半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFTLDE制程冷却水(PCW)系统施工规范

系统施工标准名目一般说明产品.材料说明施工说明笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕3一般说明说明3台泵浦扬程103m75kw流量5000LPMsus304本体,主管φ225Asus30440s保温。缓冲水槽sus304,连接RO或DI水。过滤器sus3045μm(标准滤材),pou7kg/c㎡。制程冷却水系统,供给机台16℃供给21℃回水稳定冷却水系统,冷却机台温度。本标准适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要求。工程范围制程冷却水系统:泵浦组,桶槽,板式热交换器(协作冰水系统),管路,PLC把握系统,本案工程范围包含运送安装、及测试调整以下之制程冷却水系统：制程冷却水泵浦。板式热交换器。及。缓冲水槽及附属管路。制程冷却水过滤器。全部把握组件及把握管线。全部水泵之动力配线。防止结露之必要保温。标准及法规各设备应符合以下任一项标准：1.3.1.1.ASTM1.3.1.2.lSO1.3.1.3.ANSL1.3.1.4.NEMA送审资料送审设备型录、尺寸图、材质和电气规格表。送审系统负荷运转分析(SYSTEMPROFILEANALYSlS)如下：多台泵浦并联运转性能曲线图(PARALLELPUMPlNGCURVES)系统运转特性图(SYSTEMCURVE)系统并联连接点(PUMPSTAGlNGPOINTS)笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕4(NPSHR)。1.4.4.P.C.W系统图及系统设备表，并附上P&ID.系统把握说明。２.产品.材料说明制程冷却水泵系统水泵浦型式为单段端吸式。泵浦外壳为不锈钢制(SS304)，泵浦叶轮为半开放，经水力及机械平衡之不锈钢(PRESSURERELlEFBAlANCEHOLES)。轴承框架(OILMlSTLUBEICATlON)，以确保运转时的平滑与安静。准确的校准。联结头需附保护盖。马达与泵浦共置且由于重构造钢材焊接并置于水平校准之基座上。外壳的悬空而造成应变(STRAlN)。NEMA之标准。设计速度之泵浦马达制动马力，不得超出马达之马力。马达全密闭风扇冷却(TEFC)F级绝缘，且至少有全系数。变频系统(VARIABLESPEEDPUMPlNGSYSTEM)变频系统包括把握器(CONTROLLER)，变频器(ADJUSTABLEFREQUENCYDRlVE)，压差传送器(DIFFERENTlALPRESSURESENSOR/TRANSMlTTER)流量传送器(FLow厂执行全功能测试合格后并检附相关之证明文件方可出厂。手动切换至旁路起动。当马达超过3OHP(含)以上，则旁路启动需以Y- 启动。变频器变频器之箱体应符合NEMA1之有关规定且3～3OHP(含)采墙挂式安装，3OHP以上落地式按箱体装需设计并需附排风扇。应为Wl或PWMIEEE和FCC规定。符合NEMA及IEEE或其它同等之规定。笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕5四周环温允许值为，10至40℃而相对湿度为95%不冷凝的状况。90%以上。2.1.8.3.62.1.8.3.6.1.Currentlimitto110%ofdriverating2.1.8.3.6.2.Phasetophaseshortcircuit2.1.8.3.6.3.Phasetogroundshortcircuit2.1.8.3.6.4.Phaserotationinsensitive2.1.8.3.6.5.Currentlimitprotection2.1.8.3.6.6.Overvoltageprotection2.1.8.3.6.7.Undervoltageprotection2.1.8.3.6.8.Overtemperatureprotection2.1.8.3.6.9.Groundfaultprotection2.1.8.3.6.10.inputdisconnectswitchVariableoverloadtoprotectmotorfromexcesscu『rentatlowspeedlndividualselectableresettablefaultcontrol2.1.8.3.6.13.Highsta『tingtorque125%torqueforstartingfollowerselectionMetertodisplay%speed，%outputcurrentStatusindication：Overvoltage，PhaseLoss，Under-voltage，OverTempe『ture，Overcurrent，PowerOn，OverloadExternalFault，GroundFauit，AtSpeed，Run，enab!edHand/off/AutoSwitch2.1.8.3.6.17.ManualspeedControl2.1.8.3.6.18.Local/RemoteSwitchFLIdiot1Selector2.1.8.4.系统把握器：把握器应参考以下之功能，并以各厂家可供给之标准配备供给：2.1.8.4.1.1.RealTimeClockwithSetbackDisplayScreenAndOnScreeHelpFunction笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕6SnapActionPushbuttonsExclusiveMicroprocessorwithEPROMDesign2.1.8.4.1.5.infinitelyAdjustablePlDdFunctions2.1.8.4.1.6.FieldmodinableSetPoints(individuallyResetable)2.1.8.4.1.7.PumpElapsedTime(lndividual)2.1.8.4.1.8.OperatorlnterfaceDiagnostics2.1.8.4.1.9.Multi-FaultMemoryAndRecall2.1.8.4.1.10.ManuaiAndAutomaticAlternation2.1.8.4.1.11.AutomaticStartOfLagPumpsUponLeadPumpsFailure(lnVariableOrConstantSpeedMode)2.1.8.4.1.12.ManualSystemControl2.1.8.4.1.13.MembraneSwitcheswithGreen，RedAndAmberLedindications2.1.8.4.1.14.Fused24VoltPowerSupply软件程序应包括以下之功能，并以各厂家可供给之标准配备供给：性能曲线末端点保护程序〔ENDOFCURVEPROTECTlONPROGRAM〕最正确效率程序〔EFFlClENCYOPTlMlEATlONPROGRAM〕自动交互切换功能〔AUTOMATICALTERNATIONFUNCTlON〕系统效率程序(SYSTEMEFFlClENCYPROGRAM)可与厂务把握系统联机，由厂务把握系统RemoteControl承受工业PLC把握器。压差传讯器参考以下之功能，并以各厂家可供给之标准配备供给：压差传讯器要能准确的量测系统压差(0-70PSI)，并将量测之压差以模拟讯号2023英呎”于额定范围内准确度为告o±5%以内。2.2.板式热交换器流量及压力时不能产生变形或振动。消耗性需组件需能在不使用特别工具下轻易替换。接排水阀。笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕7全部垫片均需使用无石绵制品。承商需供给热交换器于操作中不冷分散露之PE保温材料建议厚度。热交换器全部与冰水接触之金属材质均需使用SUS304。70%以上。制程冷却水过滤器：8kg/cm2。2.3.3.过滤心：材质Polypropylene/Polyethylene或其它同等品，构造：二层构造，型式：单闭口，O型环，长度：BYVENDER，周密度：1μm。2.3.4.过滤器进出口附差压表。缓冲水槽SUS304，并需有一液位传讯器及协作补给水及氮气之把握、减压等阀组。SUS配管、SUS管线，管路高点装设自动排气阀2.5.把握系统：采工业P.L.C.把握器，以工业乙太网TCP/IPLUS，MODBUS或必要之讯号以供中心把握系统作为监视用。笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕8施工说明材料直管及管件管材应采[SUS304]焊接用不锈钢，其管壁厚应符合10S以上之规定。接头5kgf/cm2规格制造。弯头，Ｔ型，渐缩管及管端接头〔StubEnd〕等管配件为氩焊制成，其管壁厚应符合10SD＞50mm时，其连D≦50mm时，承受[青铜]制。3.1.4突缘及螺栓均须为不锈钢。预备工作管端须整孔并去除毛头。组合前先去除管内外之锈皮及杂物。预备管线与设备连接用之凸缘及管套节。施工期间之防护措施护，以预防脏物或其它污物进入管路。管线之组合制造一般要求管线之组合制造，应考虑以尽量削减现场焊接为原则。焊于管上之吊环，应使用与管子一样之材料。伤管子。端应用厚金属板，予以点焊封盖，在未作最终焊接时，不得撤除。不锈钢管之接合螺纹接合〔50mm及以下〕将管端切割平坦，修去毛边，并去除锉屑及灰尘，使用适当之螺纹纹割工具，绞割成PTFE胶带][涂氧化铅与甘油之混合剂，加绕油麻丝][涂含石墨之润滑油][其它经认可之螺纹接合剂][其它经核可工法]，旋入母螺纹予以绞紧，以防漏水。螺纹之深度，长度应合于笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕9标准规定，管子接合后露出管外之螺绞数，不得超过三条。对焊接合〔65mm以上〕〔TIG〕焊接，并依据焊接标准施工。除应慎选焊工及焊[3mm]及以上者，应开V型焊口。对接焊深度约为板厚之1/2。V型开口焊接深度与板厚同。焊缝应连续，不得中断，首尾连接应[10mm]。焊接凸缘时，管插入凸缘其管端应与底部保持与管壁同厚之距离，凸缘面与管接触部位应作开口，两面焊接，凸缘一面焊于管端，另一面焊于管外壁。突缘接头接合管线之安装一般规定充分作适当之调整[，并依据「工程治理需求」规定提送施工详图，经工程司核准后施工]。或补偿。气囊。预未露明处所，须预留检修门〔孔〕，其