项目五-太阳电池的检测课件

江西太阳能科技职业学院JingCwe-EneraTecineloyIe项目五太阳电池的检测项目导入:太阳电池的检测对于电池片的性能参数和外观都很重要。电池片在制作过程中我们要去监控它的性能参数,使它的光电转换效率尽可能的高另外电池片在制作工艺流程的最后一步我们也要去进行检测分选,为下一步制作高质量的太阳电池组件做准备江西太阳能科技职业学院1江西太阳能科技职业学院知识目标:1.掌握基本性能参薮的概念2掌握影响太阳电池性能的因素3.掌握检测设备的操作流程技能目标:1.掌握电池片的主要性能参数的检测技能2能根据检测的性能参数判断大概是那个工序点出现质量问题,并及时处理3.能够根据检测的结果提岀性能改进的工艺或措施.江西太阳能科技职业学院2江西太阳能科技职业学院任务一方块电阻的检测任务分析:在太阳电池扩散工艺中,扩散层薄层电阻是反映扩散层质量是否符合设计要求的重要工艺指标之一。方块电阻也是标志进入半导体中的杂质总量的一个重要参数,对应于一对确定数值的结深和薄层电阻,扩散层的杂质分布是确定的,同时方块电阻的大小也影响着电池片的开路电压、短路电流、串联电阻、并联电阻及填充因子的电性能参数所以对电池片扩散工艺后的方块电阻的检测是很重要的个环节。江西太阳能科技职业学院3江西太阳能科技职业学院任务目的:1.了解(微)小电阻测量的原理,了解四探针微电阻测量的特点,掌握(微)小电阻测量方法2能够对太阳电池片方块电阻的检测。3.了解太阳电池片方块电阻的大小对太阳电池。4.训练实验设计能力和实验操作水平。江西太阳能科技职业学院4江西太阳能科技职业学院知识应用方块电阻的定义扩散层的薄层电阻也称方块电阻,常分别用,就是表面为正方形的半导体薄层在电流方向(电流方向平行于正方形的边)所呈现的电阻。99二、探针检测电组的原理目前生产中,测量扩散层薄层电阻广泛采用四探针法。测量装置示意图如图所示。图中直线陈列四根金属探针(一般用钨丝腐蚀而成)排列在彼此相距为S一直线上,并且要求探针同时与样品表面接触良好,外面一对探针用来通电流、当有电流注入时,样品内部各点将产生电位,里面一对探针用来测量2、3点间的电位差。江西太阳能科技职业学院5江西太阳能科技职业学院四探针的原理见图1。前端精磨成针尖状的1、2、3、4号金属细棒中,1、4号和高精度的直流稳流电源相联,2、3号与高精度(精确到0.1μ∨)数字电压表或电位差计相联。四根探针有两种排列方式,一是四根针排列成条直线(图1a),探针间可以是等距离也可是非等距离;二是四根探针呈正方形或矩形排列(图1b)。对于大块状或板状试样(尺寸远大于探针距),两种探针排布方式都可以使用;而于细条状或细棒状试样,使用第二种方式更为有利。当稳流源通过1、4探针提供给试样一个稳定的电流时,在2、3探针上测得一个电压值V23。本实验采用第一种探针排布(图1a)形式,其等效电路图见图2。江西太阳能科技职业学院6江西太阳能科技职业学院流源电压表电压表样品a图1.四点探针电阻测量原理示意图bR(R0+R5+R6+R7+R8)当被测电阻很小(例如小于19),而电压表内阻很大时(本实验使用hp34410A型数字电压表其内阻大于10MQ),R5、R6、R7、R8和R0对实验结果的影响在有效数字以外,测量结果足够精确。江西太阳能科技职业学院7江西太阳能科技职业学院稳流源高精度数字电压表HR5HR6HROHR7R8图2.四点探针电阻测量等效电路图R1、R4、R5、R8导线电阻,R2、R3、R6、R7,接触电阻R0数字电压表内阻,R被测电阻江西太阳能科技职业学院8江西太阳能科技职业学院、方块电组的计算公式1.用KDY1A测量方块电阻时,计算公式为:R=VAxF(D)×F(WS)×FSP由于扩散层、导电薄膜很薄F(WS)=1,所以只要选取电流l=F(S/D)FSP电压表本身已经做了小数点移位,在1mA档时,电流可选453,在10mA档时,电流可选453,p/R选择在R位置,从KDY1A电压表上即可直接读出方块电阻R2考虑一块长为、宽为a、厚为t的薄层如右图。如果该薄层材料的电阻率为p,则该整个薄层的电阻为R江西太阳能科技职业学院9江西太阳能科技职业学院当1=a(即为一个方块)时,R=pt。可见,(pt)代表一个方块的电阻故称为方块电阻,特记为R口=pt(/口)三、方块电阻检测的步骤在背板上电源插座插好电源线、四探针头连接线,检査保险丝管有无松动2.打开背板上的电源开关(将按下)此时面板上的数字表及各控制开关上均有指示灯点亮。3.从左向右,察看控制开关,先将电流换档开关置于“1mA",在测硅片、硅块/RP/R置于“在测方块电阻置于“R",校准测量档选在校准江西太阳能科技职业学院10项目五-太阳电池的检测课件11项目五-太阳电池的检测课件12项目五-太阳电池的检测课件13项目五-太阳电池的检测课件14项目五-太阳电池的检测课件15项目五-太阳电池的检测课件16项目五-太阳电池的检测课件17项目五-太阳电池的检测课件18项目五-太阳电池的检测课件19项目五-太阳电池的检测课件20项目五-太阳电池的检测课件21项目五-太阳电池的检测课件22项目五-太阳电池的检测课件23项目五-太阳电池的检测课件24项目五-太阳电池的检测课件25项目五-太阳电池的检测课件26项目五-太阳电池的检测课件27项目五-太阳电池的检测课件28项目五-太阳电池的检测课件29项目五-太阳电池的检测课件30项目五-太阳电池的检测课件31项目五-太阳电池的检测课件32项目五-太阳电池的检测课件33项目五-太阳电池的检测课件34项目五-太阳电池的检测课件35项目五-太阳电池的检测课件36项目五-太阳电池的检测课件37项目五-太阳电池的检测课件38项目五-太阳电池的检测课件39项目五-太阳电池的检测课件40项目五-太阳电池的检测课件41项目五-太阳电池的检测课件42项目五-太阳电池的检测课件43项目五-太阳电池的检测课件44项目五-太阳电池的检测课件45项目五-太阳电池的检测课件46项目五-太阳电池的检测课件47项目五-太阳电池的检测课件48项目五-太阳电池的检测课件49项目五-太阳电池的检测课件50项目五-太阳电池的检测课件51项目五-太阳电池的检测课件52项目五-太阳电池的检测课件53项目五-太阳电池的检测课件54项目五-太阳电池的检测课件55项目五-太阳电池的检测课件56项目五-太阳电池的检测课件57项目五-太阳电池的检测课件58项目五-太阳电池的检测课件59项目五-太阳电池的检测课件60项目五-太阳电池的检测课件61项目五-太阳电池的检测课件62项目五-太阳电池的检测课件63项目五-太阳电池的检测课件64项目五-太阳电池的检测课件65项目五-太阳电池的检测课件66项目五-太阳电池的检测课件67项目五-太阳电池的检测课件68项目五-太阳电池的检测课件69项目五-太阳电池的检测课件70项目五-太阳电池的检测课件71项目五-太阳电池的检测课件72项目五-太阳电池的检测课件73项目五-太阳电池的检测课件74项目五-太阳电池的检测课件75项目五-太阳电池的检测课件76项目五-太阳电池的检测课件77江西太阳能科技职业学院JingCwe-EneraTecineloyIe项目五太阳电池的检测项目导入:太阳电池的检测对于电池片的性能参数和外观都很重要。电池片在制作过程中我们要去监控它的性能参数,使它的光电转换效率尽可能的高另外电池片在制作工艺流程的最后一步我们也要去进行检测分选,为下一步制作高质量的太阳电池组件做准备江西太阳能科技职业学院78江西太阳能科技职业学院知识目标:1.掌握基本性能参薮的概念2掌握影响太阳电池性能的因素3.掌握检测设备的操作流程技能目标:1.掌握电池片的主要性能参数的检测技能2能根据检测的性能参数判断大概是那个工序点出现质量问题,并及时处理3.能够根据检测的结果提岀性能改进的工艺或措施.江西太阳能科技职业学院79江西太阳能科技职业学院任务一方块电阻的检测任务分析:在太阳电池扩散工艺中,扩散层薄层电阻是反映扩散层质量是否符合设计要求的重要工艺指标之一。方块电阻也是标志进入半导体中的杂质总量的一个重要参数,对应于一对确定数值的结深和薄层电阻,扩散层的杂质分布是确定的,同时方块电阻的大小也影响着电池片的开路电压、短路电流、串联电阻、并联电阻及填充因子的电性能参数所以对电池片扩散工艺后的方块电阻的检测是很重要的个环节。江西太阳能科技职业学院80江西太阳能科技职业学院任务目的:1.了解(微)小电阻测量的原理,了解四探针微电阻测量的特点,掌握(微)小电阻测量方法2能够对太阳电池片方块电阻的检测。3.了解太阳电池片方块电阻的大小对太阳电池。4.训练实验设计能力和实验操作水平。江西太阳能科技职业学院81江西太阳能科技职业学院知识应用方块电阻的定义扩散层的薄层电阻也称方块电阻,常分别用,就是表面为正方形的半导体薄层在电流方向(电流方向平行于正方形的边)所呈现的电阻。99二、探针检测电组的原理目前生产中,测量扩散层薄层电阻广泛采用四探针法。测量装置示意图如图所示。图中直线陈列四根金属探针(一般用钨丝腐蚀而成)排列在彼此相距为S一直线上,并且要求探针同时与样品表面接触良好,外面一对探针用来通电流、当有电流注入时,样品内部各点将产生电位,里面一对探针用来测量2、3点间的电位差。江西太阳能科技职业学院82江西太阳能科技职业学院四探针的原理见图1。前端精磨成针尖状的1、2、3、4号金属细棒中,1、4号和高精度的直流稳流电源相联,2、3号与高精度(精确到0.1μ∨)数字电压表或电位差计相联。四根探针有两种排列方式,一是四根针排列成条直线(图1a),探针间可以是等距离也可是非等距离;二是四根探针呈正方形或矩形排列(图1b)。对于大块状或板状试样(尺寸远大于探针距),两种探针排布方式都可以使用;而于细条状或细棒状试样,使用第二种方式更为有利。当稳流源通过1、4探针提供给试样一个稳定的电流时,在2、3探针上测得一个电压值V23。本实验采用第一种探针排布(图1a)形式,其等效电路图见图2。江西太阳能科技职业学院83江西太阳能科技职业学院流源电压表电压表样品a图1.四点探针电阻测量原理示意图bR(R0+R5+R6+R7+R8)当被测电阻很小(例如小于19),而电压表内阻很大时(本实验使用hp34410A型数字电压表其内阻大于10MQ),R5、R6、R7、R8和R0对实验结果的影响在有效数字以外,测量结果足够精确。江西太阳能科技职业学院84江西太阳能科技职业学院稳流源高精度数字电压表HR5HR6HROHR7R8图2.四点探针电阻测量等效电路图R1、R4、R5、R8导线电阻,R2、R3、R6、R7,接触电阻R0数字电压表内阻,R被测电阻江西太阳能科技职业学院85江西太阳能科技职业学院、方块电组的计算公式1.用KDY1A测量方块电阻时,计算公式为:R=VAxF(D)×F(WS)×FSP由于扩散层、导电薄膜很薄F(WS)=1,所以只要选取电流l=F(S/D)FSP电压表本身已经做了小数点移位,在1mA档时,电流可选453,在10mA档时,电流可选453,p/R选择在R位置,从KDY1A电压表上即可直接读出方块电阻R2考虑一块长为、宽为a、厚为t的薄层如右图。如果该薄层材料的电阻率为p,则该整个薄层的电阻为R江西太阳能科技职业学院86江西太阳能科技职业学院当1=a(即为一个方块)时,R=pt。可见,(pt)代表一个方块的电阻故称为方块电阻,特记为R口=pt(/口)三、方块电阻检测的步骤在背板上电源插座插好电源线、四探针头连接线,检査保险丝管有无松动2.打开背板上的电源开关(将按下)此时面板上的数字表及各控制开关上均有指示灯点亮。3.从左向右,察看控制开关,先将电流换档开关置于“1mA",在测硅片、硅块/RP/R置于“在测方块电阻置于“R",校准测量档选在校准江西太阳能科技职业学院87项目五-太阳电池的检测课件88项目五-太阳电池的检测课件89项目五-太阳电池的检测课件90项目五-太阳电池的检测课件91项目五-太阳电池的检测课件92项目五-太阳电池的检测课件93项目五-太阳电池的检测课件94项目五-太阳电池的检测课件95项目五-太阳电池的检测课件96项目五-太阳电池的检测课件97项目五-太阳电池的检测课件98项目五-太阳电池的检测课件99项目五-太阳电池的检测课件100项目五-太阳电池的检测课件101项目五-太阳电池的检测课件102项目五-太阳电池的检测课件103项目五-太阳电池的检测课件104项目五-太阳电池的检测课件105项目五-太阳电池的检测课件106项目五-太阳电池的检测课件107项目五-太阳电池的检测课件108项目五-太阳电池的检测课件109项目五-太阳电池的检测课件110项目五-太阳电池的检测课件111项目五-太阳电池的检测课件112项目五-太阳电池的检测课件113项目五-太阳电池的检测课件114项目五-太阳电池的检测课件115项目五-太阳电池的检测课件116项目五-太阳电池的检测课件117项目五-太阳电池的检测课件