电量来进行测量的。三、基本工作原理101（一）把待测量变换为光信息量

它是以光通量的大小来反映待检测量的大小。光电探测器的输出往往与入射到它的光敏面上的光通量成正比，所以，光电探测器的光电流大小可以反映出待检测量的大小，即光电流I是待检测信息量Q值的函数：

I=f(Q)(1-1)

这是一种模拟量信息变换。（一）把待测量变换为光信息量102（二）把待检测量变换为光信息脉冲

它是以光脉冲或条纹数的多少来反映待测量的大小，光电探测器的输出为低电平和高电平两个状态组成的一系列脉冲数字信息，这些数字信息量T是待测信息量Q的函数：T=f(Q)(1-2)这是一种模/数信息转换。（二）把待检测量变换为光信息脉冲103四、基本结构形式1、辐射式图1－51、被测物体2、会聚透镜3、光电二极管四、基本结构形式图1－51、被测物体2、会聚透104例：全辐射测温：由斯忒藩－玻尔兹曼（Stefan—Boltzman）定律可知，物体的全辐射出射度为：（1－1）式中：ε—比辐射率，对于某一物体ε值为常数σ—斯忒藩－玻尔兹曼常数；T—绝对温度。在近距离测量时，可不考虑大气对辐射的吸收作用，则光电探测器输出的电压信号为：式中β为光电变换系数。将（1－1）代入上式得：(1—2)例：全辐射测温：1052、反射式图1－61、光源2、被测物3、光电探测器2、反射式图1－61、光源2、被测物3、光电探106测转速的例子：

轴转动一周，光电探测器4就获得一个由光源1发出的反射光的脉冲，此脉冲数就反映了轴的转速。图1－71、光源2、转轴3、小平面镜4、光电探测器测转速的例子：图1073、遮挡式图1－81、光源2、待检测物3、光电探测器3、遮挡式图1－81084、透射式：根据工作原理不同又分为：（1）模拟量信息变换方式（2）模/数信息变换方式

图1－9图1－104、透射式：根据工作原理不同又分为：图1－9图1－1095、干涉式

图1－111－光源2－透镜3－分束器4－反射镜5－待测物体6－光电探测器5、干涉式1106、衍射式

图1－12衍射测量原理结构

6、衍射式图1－12衍射测量原理结11112/19/2022《光电检测技术》112五、基本方法1.方法分类12/17/2022《光电检测技术》26五、基本方法11212/19/2022《光电检测技术》1132.方法的选择

合理选择光学测量方法主要依据以下五点来综合考虑：⑴被测对象与被测量；⑵测量范围；⑶测量的灵敏度或精度；⑷经济性；⑸测量时的环境要求。12/17/2022《光电检测技术》272.方法的选择11312/19/2022《光电检测技术》114测量精度与测量灵敏度

选择测量方法的另一主要原则是灵敏度和要求的精度。右图是主要光学测量方法在尺寸上能达到的分辨率。而精度一般来说是测量分辨率的1～3倍。

12/17/2022《光电检测技术》28测量精度与测量灵敏度11412/19/2022《光电检测技术》115测量的经济性与环境要求经济性好,环境要求低经济性中,环境要求一般经济性偏高，有环境要术衍射计量扫描计量散斑计量光纤计量莫尔与拓扑法图像计测法共路干涉计量全息计量光谱计量纳米计量表：主要光学测量方法的经济性和对环境的要求方法选择小结

以上选择的依据是初步的，测量方法的最终确定应有具体设计方案，综合考虑以上各方面的因素。测量方法的确定往往是测量是否取得成功的关键。

12/17/2022《光电检测技术》29测量的经济性与环境要11512/19/2022《光电检测技术》116§1.3光电检测技术的现代发展1.技术特色12/17/2022《光电检测技术》30§1.3光电检测技11612/19/2022《光电检测技术》1172.技术现状（光学测量技术学科的组成）

光学是这个基本体系中的原理基础，而精密机械、电子技术与计算机技术构成塔底三角形，是光学测量的支撑基础。12/17/2022《光电检测技术》312.技术现状（光学测11712/19/2022《光电检测技术》118技术现状（光学测量技术主要原理分类）

12/17/2022《光电检测技术》32技术现状（光学测量技11812/19/2022《光电检测技术》119技术现状（光学测量系统的主要构成）12/17/2022《光电检测技术》33技术现状（光学测量系11912/19/2022《光电检测技术》120光学测量技术发展趋势（原理上）从主观光学发展成为客观光学，即用光电探测器取代人眼这个主观探测器，提高了测量精度与效率；用激光光源来取代常规光源，获得方向性极好的实际光线用于各种光学测量上；从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换，实现测量与控制的一体化。光学测量技术发展趋势（功能上）从静态测量发展成为动态测量；从逐点测量发展成为全场测量；从低速度测量发展成快速的，具有存贮、记录功能的测量。12/17/2022《光电检测技术》34光学测量技术发展趋势12012/19/2022《光电检测技术》1213.技术发展方向亚微米级、纳米级的高精密光学测量方法首先得到优先发展；利用新的物理学原理和光电子学原理而产生的新的光学测量方法将不断出现；以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向，小型的、微型的非接触式光学传感器以及微光学这类微结构系统将崭露头角；半导体激光器(LD)及其阵列，光开关，光滤波器，光电探测阵列等新器件将在过程控制，在线测量与控制上得到广泛应用；12/17/2022《光电检测技术》353.技术发展方向亚微12112/19/2022《光电检测技术》122快速、高效的3D测量技术将取得突破，成为带存贮功能的全场动态测量仪器；发展闭环式光学测试技术，实现光学测量与光学控制的一体化；发展光学诊断和光学无损检测技术；生物科学研究中的光探测越来越收到世界科技工作者的共同关注。3.技术发展方向非接触化、小型化、集成化、数字化、智能化12/17/2022《光电检测技术》36快速、高效的3D测量122光电检测技术的优点：（1）非接触式检测。（2）响应速度快。（3）测量精度高。（4）检测对象范围宽。（5）远距离、大量程。（6）具有很强的信息处理和运算能力，可将复杂信息并行处理。（7）寿命长。光电检测技术的优点：123光电检测技术的缺点：

(1)由于光电检测系统中用到光学元件，容易被沾污，影响光信号的传输，必须采取措施，否则使用受限制。（2）外界干扰光影响大。背景光及外干扰光的影响使信噪比变差，但可采取措施减至最小。（3）使用温度范围小，不能用在高温。光电检测技术的缺点：124补充知识§1.4光的本质§1.5光在介质表面的反射和折射§1.6光与物质的相互作用§1.7光的干涉、衍射和偏振§1.8辐射度的基本物理量§1.9光度的基本物理量补充知识§1.4光的本质125

§1.4光的本质光是电磁波具有波、粒二象性§1.4光的本质126电磁波谱10^-14 :宇宙射线10^-12 :γ射线10^-10 :x射线10^-7 :紫外线10^-6 :可见光3.8^-7~7.8^-710^-5 :红外线10^-4 :毫米波10^-3 :厘米波10^-2~10^2 :无线电光波电磁波谱光波127电磁波谱图电磁波谱图128一、基本概念

1.光谱可见光波长0.38μm～0.78μm光速C=f.λ紫外线0.01μm～0.38μm具有荧光作用（荧光灯），生理作用（医用紫光灯）光学玻璃透射弱石英玻璃透射强红外线0.78μm～1000μm具有热辐射作用（人体保健）近红外λ<3μm,远红外λ>3μm（人体辐射9.4μm――远红外内衣）一、基本概念1.光谱1292.色谱在可见光范围内，由于波长的不同。而对视觉产生的颜色差异。（人眼的光谱）0.38～0.435～0.49～0.58～0.60～0.65～0.78紫蓝绿黄橙红

2.色谱130

3.光的单位◎光强度：光源产生光的强弱。频率为540×1012（λ＝0.555μm）的单色光在给定方向上产生的辐射功率为1/680W/Sr（球面度）定为光强度单位。称坎德拉cd◎光通量：具有1cd均匀光源在一个球面内产生的光的辐射量，定为光通量单位称流明lm◎光照度：物体表面被光照亮的程度。1lm的光通量在1㎡的平面上产生的照度，单位为勒克斯lx

3.光的单位131§1.5光在介质表面的反射和折射一、光在两透明介质分界面上的反射和折射

实质上是光波的电磁场与物质的相互作用，反射光和折射光的传播方向与入射光入射角的关系就是我们熟知的反射定律和折射定律。那么入射波、反射波和折射波的能量关系是与反射率（R）和透射率（T）有关。§1.5光在介质表面的反射和折射132二、光在金属表面上的反射（1）金属反射光的能力与金属包含的自由电子的密度有关

自由电子密度越大（电导率也越大），反射本领也越高（2）对于同一种金属，入射光波长不同，反射率也不同

频率较低的红外辐射，主要对金属中的自由电子发生作用；频率较高的可见光和紫外辐射，也可以对金属中的束缚电子发生作用。（这时因为束缚电子本身的固有频率处在可见光和紫外辐射区）束缚电子使金属的反射能力降低，透射能力增大，呈现出非金属的光学性质。二、光在金属表面上的反射133（3）金属表面的反射率也与光的入射角有关

与电介质表面的反射不同，不论在什么角度下反射，金属都不能使反射光成为全偏振。（3）金属表面的反射率也与光的入射角有关134§1.6光与物质的相互作用——光的吸收、色散和散射一、光的吸收与色散（1）导电介质和绝缘介质都可以引起光吸收现象。（2）光的吸收是基于朗伯一比尔定律，用公式表示为:

（1.11）§1.6光与物质的相互作用135式中：I为吸收后的光强度；I。是物质浓度为零(即不存在吸收物质)时的光强度；L为色皿(采样槽)的长度；为吸收常数。用图可以表示为：

图1－5朗伯－比尔定律原理图式中：I为吸收后的光强度；I。是物质浓度为零(即不存在吸收物136吸收系数：（1）是波长的函数，这种函数关系称为吸收光谱；不同的材料吸收光谱完全不同。（2）吸收系数与折射率有关，为：式中，称为吸收率或消光系数；消光系数和折射率都是波长的函数。吸收系数：137（3）色散定义：当某一介质的吸收系数随波长不同而改变时，则光在该媒质中传播时，不同波长的光路将被散开。表示介质折射率随波长变化的程度，用色散率表示：（3）色散定义：当某一介质的吸收系数随波长不同而改138二、光的散射

光在不均匀介质中，才有散射。根据散射光波长与入射光波长是否相同，散射可分为两类：（一）瑞利散射

散射光波长与入射光波长相同。

二、光的散射139根据不均匀结构的性质，瑞利散射又可分为三类：（1）丁达尔散射

介质中有很多大质点，其线度约等于光的波长，它们的折射率与周围均匀介质的折射率不同。如乳状液、含有悬浮物的流体、胶体溶液。由这些质点的无规则排列所引起的散射称为丁达尔散射。最新-光电检测技术第一章2-课件140（2）瑞利散射

由于介质中存在着密度起伏，破坏了介质的光学均匀性，从而导致散射。这种散射光的强度和波长的4次方成反比，即：称为瑞利定律。散射光的波长还是原来入射光的波长，只是入射光中波长较短的光散射系数大，即容易被散射。（2）瑞利散射141（3）瑞利散射

在各向异性介质中，除了密度起伏外，分子的去向与它们最可能的平均取向也有偏差。这种偏差表现为这部分分子的极化率（P=XE中的X）对其平均值有起伏，破坏了次波的相干性，导致光的散射。（3）瑞利散射142（二）喇曼散射在散射光中，除有与入射光频率相同的瑞利散射外，在瑞利线的两侧还有频率为的散射线存在。这种散射现象称之为喇曼散射。（二）喇曼散射143§1.7光的干涉、衍射和偏振一、光的干涉1、波的叠加原理2、波强度3、相干条件4、光源的相干性（1）时间相干性（2）空间相干性§1.7光的干涉、衍射和偏振144二、光的衍射1、定义2、分类菲涅耳衍射：夫朗和费衍射：二、光的衍射145三、光的偏振1、定义三、光的偏振1462、分类自然光偏振光（1）线偏振光（2）圆偏振光（3）椭圆偏振光（4）完全偏振光（5）部分偏振光2、分类1473、获得偏振光的方法（1）反射和折射产生偏振光（2）双折射产生偏振光（3）偏振片3、获得偏振光的方法148光的偏振调制方法：1、旋光现象振动面旋转的角度决定于旋光物质的性质、厚度以及入射光的波长光的偏振调制方法：振动面旋转的角度决定于旋光物质的性质、厚度1492、法拉第效应一些不具有旋光性的物质，在磁场的作用下也可以使穿过它的偏振光的振动方向旋转。这种在磁场作用下产生的旋光效应或磁致旋光效应。2、法拉第效应1503、光弹效应（1）双折射现象（2）光弹效应3、光弹效应1514、克尔电光效应迄今为止已发现的电光效应有两种：一种是折射率的变化量与外电场强度的一次方成比例，称为泡克耳斯（Pochels）效应；另一种是折射率的变化量与外电场强度的平方成比例，称为克尔（Kerr）效应。利用克尔效应制成的调制器称为克尔盒，其中的光学介质为具有电光效应的液体有机化合物。利用泡克尔斯效应制成的调制器称为泡克尔斯盒，其中的光学介质为非中心对称的压电晶体。泡克尔斯盒又可分为纵向和横向调制器两种。

4、克尔电光效应152克尔电光效应克尔电光效应153

§1.8辐射度的基本物理量1、辐射能Qe辐射能是一种以辐射的形式发射、传播或接收的能量，单位为J（焦耳）。当辐射能被其它物质吸收时，可以转变为其它形式的能量，如热能、电能等等。§1.8辐射度的基本物理量1542、辐射通量辐射通量又称辐射功率Pe，是以辐射形式发射、传播或接收的功率，单位为W（瓦），即1W=1J/S（焦耳每秒）。它也是辐射能随时间的变化率:

(1.1)2、辐射通量1553、辐射强度Ie

辐射强度定义为在给定方向上的单位立体角内，离开点辐射源（或辐射面源）的辐射通量。从图1-1可见：(1.2)

单位为W/sr（瓦每球面度）。图1-1点辐射源的辐射强度3、辐射强度Ie图1-1点辐射源的辐射强度156

若点辐射源是各向同性的，即其辐射强度在所有方向上都相同，则该辐射源在有限立体角内发射的辐射通量为:(1.3)在空间所有方向（）上发射的辐射通量为：（1.4）

实际上，一般辐射源多为各向异性的辐射源，其辐射强度随方向而变化，可用极坐标辐射强度表示，即若点辐射源是各向同性的，即其辐射强度在所157

如图1-2所示。这样，点辐射源在整个空间发射的辐射通量为：

(1.5)1-2某一方向上的发光强度如图1-2所示。这样，点辐射源在整个空间发1-21584、辐射出射度Me辐射出射度为面辐射源表面单位面积（通常往半空间立体角）上发射的辐射通量，即:

(1.6)单位为W/m2（瓦每平方米）。4、辐射出射度Me1595、辐射照度Ee辐射照度为接收面上单位面积所照射的辐射通量，即:(1.7)辐射通量的单位为W/m2（瓦每平方米）。