机械二次配施工技术规范

机械二次配施工技术规范一、机械二次配 工程（一标段）包含系统12bulkgas（GO2,PN2,PAr,Phe,PO2,PH2,）3、ExhaustEX-ALK（碱排），EX-ACID（酸排），EX-SOX（有机），EX-CVD（粉尘），EX-STR,EX-OA（新风），GEX-Dry、GEX-HighTemp、GEX-Wet,4、Water:PCW、CTW、UPW/DIW、ROW（软化水）5、PV6、Drain7、阀门、仪表、调压阀、流量计8、高架地板开孔及保护、墙面开孔及防火封堵密封、楼板开孔及封堵保护、天花盲板开孔及PVC板密封保护天花盲板开孔及PVC地砖密封保护。9、提供阀表区域上方视窗高架地板。10、以上系统所需的辅料包含以上系统二次配的设计、材料采购、空间管理、组织安装、测试、调试、标识、turnon及完工后的运行。机械二次配基本要求、二次配管路用高架地板开孔，开孔安装管路后须用 地砖平面密封和 厚SUS304立方体保护。用于保护穿越高架地板孔洞或楼板的管路及孔，以现场实际孔大小及管路高低进行保护。2、二次配管路穿越土建墙、库板墙由开孔、并进行防火密封。密封表面须用钢板加固，穿孔管路需加装套管。3、二次配用楼板孔洞开孔、防水密封、且需加套管。4、二次配管路穿越天花盲板的开孔由二次配厂商负责，开孔后需用成品保护罩保护。5阀表盘正对的高架地板须更换为透明视窗板，并将更换后的高架地板存放在指定位置或安装在指定位置。6阀表盘两端均须用成品型钢固定。7管路接头处须用不掉色记号笔画标定线画标定线用无尘纸标定位置，在管路接头有位移时能有效的发现。8本包所施工所有系统均须进行名称标识，标识规格须送审招标方。经招标方同意后，才可施工。标识间距不大于。9、二次配所有支架均需采用成品支架，支架间距需按照招标方要求（固定牢靠、不能占用人员通道、不得占用设备检修空间）。10、排气系统每个点都需按照招标方要求安装预留测试孔。i对于硬质管材易损件或不易拆卸的管件、阀表（如 流量计、丝扣阀表等），大于等于寸需增设活接头或软接头，以方便维修，增设接头材质需优于原管道材质。材料包装要求所有管路、管件、阀门、仪表均需采用洁净袋密封包装，管材、管件的密封堵头需在进行连接时才能拆除。深化设计及施工图要求1、每种介质在二次配施工前五天需完成二次配的深化设计，至少包含管径、流量计算、空间走向及配置图提供、图面需套底图标定位置深化图及计算书经招标方确认合格后才允许施工。二次配每个米包含的内容每米应包含二次配阀盘、阀盘底座、管道、接头（swagelok、Union、VCR、Quickconnector、Flange等型号，具体视机台接头形式而定）、弯头、支架、大小头、垫片、三通、小尺寸管路的软管等。阀盘包括：阀盘盘面、底座、球阀、压力表、调压阀、流量计等，此外还包含满足招标技术规格书要求所必须的辅助材料，如必要的管道支架、标签、挂牌等。主系统Takeoff点使用时须结合流量平衡考虑，并征得业主负责人审核同意，依据实际状况开Tee并预留阀门。阀门仪表配置要求1、 /一个球阀、一个调压阀视设备需求压力确定是否安装、一个压力表，（压力表在系统管路中开TEE安装）；2、bulkgas：一个隔膜阀、一个调压阀、一个压力表，（压力表在系统管路中开TEE安装）；3、Exhaust：一个阀、一个负压表（带支架安装）、一个预留测试孔；（CVD排气每个点做双回路，用阀门进行切换）4、PCW：两个球阀、一个压力表、一个流量计；CTW：一个压力表、一个球阀；UPW/DIW、ROW（软化水）两个球阀、一个压力表；5、PV：一个球阀、一个压力表；6、Stripper排液需接至有机系、水系双系统并在高架地板下方设置切换阀；7、高架地板下阀盘需带底座。材料挥发物要求投标时需提供管材粘固剂的材料化学挥发物气体性能检测报告（检测单位为 ）s且符合如下材料化学挥发物气体的要求（检测结果为于真空状态下放置周后测试所得数据）：材料粘固剂，清洗剂《《《清洗剂和粘固剂需由同一制造商提供，粘固剂和胶粘性要符合管道与管件制造商的要求，以确保两者兼容，并同时符合 ：和 .用液态粘固剂粘接管道时要有足够的通风设施；使用粘固剂之前，须确保粘结段已使用清洁剂清洁干净，无油渍无杂物；管路胶黏前，须在管路上标示承插深度，确保管路承插到位；使用316LBA管道尺寸符合JISG3459、ASTMA269/270及ASTMA312标准150A及以下管道使用Sch5s规格，150A以上管道使用Sch10S规格所有材料必须全程原品牌工厂生产所有管道制造时必须在线退火，消除应力所有材料必须采用超纯水清洗，1000级或更高洁净室双层洁净包装不锈钢管道焊接（氩弧焊）用氩气纯度在5N以上（99.999%）304LAP管含油量小于0.1mg/ft2焊接方法：自动焊接对整个系统管道做抗压测试：1MPa（或者1.25倍使用气体压力,以两者间大的优先）充气30分钟无压力变化对全系统管路进行颗粒测试：颗粒三10个/CFT（0.1u）管路要求：二次配包含 2, 22 气体系统。2二次配系统管道施工参考规范《工业金属管道设计规范》 50、16工艺系统工程设计技术规定》/2050、7流体输送用不锈钢无缝钢管》 / 149。6系统二次配管道及管件材质采用 16级，管道采用无缝钢管，阀门采用 16级隔膜阀或波纹管截止阀，面密封接头（ 形式，所有材料必须采用超纯水清洗，1000级或更高洁净室双层洁净包装，以保证内部洁净。管道外径壁厚要求6mm(1/4”) 10mm(/8”)0.89mm(0.05)15mm(1/2”)1.24mm(0.049”)20mm(/4")25mm(1”)l.65mm(0.065”)系统二次配管道连接方式为全自动轨道焊接或面密封接头（ 形式，焊接（氩弧焊）用氩气纯度在5以上（99.999），施工整个过程需对二次配管道内部进行不间断冲氩气保护吹洗。系统二次配管道施工需采用专业工机具，焊接需采用专用自动焊机、切割采用专用割刀及锯。系统必须在具有洁净环境的条件下进行施工，施工过程中需搭设临时洁净棚。6、管道应采用架空敷设。管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管间,应采用不燃材料填塞。管道设计应减少死区，避免型弯。7 系统管路装配完成后，须做管路之外观检验，其检验项目为：.所有管路是否依 图设计排列施工，并予标示气体种类。.所有使用之材料是否符合规定之材料（阀件、管材等）。.管路是否角度不正、倾斜、歪曲。.管路是否有污物残留。.管路是否有凹陷、龟裂等不良缺陷，焊道是否已清洁且无破洞、砂孔. （垫片）是否正确放置（无重复使用 ）.确定支撑管线的支架安置无误。.确定配管的工作不会妨碍本身维护保养及美观程度。管路要求皿1、 、、 管道采用不锈钢管道 画作压力为6.5~a,测试压力为10~a。管道附件均采用不锈钢材质。C 管道连接方式为对焊连接。3 、 管道中，管径W 使用球阀， 50W 1使用手柄式蝶阀；蝶阀阀体为不锈钢阀体，不锈钢阀叶，内衬 D球阀采用不锈钢阀体及阀叶，内衬4、 管道采用不锈钢管道 无缝钢管。5、不锈钢钢管管径对照表公称直径（mm径X壁厚222.52 2.54 .042 .048 .060 .5

公称直径外径X壁厚系统（管道、管件及阀门推荐日本积水（ ）、旭有机或同等及以上品牌。管道、管件及阀门推荐日本积水（ ）、旭有机或同等及以上品牌。、管道尺寸符合JISK6741标准。、管道阀门宜采用同材质隔膜阀。、所有材料必须采用超纯水清洗，1000级或更高洁净室双层洁净包装，以保证内部洁净，务必在使用时才能拆除包装。、 管道、管件及阀门施工必须在具有洁净环境的条件下进行施工，如果必要，施工过程中需搭设临时洁净棚。TOC\o"1-5"\h\z6垫片采用柔性聚四氟垫片（ ）。管道及管件采用承插式胶水粘接，插入保持时间,可移动时间、养护时间作业温度575七15-35t管件尺寸13-7500),00-200350-30013-7500J1DQ--2D0250-300玷接后保持时间2分(min)3分(min)4^{min)Wtfnln)1分(min)可移动时间SO分frn附isoijw3。价:Ein)45分mini试压前静放时间24小时M⑶48小时（帆j46小时(h⑸出卜时（h闻24小时［hrs.i24小时巾⑶TOC\o"1-5"\h\z胶水宜采用同管道品牌之配套系列产品。系统（ ）管路材质 同时需满足国际规范要求。、管材 管材使用 （ ， 级）；管（ ）和钢管（ ）支吊架间距符合相关标准要求;公称管径（）支架的最大间距（公称管径（）支架的最大间距（壁厚要求:管道要求:管道要求；管道要求：

工艺排气管道规格要求（管道涂层要求）、工艺排气管道规格:系统风管材料压力等级密封垫材料螺丝螺母管托及管束软接材质酸性气体排风不锈钢内衬特氟龙热浸镀锌玻璃纤维特龙布内衬钢圈碱性气体排风不锈钢内衬特氟龙热浸镀锌剥离气体排风不锈钢成型垫片热浸镀锌气体排风不锈钢，顶部焊缝，管内光面热浸镀锌溶剂排风不锈钢，顶部焊缝热浸镀锌湿气普通排风不锈钢，顶部焊缝热浸镀锌室内：热干普通排风螺旋镀锌钢板，热排需外保温热浸镀锌热浸镀锌玻璃纤维硅橡胶内衬钢圈不锈钢、特氟龙风管板材厚度标准:系统材质规格板厚特氟龙膜厚酸、碱、有机、剥离液、 V湿排气系统3、<膜厚：WW风管须有认证；镀锌螺旋风管板材厚度标准：系统材质规格板厚锌层膜重一般干排、高温排气系统镀锌钢板，螺旋节距WW三<W不锈钢及镀锌法兰的标准：材质风管尺寸法兰规格板厚备注不锈钢、镀锌法兰《宽度：平法兰<WX等边法兰法兰孔间距需在 以内；风管管束抱箍规格:风管尺寸扁钢规格折边尺寸备注WW风管管束抱箍须提供冷凝排水支吊架牙杆接入点（冷凝排水管尺寸 ，吊点间距：）；风管管束抱箍须内附橡胶皮；密封垫片的规格标准：材质（系统垫片选用 成型垫片）风管尺寸密封垫规格&&WW风管材质质量要求：1不锈钢内衬特氟龙风管出货检验、到货检验要求：针孔测试、膜厚测试；2风管到货检验要求：锌层厚度测试、板材厚度测试；3不锈钢风管到货须采用光谱仪抽检测试并接受我司第三方 检测厂商的材质复核；4涉及以上检测之相关测试仪器由材料供应商提供，材料供应商须安排质检员进行到货现场测试，所有的测试必须在业主代表、管理公司代表在场的情况下进行，测试结果应得到业主和管理公司的签字认可，但不排除业主委托第三方进行材质测试；5风管施工须符合《通风与空调工程施工质量验收规范 》要求；测试要求a、压力测试使用气体：PN2或particle小于0.1um的惰性气体做压力测试。测试项目规定气体测试压力测试时间压力测试N28kg/cm2或业主要求的压力12小时（或依业主规定）b、氦测漏检验测试设备：氦检仪测试值要求在 以上3、测试过程中需检查管路、接头、盘面上之每个焊接点、VCR接头、接头。4、测试时间以招标方要求为准。C、微粒子测试使用气体必须经过0.01um过滤器过滤之惰性气体（氮气等）气体来源纯净值必须小于0.1um测试值要求5/cftat>0.01um..测试标准：小于等于0.1um小于5颗测试时间：需维持30分钟以上d、水分氧分测试测试值小于等于10ppb或依业主要求e、水压测试检