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1、扫描探针显微镜探针的制造李振 15723745The fabrication of SPM probe扫描探针显微镜探针的制造李振 15723745The fabSPM探针探针是SPM中最关键的部件。不同的探针能够测量样本不同的特性。探针还决定了显微镜的分辨率最常见的探针结构是悬臂结构SPM探针探针是SPM中最关键的部件。不同的探针能够测量样本悬臂结构悬臂结构SPM探针SPM探针探针的分类通过使用不同的材料，探针可以测量样本的不同特性磁性探针MFM 光学探针NSOM静电力探针EFM 热力学探针STHM电容探针SCM 电子探针STM探针的分类通过使用不同的材料，探针可以测量样本的不同特性悬臂结构

2、结构：探针针尖和悬臂梁材料：硅、氮化硅方法：光刻加工主要形式：V型悬臂（垂直方向弹性好，侧向刚度高）V型悬臂悬臂结构结构：探针针尖和悬臂梁V型悬臂悬臂结构悬臂结构探针制造的考虑因素探针针尖 悬臂梁尖端锐度探针深长宽比导电性耐磨损性弹性系数谐振频率固有弯曲表面粗糙度探针制造的考虑因素探针针尖 悬臂梁尖端锐度弹性系数传统制作方法扫描隧道显微镜探针针尖的制作将钨丝擦拭干净，固定并插入液面中心。通直流电溶液的表面张力使钨丝周围围成弯液面。液面出的钨丝反应速率最快，从而形成了尖。传统制作方法扫描隧道显微镜探针针尖的制作将钨丝擦拭干净，固定硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造

3、工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺硅探针制造工艺底切针尖特点应用高长宽比锐度高悬臂厚度可调硅晶片整体设计拆卸简单 普遍适用于各种SPM（接触式，非接触式，特殊SPM）底切针尖特点高长宽比 普遍适用于各种SPM（接触式角尖针尖Conner tips带有侧壁的拐角结构的刻蚀侧壁保护作用各向异性硅腐蚀

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