超声清洗课件

上节课内容：1.液体清洗：有机溶剂

洗洁精2.高纯水的制备：粗过滤——活性炭过滤——电渗析————紫外光——项目二：LCD制造前工序工艺任务一：清洗与干燥（二）超声清洗一、概述1.超声波2.超声清洗的应用二、工作原理超声清洗利用的原理(1)空化作用；(2)声波的振动；(2).影响超声波空化作用的因素超声波空化作用的强弱与声学参数以及液体的物理化学性质有关

1)超声波强度超声波强度指单位面积上的超声功率，空化作用的产生与超声波强度有关。对于一般液体超声波强度增加时，空化强度增大，但达到一定值后，空化趋于饱和，此时再增加超声波强度则会产生大量无用气泡，从而增加了散射衰减，降低了空化强度。

2)超声波频率超声波频率越低，在液体中产生的空化越容易，产生的力度大，作用也越强，适用于工件（粗、脏）初洗。频率高则超声波方向性强，适用于精细的物件清洗。。一般采用的频率范围20~90kHz。3)液体的表面张力与黏滞系数液体的表面张力越大，空化强度越高，越不易于产生空化。黏滞系数大的液体难以产生空化泡，而且传播过程中损失也大，因此同样不易产生空化。

4)液体的温度液体温度越高，对空化的产生越有利，但是温度过高时，气泡中蒸汽压增大，因此气泡闭合时增强了缓冲作用而使空化减弱。一般来说,超声波在50℃-85℃时,效果最好。三、超声波清洗机的构成超波清洗机主要由超声波清洗槽和超声波发生器两部分构成。

四、超声波清洗的特点1、清洗效果好，清洁度高且全部工件清洁度一致2、清洗速度快，提高生产效率，不须人手接触清洗液，安全可靠。3、对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净4、对工件表面无损伤，节省溶剂、热能、工作场地和人工等。

干燥工艺与设备烘干法甩干法有机溶剂脱水法风刀吹干法任务二：光刻工艺（一）光刻工艺流程简介

光刻工艺也被称为大家熟知的Photomasking,masking,photolithography,或microlithography。

涂光刻胶——前烘——曝光——显影——坚膜——刻蚀——剥离去膜——水洗透明导电玻璃

液晶显示器基本材料

导电膜经过刻蚀形成特定形状的的电极，上下两片导电玻璃制成液晶盒，在电极上加适当信号，是液晶特性改变，就可显示出与电极形状相对应的图形。

透明导电玻璃根据导电膜的不同有很多种，LCD制造目前应用比较广泛的是ITO玻璃。ITO(IndiumTinOxide)玻璃1.ITO玻璃基本结构基板sio2

ITO（1）基板:常用基板厚度：1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm钠钙玻璃和硼硅玻璃是LCD行业中较常用的基板，其中钠钙型玻璃应用更广泛.（2）Si02层：

Si02层的作用:主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力。SiO2层的膜厚:标准膜厚一般为：200—500AITO玻璃的制造

ITO玻璃简要生产工艺流程如下：

磨边——切角——抛光——清洗——Si02溅射——ITO溅射——检验——包装（1）切割磨边的工艺流程：磨边类型及规格要求：

（3）镀膜工艺流程：

镀膜方法：

喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。磁控测射法：在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。（4）ITO玻璃的评价参数透过率：在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。透过率定义：透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分比。Tt=T2/T1X100%。方块电阻:d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/d，这就是方块电阻的定义，即R□=ρ/dL2L1dIR=ρ×L1/(d×L2)ITO玻璃基板平整度参数包括：1、玻璃表面粗糙度；2、基板表面波纹度；3、基板翘曲度；4、基板垂直度；5、ITO膜表面粗糙度；6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。化学稳定性:ITO镀膜层的耐化学性能应符合表以下技术要求。a)耐碱性镀层在温度为60±2℃,浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。b)耐酸性在25±2℃,6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。c)耐溶剂性能将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯)中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。热稳定性:在空气中经30分钟300±5℃（触摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%附着力:用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响主要注意事项：1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度28度以下，湿度不大于70%RH为宜；2、ITO玻璃的