ITO薄膜基础知识

ITO薄膜基础知一、ITO薄膜的概念薄是IndiumTinOxides缩写作为纳米铟锡金属氧化物，具有很的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐及紫外、红外是一型氧化物半导-氧化铟,ITO薄膜即铟锡氧化物导体透明导电膜常有两个性能指标阻率和透光率.二、ITO薄膜的应用薄膜具优良的光电性能可见光的透过率达95%以,对红外光的反射率0%,紫外线的吸收率≥85%,对微波的衰减率85%,电性和加工性能极好硬度高且耐磨耐蚀而在工业上应用广泛高技术领域中起着重要作用。主要用途有（一）用平面显示薄膜的明导电性及其良好的电极加工性,所它作为液晶显示器用的明电极获得高速发,约占功能的50%以上例液晶显示(LCD)、、电致发光显示(ELD)、电致彩电显示(ECD)等随着液晶显示器件的大面积化、等级化和彩色化LCD将超过CRT成为显示器件中的流产品。因ITO膜主要用于高清晰度的大型彩电计算器、计算机显示器、液晶电子发光屏幕等。（二）用触摸屏目前市场上，使用ITO料的电阻式触摸和电容式触摸屏应用最为广泛。1电阻式触摸屏薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的TO料阻抗低，但是透明性会变差。PET聚脂膜上沉积时，反应温度要下降到50度以下这会致化不完全之后的应用中会暴露空气或空气隔层里，它单位面积阻抗因为氧化而随时间变化。这得电阻式触摸屏需要经常校正。电阻式触摸屏的多层结构导致很大的光损失，对于手持设备通常需要加大背光源来补透光性不好的问题，但这样也会增加电池的消耗。电阻触摸屏的优点是它的屏和控制系统都比较便宜，反应灵敏也很好。2电容式触屏电容式触摸屏也需要用ITO材且它的功耗低寿命长，自Apple推出iPhone后，友好人机界、流畅操作性能使电容式触摸屏受了市场的追捧，各种电容式触摸屏产品纷纷面世。而且随工艺进步和批量化，它的成本不断下降，正逐步取代电阻触摸屏。表面电容触摸屏的ITO层通常需要在屏的周边加上线性化的金属电极来减小角落边效应对电场的影响有时TO涂下面还会有一个ITO屏蔽层来阻隔噪音表面电容触摸屏至少需要正一次才能使用。感应电容式触摸屏与面电容触摸屏相比，可以穿透较厚的覆盖层，而且不要校正。电容式触摸屏技术是利用人体的电流感应进行工的。电容式触摸屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内表和夹层各涂有一ITO，最外层是一薄层矽土玻璃保护层夹层ITO层作为工作面，四个角上引出四个电极，内层屏蔽层以保证良好的工作环境。代表产品就是苹果iphone、iPodtouch和Pad系产品，拥有其他产品难以超越非凡触控体验。（二）用交通工具风薄膜能除雾防霜是种典型的透明表面发热,可以用作汽车、火车、车、飞机等交通工具的风于陈列窗、溜冰眼镜、双引行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调用加热板的发热体,也可以用于炉门冻食的显示器及低压钠灯等。（三）用太阳能方面薄膜用于异质结IS太能电池顶部化物层22222以得到高的能量转换率如TO/SiO/P-Si太阳电池可以产生3%～16%的转效率。玻璃还可以用于S阳能电池的反射涂层以用于异质结A-Si基阳能电池的透明电极。具有电致变(灵巧窗的典型结构是在普通白玻璃上沉积多层膜,其内外层为膜研究表明,EC玻璃可使建筑物内暖气、冷和照明等能耗减5上。（四）用微波屏蔽和护镜薄膜有良好的微屏蔽作,能防静电用于屏蔽电磁波的地方如计算机房、雷的屏蔽保护,甚至可用于防雷达隐形飞机上。色ITO薄膜铟、锡氧化物的新品种,它能防紫外线和红外,滤去对人体有害的紫波,因镀膜的玻镜片可作特殊防护镜。三、ITO薄膜的主要备方法ITO导电薄是用物理的或化学的方法在基体表面上沉积得到。基体材料一采用玻璃，如采用低温溅射工艺制备这种薄膜，基体也可采用塑料等聚合物材料。基体的热膨胀系数对膜的性质有大的影响，所以选择基体时应考虑基体和莫的热膨胀系数匹配问题。磁控溅射：控溅射法是利用性气体离子轰击靶材一般为高密度的铟锡氧化靶),击下来的原子沉积到衬底上形成薄。磁控溅射法采用的靶材I靶和靶两种化学气相(CVD)法：CVD首先是将铟、锡的有机盐气化然后在NAr的载气气氛中与,HO或222HO等应而得到ITO薄膜喷雾热分法：喷雾热分解法是铟和锡的金属盐溶液雾化后喷在处高温区域的衬底,经过液滴的干燥、热分解过程在基表面得到ITO膜。溶胶-凝胶法首先得到氢氧化铟溶胶然通过浸涂、煅烧等后工艺得到薄膜。水热法：水热法制备薄膜是近年来发展起来一种很有潜力的液相制技术,它一般以价的无机盐或氢氧化物水溶液或悬浮液前驱体以单片金属片玻璃片、甚至塑料等为衬底,将驱体和衬底置于密闭反应容,通过对反应容器加热创了一个高温通常低于300)、高压的反应环境最在衬底上形成稳定结晶相薄。目前,水热法制备薄膜的研主要集中在制备压电和铁电薄膜。四、电容屏主要供应商（一）台电容屏主要应厂商（二）国电容屏主要应厂商（三）国电容屏主要应厂商（四）触板材料价值布（五、材料在电容触摸屏产业链中的基本情况（一）行综述靶材，约占原材料采购成本20%左右。主要由日本提供日本目前提供全球70%左右ITO靶材电工目前在电阻屏和电容屏ITOfilm领域都是第品牌，采取的是高端市场战略，陆厂商由于和日东合作的历史不长，从日东采购的film的格要比日本和台湾厂