2020-2026年中国电子气体市场供需发展前景及投资战略预测报告

2020-2026年中国电子气体市场供需发展前景及投资战略预测报告中金企信国乐信息咨询有^公司为国審貌计■局涉外般许可单垃SiAAA企业后用认证&恪09血质量祐认证单也经过十余年的发展建立起了政扁部门.行会协会科硏院躲调查公司三位V闵艇持平禺专岐供行山报告、调圏S告、专顷題、项目可行性抿告、裔业计划书、硏究蹄等*运莒平S国国擁圏g告兩()&国舸ff期咼昔网(www,bjFjq)ccom〉&中金企信Fl逓咨询网(www,,)“中金企信机K愿景：打造主球专业的咨询服琢牌中金企信机便命：助力^业成圮创造核⑶介直中金企信机帝值观：喜户至上出色的专业能力”切曲粋路径，务竣业精泡中金企信(北京)国际信息咨询有限公司-国统报告网2020-2026年中国电子气体市场供需发展前景及投资战略预测报告电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。在半导体制造过程中，几乎每一步都离不开电子气体，其质量对半导体器件的性能有着重要影响。（1）电子气体分类：纯度是电子气体最重要的指标，气体纯度常用的表示方法有两种：用百分数表示：如99%,99.9%,99.99%,99.9999%等；用“N”表示：如3N,5N,5.5N等，数目N与百分数表示中的“9”的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数，如5.5N表示99.9995%。根据气体纯度不同,气体可分为普通气体、纯气体、高纯气体及超高纯气体4个等级。半导体制造领域,一个硅片需要经过外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗封装等多项工艺,这个过程需要的高纯电子化学气体及电子混合气高达30多种以上,且每一种气体应用在特定的工艺步骤中。（2）电子气体技术壁垒：电子气体的技术壁垒极高,最核心的技术是气体提纯技术。此外超高纯气体的包装和储运也是一大难题。在半导体制造中,电子气体纯度每提升一个数量级,都会促进器件性能的有效提升。为了得到超高纯气体,气体制造需要进行以下几个步骤：气体分离：气体的分离方法有精馏法、吸附法和膜分离法。精馏法是应用最广泛的方法,可分为连续精馏法和间歇精馏法。连续精馏法操作时原料液连续地加入精馏塔内,再沸器取出部分液体作为塔底产品；间歇精馏法原料液一次加入精馏釜中,因而间歇精馏塔只有精馏段而无提馏段。气体提纯：气体制造通常是先将气体进行粗分离,再通过气体提纯技术来提高其纯度。气体提纯技术主要有化学反应法、选择吸附法、低温精馏法和薄膜扩散法等。气体纯度检验：得到提纯后的气体，需对气体进行检测来验证其纯度。随着电子气体纯度越来越高，纯度检验也越来越重要。气体中杂质含量检测从10-6(ppm)级、到10-9(ppb)级甚至10-12(ppt)级。气体的充装与运输：超高纯气体对充装和运输都有特别的要求，要求使用特殊的储运容器、特殊的气体管道及阀门接口等，避免二次污染。(3)电子气体应用：在半导体行业中，电子气体作为不可或缺的原材料，在各个环节中都得到广泛应用，如电子级硅的制备、化学气相沉积成膜、晶圆刻蚀工艺等过程，众多种类的气体都起到了至关重要的作用。电子级硅制备：电子级硅的制备采用西门子法还原法，在制备过程中用到的气体有HCl和H2等，发生的化学反应包括：SiO2+C->Si+CO2仁Si+HCl-SiHCl3+H2仁SiHCl3+H2-Si+HCl。电子级硅对纯度有着极高的要求，目前纯度要求在11N9以上。未了得到电子级纯度硅，制备过程中气体的纯度要求在6N9以上。目前国内12英寸11N9电子级硅基本从日本进口。化学气相沉积成膜：化学气相沉积(CVD)是利用高真空下，气体混合发生相关化学反应最终形成膜。典型的CVD成膜有二氧化硅绝缘膜制备和氮化硅绝缘膜制备。在二氧化硅绝缘膜制备中，SiH4是主要气体，采用6N9级别的02、N2O作用辅助气体。晶圆加工工艺中生长二氧化硅(Si02)绝缘膜涉及的化学反应：SiH4+02->Si02+2H2仁SiH4+N20->Si02+2N2+H2。在氮化硅绝缘膜制备中，氮化硅(Si3N4)绝缘膜涉及的化学反应有：3SiH4+4NH3->Si3N4+12H2；3SiH2Cl2+4NH3->Si3N4+6HCl+6H2。目前国内在建晶圆加工产线在制备半导体膜和绝缘层的过程中涉及的电子特种气体包括SiH4、SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2、AsCl3等原料气体，以及H2、HCl、O2、N2O、NH3等反应气体。在国内半导体发展的过程中，实现6N9以上纯度的反应气体存在较大市场空间。晶圆刻蚀工艺：在硅基底刻蚀中，主要选用氟基气体，例如氟利昂-14(CF4)，在此过程中需要刻蚀部位的Si与CF4反应生成SiF4而除去，其化学反应式为：Si+CF4+02->SiF4+C02。氟利昂-116(C2F6)和氟利昂-23(CHF3)在刻蚀硅时容易产生聚合膜从而影响刻蚀效果，但是在刻蚀Si02的时候不会出现此类现象，因此可用于SiO2的刻蚀。同时由于半导体Si薄膜存在各向同性的特点，刻蚀选择性差，因此后续开发中引入氯基（C12）和溴基（Br2、HBr）作用，最终生成物中还包括SiBr4和SiCl4从而提高选择性。目前国内在建产线汇总涉及薄膜的气体包括CF4、C2F6、CHF3、Cl2、Br2、HBr和CH2F2等，但是此类刻蚀气体用量相对较少，刻蚀过程中需与相关惰性气体Ar、N2等共同作用实现刻蚀程度的均匀。（4）电子气体市场情况：随着集成电路制造产业的发展，全球集成电路用电子气体的市场规模也逐渐扩大。据中金企信国际咨询公布的《2020-2026年中国电子气体市场供需发展前景及投资战略预测报告》统计数据显示：2018年全球集成电路用电子气体市场规模达到45.12亿美元，同比增长15.93%。2013-2018年全球集成电路用电子气体市场规模分析45.1Z数据统计：中金企信国际咨询电子气体纯度要求高，制备难度大，目前以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司控制着全球90%以上的电子气体市场份额。2018年全球电子气体主要生产企业规模比重分析美园普其克斯』1B.0W三本丸圧三螫算株式会出13.00%法国液化空气美园普其克斯』1B.0W三本丸圧三螫算株式会出13.00%法国液化空气24.00%其ftkr14.0056矣區空气化■学，26.00%数据统计：中金企信国际咨询（5）中国产业：2018年国内半导体用电子特气市场规模约4.89亿美元。经过30多年的发展，我国半导体用电子特气已经取得了不错的成绩，中船重工718所、绿菱电子、广东华特等均在12英寸晶圆用产品上取得了突破，并且实现了稳定的批量供应。广东华特气体是国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷等产品进口制约的气体公司，并率先实现了近20个产品的进口替代。Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4种混合气于2017年通过全球最大的光刻机供应商ASML公司的产品认证。目前，公司是我国唯一通过ASML公司认证的气体公司，亦是全球仅有的上述4个产品全部通过其认证的四家气体公司之一。公司产品实现了对中芯国际、华虹宏力、长江存储、台积电等国际一流代工厂的供货，并进入了英特尔（Intel）、美光科技（Micron）、德州仪器（TI）、海力士（Hynix）等全球领先的半导体企业供应链体系。中金企信(北京)国际信息咨询有限公司致力于“为企业战略决策提供专业&权威行业报告、调查报告、项目可行性报告、专项调查、商业计划书、研究报等报告课题”的专业咨询顾问机构，同是国家统计局涉外调查许可单位&AAA企业信用认证、ISO9OO1质量体系认证单位。经过多年的发展和开拓，中金企信国际咨询已成为中国国内领先的多元化信息服务提供商之一，与政府部门、行业协会(第三方媒介、高校、科研院所)、各领域专家顾问和业内资深人士建立了实效共通的战略关系，积累了大量行业研究和市场调研工作的专业经验，形成了中金企信国际咨询独特的专业研究模型和科学分析方法。公司旗下的运营平台——中金企信市场咨询网()&中国国统调查报告网()&国统研究报告网()。2020-2026年中国电子气体市场供需发展前景及投资战略预测报告2020-2026年中国电子气体市场供需发展前景及投资战略预测报告报告目录(部分)：第一部分市场发展现状第一章我国电子气体行业发展现状第一节中国电子气体行业发展概述一、中国电子气体行业发展历程二、中国电子气体行业发展面临问题三、中国电子气体行业技术发展现状及趋势第二节我国电子气体行业发展状况、2014-2019年中国电子气体行业发展回顾、2014-2019年电子气体行业发展情况分析三、2014-2019年我国电子气体市场特点分析四、2014-2019年我国电子气体市场发展分析第三节中国电子气体行业供需分析一、2014-2019年中国电子气体市场供给总量分析二、2014-2019年中国电子气体市场供给结构分析三、2014-2019年中国电子气体市场需求总量分析四、2014-2019年中国电子气体市场需求结构分析五、2014-2019年中国电子气体市场供需平衡分析第二章全球电子气体行业发展分析第一节国际电子气体行业发展轨迹综述一、国际电子气体行业发展历程二、国际电子气体行业发展面临的问题三、国际电子气体行业技术发展现状及趋势第二节世界电子气体行业市场情况一、2014-2019年世界电子气体产业发展现状二、2014-2019年国际电子气体产业发展态势三、2014-2019年国际电子气体行业研发动态四、2014-2019年全球电子气体行业挑战与机会第三节部分国家地区电子气体行业发展状况、2014-2019年美国电子气体行业发展分析、2014-2019年欧洲电子气体行业发展分析三、2014-2019年日本电子气体行业发展分析四、2014-2019年韩国电子气体行业发展分析第三章中国电子气体行业经济运行分析第一节2014-2019年电子气体行业运行情况分析第二节2014-2019年电子气体行业产量分析一、2014-2019年我国电子气体产品产量分析二、2020-2026年我国电子气体产品产量预测第三节2014-2019年电子气体行业进出口分析一、2014-2019年电子气体行业进口总量及价格二、2014-2019年电子气体行业出口总量及价格三、2014-2019年电子气体行业进出口数据统计四、2020-2026年电子气体进出口态势展望第四章中国电子气体行业区域市场分析第一节华北地区一、2014-2019年行业发展现状分析二、2014-2019年市场规模情况分析三、2020-2026年市场需求情况分析四、2020-2026年行业发展前景预测五、2020-2026年行业投资风险预测第二节东北地区第三节华东地区第四节华南地区第五节华中地区、，一第六节西南地区第七节西北地区AA-—r-第五章电子气体行业投资与发展前景分析第一节2020-2026年电子气体行业投资情况分析一、2020-2026年总体投资结构、2020-2026年投资规模情况三、2020-2026年投资增速情况四、2020-2026年分行业投资分析五、2020-2026年分地区投资分析第二节电子气体行业投资机会分析一、电子气体投资项目分析二、可以投资的电子气体模式三、2020-2026年电子气体投资机会四、2020-2026年电子气体投资新方向第三节电子气体行业发展前景分析第二部分市场竞争格局与形势第六章电子气体行业竞争格局分析第一节电子气体行业集中度分析一、电子气体市场集中度分析、电子气体企业集中度分析三、电子气体区域集中度分析第二节电子气体行业主要企业竞争力分析一、重点企业资产总计对比分析、重点企业从业人员对比分析三、重点企业全年营业收入对比分析四、重点企业利润总额对比分析五、重点企业综合竞争力对比分析第三节电子气体行业竞争格局分析一、2014-2019年电子气体行业竞争分析、2014-2019年中外电子气体产品竞争分析三、2014-2019年我国电子气体市场竞争分析五、2020-2026年国内主要电子气体企业动向第七章2020-2026年中国电子气体行业发展形势分析第一节电子气体行业发展概况一、电子气体行业发展特点分析二、电子气体行业投资现状分析三、电子气体行业总产值分析四、电子气体行业技术发展分析第二节2014-2019年电子气体行业市场情况分析一、电子气体行业市场发展分析二、电子气体市场存在的问题三、电子气体市场规模分析第三节2014-2019年电子气体产销状况分析一、电子气体产量分析二、电子气体产能分析三、电子气体市场需求状况分析第四节产品发展趋势预测一、产品发展新动态二、技术新动态三、产品发展趋势预测第三部分赢利水平与企业分析第八章中国电子气体行业整体运行指标分析第一节2014-2019年中国电子气体行业总体规模分析一、企业数量结构分析二、行业生产规模分析第二节2014-2019年中国电子气体行业产销分析一、行业产成品情况总体分析二、行业产品销售收入总体分析六、六、2020-2026年电子气体行业赢利预测第三节2014-2019年年中国电子气体行业财务指标总体分析、行业盈利能力分析二、行业偿债能力分析三、行业营运能力分析四、行业发展能力分析第九章电子气体行业赢利水平分析第一节成本分析一、2014-2019年电子气体原材料价格走势二、2014-2019年电子气体行业人工成本分析第二节产销运存分析一、2014-2019年电子气体行业产销情况二、2014-2019年电子气体行业库存情况三、2014-2019年电子气体行业资金周转情况第三节盈利水平分析一、2014-2019年电子气体行业价格走势二、2014-2019年电子气体行业营业收入情况三、2014-2019年电子气体行业毛利率情况四、2014-2019年电子气体行业赢利能力五、2014-2019年电子气体行业赢利水平第十章电子气体行业盈利能力分析第一节2014-2019年中国电子气体行业利润总额分析一、利润总额分析、不同规模企业利润总额比较分析三、不同所有制企业利润总额比较分析第二节2014-2019年中国电子气体行业销售利润率一、销售利润率分析二、不同规模企业销售利润率比较分析三、不同所有制企业销售利润率比较分析第三节2014-2019年中国电子气体行业总资产利润率分析一、总资产利润率分析二、不同规模企业总资产利润率比较分析三、不同所有制企业总资产利润率比较分析第四节2014-2019年中国电子气体行业产值利税率分析一、产值利税率分析二、不同规模企业产值利税率比较分析三、不同所有制企业产值利税率比较分析第十一章电子气体企业发展分析第一节企业1第二节企业2第三节企业3第四节企业4一、一、2014-2019年电子气体行业投资策略第五节企业5第十二章电子气体行业投资策略分析第一节行业发展特征一、行业的周期性、行业的区域性三、行业的上下游四、行业经营模式第二节行业投资形势分析一、行业发展格局、行业进入壁垒三、行业SWOT分析四、行业五力模型分析第三节电子气体行业投资效益分析一、2014-2019年电子气体行业投资状况分析、2014-2019年电子气体行业投资效益分析三、2020-2026年电子气体行业投资方向四、2020-2026年电子气体行业投资建议第四节电子气体行业投资策略研究、2020-2026年电子气体行业投资策略第十三章电子气体行业投资风险预警一、一、2020-2026年电子气体产品技术趋势分析第一节影响电子气体行业发展的主要因素一、2014-2019年影响电子气体行业运行的有利因素、2014-2019年影响电子气体行业运行的稳定因素三、2014-2019年影响电子气体行业运行的不利因素四、2014-2019年我国电子气体行业发展面临的挑战五、2014-2019年我国电子气体