扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件

电子显微分析电子显微分析1基本内容电镜的结构与成象电镜中的电子衍射及分析1)斑点花样(原理、实验方法、指数标定及应用)2)菊池线花样(原理、指数标定、应用)3)会聚书束花样(原理、实验方法、指数标定及应用)3电镜显微图象解释1)复形象2)衍衬象3)相位象4扫描电子显微术X射线显微分析和俄歇能谱分析基本内容2第一章电镜的结构与成象1.1光学显微镜的局限性1)一个世纪以来,人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限,对诸如合金中的G.P区(几十埃)无能为力。)最小分辨距离计算公式d=0.6l其中d—最小分辨距离nSln暖17透镜周围的折射率透镜对物点张角的一半,n·sina称为数值孔径,用N.A表示第一章电镜的结构与成象33)由于光的衍射,使得由物平面内的点01、02在象平面形成B1、B2圆斑(Airy斑)。若O1、O2靠的太近,过分重叠,图象就模糊不清强度图(a)点01、02形成两个iry斑;图(b)是强度分布。3)由于光的衍射,使得由物平面内的点01、02在象平面形成4图(c)两个Airy斑图(d)两个Airy斑图(e)两个Airy斑明显可分辨出。刚好可分辨出分辨不出。图(c)两个Airy斑5扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件6Plank常数,6.63×1034J.S电子速度9.1×10显然,v越大,越小,电子的速度与其加速电压(E伏特)有关E而c=1.60×109λ=√150/E埃即若被150伏的电压加速的电子,波长为1埃。若加速电压很高,就应进行相对论修正。(参考教材P3表1-1)Plank常数,6.63×1034J.S71.3电子透镜1)电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力,使其会聚或发散,从而达到成象的目的。由静电场制成的透镜——静电透镜由磁场制成的透镜磁透镜2)磁透镜和静电透镜相比有如下的优点磁透镜静电透镜1.改变线圈中的电流强度|1.需改变很高的加速电压可很方便的控制焦距和放才可改变焦距和放大率2.静电透镜需数万伏电压,无击穿,供给磁透镜线常会引起击穿圈的电压为60到100伏:3.象差较大。3.象差小。目前,应用较多的是磁透镜,我们只是分析磁透镜是如何工作的。1.3电子透镜83)磁透镜结构剖面图图1-23)磁透镜结构剖面图94)磁透镜使电子会聚的原理A图1-3(a)电子在磁透镜中的运动轨迹4)磁透镜使电子会聚的原理10扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件11扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件12扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件13扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件14扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件15扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件16扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件17扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件18扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件19扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件20扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件21扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件22扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件23扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件24扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件25扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件26扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件27扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件28扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件29扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件30扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件31扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件32扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件33扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件34扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件35扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件36扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件37扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件38扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件39扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件40扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件41扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件42扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件43扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件44扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件45扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件46电子显微分析电子显微分析47基本内容电镜的结构与成象电镜中的电子衍射及分析1)斑点花样(原理、实验方法、指数标定及应用)2)菊池线花样(原理、指数标定、应用)3)会聚书束花样(原理、实验方法、指数标定及应用)3电镜显微图象解释1)复形象2)衍衬象3)相位象4扫描电子显微术X射线显微分析和俄歇能谱分析基本内容48第一章电镜的结构与成象1.1光学显微镜的局限性1)一个世纪以来,人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限,对诸如合金中的G.P区(几十埃)无能为力。)最小分辨距离计算公式d=0.6l其中d—最小分辨距离nSln暖17透镜周围的折射率透镜对物点张角的一半,n·sina称为数值孔径,用N.A表示第一章电镜的结构与成象493)由于光的衍射,使得由物平面内的点01、02在象平面形成B1、B2圆斑(Airy斑)。若O1、O2靠的太近,过分重叠,图象就模糊不清强度图(a)点01、02形成两个iry斑;图(b)是强度分布。3)由于光的衍射,使得由物平面内的点01、02在象平面形成50图(c)两个Airy斑图(d)两个Airy斑图(e)两个Airy斑明显可分辨出。刚好可分辨出分辨不出。图(c)两个Airy斑51扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件52Plank常数,6.63×1034J.S电子速度9.1×10显然,v越大,越小,电子的速度与其加速电压(E伏特)有关E而c=1.60×109λ=√150/E埃即若被150伏的电压加速的电子,波长为1埃。若加速电压很高,就应进行相对论修正。(参考教材P3表1-1)Plank常数,6.63×1034J.S531.3电子透镜1)电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力,使其会聚或发散,从而达到成象的目的。由静电场制成的透镜——静电透镜由磁场制成的透镜磁透镜2)磁透镜和静电透镜相比有如下的优点磁透镜静电透镜1.改变线圈中的电流强度|1.需改变很高的加速电压可很方便的控制焦距和放才可改变焦距和放大率2.静电透镜需数万伏电压,无击穿,供给磁透镜线常会引起击穿圈的电压为60到100伏:3.象差较大。3.象差小。目前,应用较多的是磁透镜,我们只是分析磁透镜是如何工作的。1.3电子透镜543)磁透镜结构剖面图图1-23)磁透镜结构剖面图554)磁透镜使电子会聚的原理A图1-3(a)电子在磁透镜中的运动轨迹4)磁透镜使电子会聚的原理56扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件57扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件58扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件59扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件60扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件61扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件62扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件63扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件64扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件65扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件66扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件67扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件68扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件69扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件70扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件71扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件72扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件73扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件74扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件75扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件76扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件77扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件78扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件79扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件80扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件81扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件82扫描电子显微镜结构及电子显微分析课件83扫描电子显微镜结构