mks spectra介绍残余气体分析仪

MKSMKS万机仪 全球化架总部位 波士5616万机仪 总50年发展经2006年营业额为7.832010年营业额为8.5315全球2700员纳斯达克上市 代码MKSMKSSpectraMKSMKSSpectra11,000ft2Employs46people(36inCrewe+10Design,development,andmanufactureofgasysisequipmentBroadrangeofmarkets&productsSemiconductorfabs&HighenergyProcessIndustrialthinQMSsystemsforAPFuelcells&MKSMarkets,Applications&RGAMarketSemiEndIonVision1000B,Vision1000CVision1000C/E,Vision1000EVision1000P/HPQ2Vision1000I/HPQ2TOOLWebRGAAllIndustrialThinFilmEndLargesurfaceareacoatingDisk&headmanufactureDecorativecoatingMachinetoolcoatingSolarVisionHGST,CardinalGlass,FirstSolarGuardian,GeneralelectricSemi&ThinFilmIntegrationtoprocesstoolsBaselinemonitoringProcessMicrovisionPlusMicrovisionIPAviza,AMAT,Varian,Veeco,VonHighEnergyMicrovisionPluswithradiationresistantcables&UHVionDiamond,ESRFFermi,SLACVacuumKlystronNightvision/LightMicrovisionPlusMicrovisionIPeVisionMKSMarkets,Applications&RGAMarketTypicalGeneralResearch&SurfacescienceThermaldesorptionGeneralHV&MicrovisionPluseVisionPlusUHVionsourceResearchinstitutesGasSupplyContaminantmonitoringGasysisAirProductsAirLiquideDifferentialthermalResearchinstitutesFuelCells/GeneralcatalysisPolymerelectrolytemembranesSolidoxidefuelcellsFuelcellmanufacture&JohnsonMatheyRollsRoyce(Europe)Aerospace/MaterialsHeattreatmentprocessesVacuumfurnacesMicrovisionPlusMicrovisionIPGeneralInstrumentmanufacturersElectronmicroscopyQuadbasedinstrumenteVisionPlusSubMillbrook(Europe)AlphaMOS(Europe)MKSRGA(ResidualGasyzer余气体分析仪 定定 Xe Xe组成气体分压的总和 离子–四极杆质量过滤检测推笼（带负电压源笼（带正电压加速电极板（带负电压（带负电压源笼里面为被测气体分子原子。灯丝通电后会发射带负电的电子，它受到带负电推笼的推力飞向源笼，同时受到带正电的源笼的引力，加速飞向源笼内。加速的电子与源笼里面为被测气体分子/焦板的引力，会加速从此两电极板孔中穿过。 GoodchoiceforthemajorityofRunsathightempsoliableto‘burn’iftohighThorium Commonifhighpressureburstsarea(coatedon Notresilienttochlorineor-DC/-DC/四极杆上施加各一组极性相反的直流/足够长的极杆提供的过滤周更高的射频频率等效于的过滤周高增高增法拉10-11低增M+10-1410-14M+M+800 zero法拉第检测10-4mbar250℃光电倍增检测仅能工作在10-6mbar不能工作在高于50℃片，分子–氩原子质量是

1 当失去一个电子时，其质荷比是40/140当失去两个电子时，其质荷比是40/220例子二氧化碳其峰值出现在44CO2+28CO+16O+12

CarbonDioxide?

PeakPeak0 81012141618202224262830323436384042444648Mass/Charge总压力是1.1x10-压总压力是1.1x10-

65%氮气18%15%2%氩气,100高真空清洁系统化学气相溅泵油污轻有机重有机MicroVisionHighPerformanceApplications,预过滤预过滤分析仪能改善沾污，提高敏三过滤双过滤单过滤(4吋传输率(对数标尺

质量

基本型质谱 10-4mbar(总压)到10-14mbar(分压100ppb检测极高压性 10mbar(总压)到10-10mbar(分压10ppm检测极带真空泵系 大气压到10-14mbar(分压100ppb检测极常压性CIRRUS2 大气100ppb检15ppb检测极Products-PressureCirrus从ppb易于操作和CirrusCirrus2CirrusCirrus(低噪声(高信号提供较高的温度以减少效Cirrus2系统介（续70l/s4头高压缩,隔膜80℃时切断电子系24VCirrus系统四极杆分析仪Capillary

TotheBacking

EndofQuadrupoleElectronEntryCirrusCirrus2低、快速响应气惰性的搪瓷毛细不锈钢毛细管可选加热到150℃以防止取样气体冷300更好的取样传输特小体适合各种特殊应用需容易ProcessProcessEyeProfessional基于Windows2000,XP数据显示用单Recipe（菜单式）驱动自动操作和用户定义和警(灵活的数据显示包括双“条形图/CirrusPCCirrusCirrus2多气流带压力补偿的多气流CirrusCirrus2的选件48,16ProcessEyeProcessEye软件若选择自动，可带阀带阀(选件这个选件类似于先前介绍的多气体选但一个气体阀动态地调整