建筑设计-洁净厂房设计规范

1、建筑设计计洁净厂厂房设计计规范GGBJ773884第一章 总总则主编部部门：中中华人民民共和国国电子工工业部批准准部门：中华人人民共和和国国家家计划委委员会施行行日期：19885年6月1日关关于发布布洁净净厂房设设计规范范的通通知计标1988424883号根根据原国国家建委委（78）建发发设字第第562号文的的要求，由由电子工工业部会会同有关关部门共共同编制制的洁洁净厂房房设计规规范，已已经有关关部门会会审。现现批准洁洁净厂房房设计规规范GBJJ7384为国家家标准，自自一九八八五年六六月一日日起施行行。本规范范由电子子工业部部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。国家计划委

2、员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意

3、见。最后，由我部会同有关部门审查定稿。本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。电子工业部一九八四年八月二十七日第一章 总则第1.0.1条 洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。第1.0.2条 本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净

4、室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。第1.0.3条 在利用原有建筑进行洁净技术改造时,洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待,充分利用已有的技术设施。第1.0.4条 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。第1.0.5条 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。第二章 空气洁净度等级第2.0.1条 空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。空气洁净度等级表2.0.1 等级每立方米（每每升）空空气中0.5微米尘尘粒数每立方米（每每升）空空气中5微

5、米尘尘粒数100级351100（3.5）1000级级35110000（35）250（0.225）100000级351100000（350）25000（2.5）1000000级3511000000（35000）250000（25）注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。第2.0.2条 洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。第三章 总体设计第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置第3.1.1条 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定

6、：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。第3.1.2条 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。第3.1.3条 洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条 洁净厂房与交通干道

7、之间的距离不宜小于50米。第3.1.5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第3.1.6条 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。第3.1.7条 洁净厂房周围应进行绿化.可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。第二节 工工艺布置置和设计计综合协协调第3.22.1条 工艺布布置应符符合下列列要求：一一、工艺艺布置合合理、紧紧凑。洁洁净室或或洁净区区内只布布置必要要的工艺艺设备以以及有空空气洁净净度等级级要求的的工序和和工作室室；二、在在满足生生产工艺艺要求的的前提下下，空气

8、气洁净度度高的洁洁净室或或洁净区区宜靠近近空气调调节机房房，空气气洁净度度等级相相同的工工序和工工作室宜宜集中布布置，靠靠近洁净净区入口口处宜布布置空气气洁净度度等级较较低的工工作室；三三、洁净净室内要要求空气气洁净度度高的工工序应布布置在上上风侧，易易产生污污染的工工艺设备备应布置置在靠近近回风口口位置；四四、应考考虑大型型设备安安装和维维修的运运输路线线，并预预留设备备安装口口和检修修口；五、应应设置单单独的物物料入口口，物料料传递路路线应最最短，物物料进入入洁净区区之前必必须进行行清洁处处理。第3.22.2条 洁净厂厂房内宜宜少设隔隔间，但但在下列列情况下下可予以以分隔：一一、按生生产的

9、火火灾危险险性分类类，甲、乙乙类与非非甲、乙乙类相邻邻的生产产区段之之间，或或有防火火分隔要要求者；二二、生产产过程中中产生较较强噪声声或散发发较多热热量、尘尘粒和有有害气体体，且不不能采取取局部措措施加以以控制者者；三、生生产联系系少，并并经常不不同时使使用的两两个生产产区段之之间。第3.22.3条 洁净厂厂房的平平面和空空间设计计，宜将将洁净区区、人员员净化、物物料净化化和其他他辅助用用房进行行分区布布置。同同时应考考虑生产产操作、工工艺设备备安装和和维修、气气流组织织型式、管管线布置置以及净净化空气气调节系系统等各各种技术术设施的的综合协协调效果果。第3.22.4条 洁净厂厂房设计计必须

10、合合理确定定各种管管线的平平面位置置和竖向向标高。第3.2.5条 洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。第三节 噪噪声控制制第3.33.1条 洁净室室内的噪噪声级，应应符合下下列要求求：一、动动态测试试时，洁洁净室内内的噪声声级不应应超过70分贝A。二二、空态态测试时时，乱流流洁净室室的噪声声级不宜宜大于60分贝A；层层流洁净净室的噪噪声级不不应大于于65分贝A。注注：由于技技术经济济条件限限制，或或噪声大大于70分贝A对生产产无影响响时，噪噪声级可可适当放放宽，但但不宜大大于75分贝A；上述噪噪声级是是指在室室内每一一个工

11、作作点人耳耳位置（人人离开）的的测量值值。对于于变动噪噪声，则则取相同同位置处处在一个个正常工工作日内内的等效效连续声声压级。第3.3.2条 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。噪声频谱限制值表3.3.2 631252505001000200040008000空态乱流7970635855525040层流8374686360575554动态8778726865626059第3.3.33条 洁净厂厂房的平平、剖面面布置，应应考虑噪噪声控制制的要求求，其围围护结构构应有良良好的隔隔声性能能，并宜宜使各部部分隔声声量相接接近。第3.33.4条 洁净室室内

12、的各各种设备备均应选选用低噪噪声产品品。对于于辐射噪噪声超过过洁净室室允许值值的设备备，应设设置专用用隔声设设施（如如隔声间间、隔声声罩等）。第3.3.5条 净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。第3.3.6条 净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为610米/秒；二、无送、回风口的支风管为68米1秒；三、有送、回风口的支风管为36米/秒。第3.3.7条 洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。第四节 微微振控制制第3.4

13、4.1条 洁净厂厂房和周周围辅助助性站房房内有强强烈振动动的设备备（包括括水泵等等）及其其通往洁洁净室的的管道，应应采取积积极隔振振措施。第3.4.2条 对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。第3.4.3条 精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。第四章 建筑第一节节 一般规规定第4.11.1条 洁净厂厂房的建建筑平面面和

14、空间间布局，应应具有适适当的灵灵活性。洁洁净区的的主体结结构不宜宜采用内内墙承重重。第4.11.2条 洁净室室的高度度应以净净高控制制，净高高应以100毫米为为基本模模数。第4.11.3条 洁净厂厂房主体体结构的的耐久性性与室内内装备和和装修水水平相协协调，并并应具有有防火、控控制温度度变形和和不均匀匀沉陷性性能（地地震区应应符合抗抗震设计计规定）。厂厂房变形形缝应避避免穿过过洁净区区。第4.11.4条 送、回回风管和和其他管管线需暗暗敷时，应应设置技技术夹层层、技术术夹道或或地沟等等；穿越越楼层的的竖向管管线需暗暗敷时，宜宜设置技技术竖井井。第4.11.5条 对兼有有一般生生产和洁洁净生产产

15、的综合合性厂房房，其方方案设计计和构造造的处理理，应避避免在人人流与物物流运输输以及防防火方面面对洁净净生产带带来不利利影响。第二节 人员净净化和物物料净化化设施第4.22.1条 洁净厂厂房内应应设置人人员净化化、物料料净化用用室和设设施，并并应根据据需要设设置生活活用室和和其他用用室。第4.22.2条 人员净净化用室室，宜包包括雨具具存放间间、管理理室、换换鞋室、存存外衣室室、盥洗洗室、洁洁净工作作服室和和空气吹吹淋室等等。厕所、淋淋浴室、休休息室等等生活用用室以及及工作服服清洗间间和干燥燥间等其其他用室室，可根根据需要要设置。第4.2.3条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：一

16、、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净工作服室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改设气闸室。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。第4.2.4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，一般按图4.2.4的人员净化程序进行布置。第4.2.5条 根据不同的空气洁净度等级和工作

17、人员数量，洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每人46平方米计算。第4.2.6条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。第4.2.7条 洁净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。第三节 防火和和疏散第4.33.1条 洁净厂厂房的耐耐火等级级不应低低于二级级。吊顶顶材料应应为非燃燃烧体，其其耐火极极限不宜宜小于0.225小时。第4.33.2条 洁净厂厂房内一一般的生生产工作作间的火火灾危险险性，可可按附录录三进行行分类。第4.3.3条 甲、乙类生产的

18、洁净厂房，宜采用单层厂房，其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。第4.3.4条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室，其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。第4.3.5条 在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙应采用非燃烧材料紧密填塞。第4.3.6条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板

19、处，应采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线周围空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。第4.3.7条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不超过50平方米，且同一时间内的生产人员总数不超过5人；二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的建筑设计防火规范的规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不得经过曲折的人员净化路线。第4.3.8条 洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自

20、动门。第4.3.9条 当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区的门窗，其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有明显标志。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬梯。注：专用消防口是消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及宽度小于750毫米，高度小于1800毫米或装有铁栅栏的窗,均不得作为火灾发生时能供消防人员进入的洞口。第四节 室内装装修第4.44.1条 洁净厂房房的建筑筑围护结结构和室室内装修修，应选选用气密密性良好好

21、，且在在温度和和湿度等等变化作作用下变变形小的的材料。墙墙面内装装修当需需附加构构造骨架架和保温温层时，应应采用非非燃烧体体或难燃燃烧体。第4.4.2条 洁净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用干操作，如为抹灰时，应采用高级抹灰标准。第4.4.3条 洁净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等要求。第4.4.4条 洁净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应采用防水或防潮、防霉措施。建筑风道和回

22、风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并应易于除尘。第4.4.5条 洁净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。第4.4.6条 洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。第4.4.7条 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，均应采取可靠的密封措施。第4.4.8条 洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数，顶棚和墙面宜为0.60.8；地面宜为0.150.35。第五节 装配式式洁净室室第4.55.1条 在新建建或改建建的洁净净厂房设设计中，对对于面积积不大、层层高较低低、要求求空气洁洁净度较较

23、高的生生产环境境可采用用装配式式洁净室室。第4.55.2条 装配式式洁净室室所在的的房间应应有空气气净化要要求，并并应与装装配式洁洁净室的的空气洁洁净度等等级相适适应。外外围建筑筑的耐火火等级不不得低于于二级。第4.5.3条 装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身的壁板或支柱支承，也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。第4.5.4条 装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配式洁净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、包装和运输。第4.5.5条 装配式洁净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之

24、间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清扫距离。当装配式洁净室壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面之间净宽不宜小于600毫米。第五章 空空气净化化第第一节 一般规规定第5.11.1条 洁净厂厂房内各各洁净室室的空气气洁净度度等级的的确定，应应符合下下列要求求：一、洁洁净室内内有多种种工序时时，应根根据各工工序的不不同要求求，采用用不同的的空气洁洁净度等等级。二、在在满足生生产工艺艺要求的的前提下下，洁净净室的气气流组织织，宜采采用局部部工作区区空气净净化和全全室空气气净化相相结合的的形式。第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设

25、置。第5.1.3条 洁净室内的计算温、湿度，应符合下列规定：一、满足生产工艺要求；二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为2026，湿度小于70%；三、人员净化用室和生活用室温度为1628。第5.1.4条 洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中的最大值：一、乱流洁净室总送风量的1030%，层流洁净室总送风量的24%；二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。第5.1.5条 洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。第5.1.6条 在净化空气调节系统设计中

26、，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。第二节 洁洁净室正正压控制制第5.22.1条 洁净室室必须维维持一定定的正压压。不同同等级的的洁净室室以及洁洁净区与与非洁净净区之间间的静压压差,应不小小于0.5毫米水水柱，洁洁净区与与室外的的静压差差，不应应小于1.0毫米水水柱。第5.22.2条 洁净室室维持不不同的正正压值所所需的正正压风量量，宜按按下式计计算：Qa（qL）（5.22.2）式式中Q维持洁洁净室正正压值所所需的正正压风量量（/时）；a根据围围护结构构气密性性确定的的安全系系数，可可取1.11.2；q当洁净净室为某某一正压压值时，其其围护结结构单位位长度缝缝隙的渗渗漏风量量（/

27、时米）；L围护结结构的缝缝隙长度度（米）。围护结构单位长度缝隙的渗漏风量表5.2.3 非密闭门密闭门单层固定密密闭木窗窗单层固定密密闭钢窗窗单层开启式式密闭钢钢窗传递窗壁板0.51741.00.73.52.00.31.02461.51.04.53.00.61.53082.01.36.04.00.82.03692.51.57.05.01.02.540102.81.78.05.51.23.044113.01.98.56.01.43.548123.52.19.07.01.54.052133.82.310.07.51.74.555154.02.510.58.01.95.060164.42.611.59

28、.02.0第5.2.33条 围护结结构单位位长度缝缝隙的渗渗漏风量量，可按按表5.22.3采用。第5.22.4条 送风、回回风和排排风系统统的启闭闭应联锁锁。系统统开启时时，联锁锁程序应应为先启启动送风风机，再再启动回回风机和和排风机机；系统统关闭时时，则联联锁程序序应相反反。第5.22.5条 非连续续运行的的洁净室室，可根根据生产产工艺要要求设置置值班风风机，并并应对新新风进行行处理。第三节 气气流组织织和送风风量第5.33.1条 气流组组织的选选择，应应符合下下列要求求：一、洁洁净工作作区的气气流速度度，应满满足空气气洁净度度和人体体健康的的要求，并并应使洁洁净工作作区气流流流向单单一；二

29、、回回风口宜宜均匀布布置在洁洁净室下下部；三、余余压阀宜宜设在洁洁净室气气流的下下风侧，不不宜设在在洁净工工作区高高度范围围内。第5.33.2条 洁净室室的气流流组织和和送风量量，宜按按表5.33.2选用。第5.33.3条 乱流洁洁净室的的送风量量，应取取下列规规定的最最大值：一一、为控控制室内内空气洁洁净度所所需要的的送风量量；二、按按表5.33.2规定的的送风量量；三、根根据热、湿湿负荷计计算和稀稀释有害害气体所所需的送送风量；四四、按空空气平衡衡所需要要的送风风量。第5.33.4条 当生产产工艺仅仅要求在在洁净室室内局部部工作区区达到更更高的空空气洁净净度时，其其气流组组织设计计应使洁洁

30、净气流流首先流流经该工工作区，或或在洁净净室的不不同区域域形成不不同气流流流型和和空气洁洁净度等等级的洁洁净工作作区，其其型式可可分别按按图5.33.41、图5.33.42选用。气流流组织和和送风量量表表5.33.2 空气洁净度度等级100级1000级级气流组织型型式气流流型垂直层流水平层流乱流送风主要方方式1、顶棚满满布高效效空气过过滤器送送风（高高效空气气过滤器器占顶棚棚面积不不小于60%）2、侧布布高效空空气过滤滤器，顶顶棚设阻阻尼层送送风3、全孔孔板顶棚棚送风1、送风墙墙满布高高效空气气过滤器器水平送送风2、送风墙墙局部布布置高效效空气过过滤器水水平送风风（高效效空气过过滤器占占送风墙

31、墙面积不不小于40%）1、孔板顶顶棚送风风2、条形形布置高高效空气气过滤器器顶棚送送风3、间隔隔布置带带扩散板板高效空空气过滤滤器顶棚棚送风回风主要方方式1、格栅地地面回风风（1）满布布（2）均匀匀局部布布置2、相对对两侧墙墙下部均均匀布置置回风口口1、回风墙墙满布回回风口22、回风风墙局部部布置回回风口1、相对两两侧墙下下部均匀匀布置回回风口22、洁净净室面积积较大时时，可采采取地面面均匀布布置回风风口送风量气流流经室室内断面面风速（米/秒）不小于0.25不小于0.35换气次数（次/时）不小于500送风口风速速（米/秒）孔板孔口335孔板孔口335回风口风速速（米/秒）不大于2不大于1.51

32、、洁净室室内回风风口不大大于22、走廊廊内回风风口不大大于4注：垂直层层流洁净净室采用用相对两两侧墙下下部均匀匀布置回回风口方方式，仅仅适用于于两对侧侧墙间距距不大于于5米。乱流洁洁净室送送风量的的确定，宜宜考虑室室内含尘尘浓度不不均匀扩扩散的因因素。续续表5.33.2 空气洁净度度等级10，0000级100，0000级气流组织型型式气流流型乱流乱流送风主要方方式1、局部孔孔板顶棚棚送风22、带扩扩散板高高效空气气过滤器器顶棚送送风3、上侧侧墙送风风1、带扩散散板高效效空气过过滤器顶顶棚送风风2、上测测墙送风风回风主要方方式1、单侧墙墙下部布布置回风风口2、当采采用走廊廊回风时时，在走走廊内均

33、均匀布置置回风口口或在走走廊端部部集中设设备回风风口1、单侧墙墙下部布布置回风风口2、当采采用走廊廊回风时时，在走走廊内均均匀布置置回风口口或在走走廊端部部集中设设备回风风口送风量气流流经室室内的断断面风速速（米/秒）换气次数（次/时）不小于255不小于155送风口风速速（米/秒）1、孔板孔孔口352、侧送送风口（1）贴附附射流25（2）非贴贴附射流流同侧墙墙下部回回风1.52.5，对侧侧墙下部部回风1.01.55侧送风口（1）贴附附射流25（2）非贴贴附射流流同侧墙墙下部回回风1.52.5，对侧侧墙下部部回风1.01.55回风口风速速（米/秒）1、洁净室室内回风风口不大大于22、走廊廊内回风

34、风口不大大于41、洁净室室内回风风口不大大于22、走廊廊内回风风口不大大于4第5.33.5条 层流洁洁净室内内不宜设设置洁净净工作台台；乱流流洁净室室内可设设置洁净净工作台台，但其其位置应应远离回回风口。第5.3.6条 洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。第四节 空空气净化化处理第5.4.1条 各等级级空气洁洁净度的的空气净净化处理理，均应应采用初初效、中中效、高高效空气气过滤器器三级过过滤。注：100，000级空气气净化处处理，可可采用亚亚高效空空气过滤滤器代替替高效空空气过滤滤器。第5.44.2条 确定集集中式或或分散式式净化空空气调节节系统时时，应综综合考虑虑生产工

35、工艺特点点和洁净净室空气气洁净度度等级、面面积、位位置等因因素。凡凡生产工工艺连续续、洁净净室面积积较大、位位置集中中以及噪噪声控制制和振动动控制要要求严格格的洁净净室，宜宜采用集集中式净净化空气气调节系系统。第5.44.3条 净化空空气调节节系统设设计应合合理利用用回风，凡凡工艺过过程产生生大量有有害物质质且局部部处理不不能满足足卫生要要求，或或对其他他工序有有危害时时，则不不应利用用回风。第5.4.4条 净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。第5.4.5条 空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气

36、过滤器不应选用浸油式过滤器：二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端；四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，易于检漏和更换；第5.4.6条 送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。第5.4.7条 净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。第五节 采采暖通风风第5.55.1条 洁净室

37、室的采暖暖型式，应应按下列列不同情情况确定定：一、100级、10000级、10，000级洁净净室，不不应采用用散热器器采暖，100，000级洁净净室，不不宜采用用散热器器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统，值班风机系统进行热风采暖。第5.5.2条 散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。第5.5.3条 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置、排风罩的操作口面积应尽量缩小。第5.5.4条 局部排风系统在下列情况下，应单独设置：一、非同一净化空气调节系统；二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；三、所排出

38、的有害物毒性相差很大。第5.5.5条 洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。第5.5.6条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。第5.5.7条 洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时1520次。事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。第六节 风管和和附件第5.66.1条 风管断断面尺寸寸的确定定，应考考虑能对对风管内内壁进行行清洁处处理，并并在适当当位置设设置密闭闭的清扫扫口。风风管壁厚厚按附录录六选用

39、用。第5.66.2条 净化空空气调节节系统的的新风管管、回风风总管，应应设置密密闭调节节阀。送送风机的的吸入口口处和需需要调节节风量处处，应设设置调节节阀。洁洁净室内内的排风风系统，应应设置调调节阀、止止回阀或或密闭阀阀。总风风管穿过过楼板和和风管穿穿过防火火墙处，必必须设置置防火阀阀。第5.66.3条 净化空空气调节节系统的的风管和和调节阀阀以及高高效空气气过滤器器的保护护网、孔孔板和扩扩散孔板板等附件件的制作作材料和和涂料，应应根据输输送空气气的洁净净要求及及其所处处的空气气环境条条件确定定。洁净室室内排风风系统的的风管、调调节阀和和止回阀阀等附件件的制作作材料和和涂料，应应根据排排除气体

40、体的性质质及其所所处的空空气环境境条件确确定。第5.66.4条 在中效效和高效效的空气气过滤器器前后，应应设置测测压孔。在在新风管管和送回回风总管管以及需需要调节节风量的的支管上上、应设设置风量量测定孔孔。第5.66.5条 排除腐腐蚀性气气体的风风管，可可采用塑塑料风管管，其他他风管以以及风管管的保温温和消声声材料及及其粘结结剂，应应采用非非燃烧材材料或难难燃烧材材料。第六章 给给水排水水第第一节 一般规规定第6.11.1条 洁净厂厂房内的的给水排排水干管管，应敷敷设在技技术夹层层、技术术竖井、地地沟管槽槽内或地地下埋设设。洁净室室内应少少敷设管管道，引引入洁净净室的支支管宜明明敷，但但对空气

41、气洁净度度等级要要求高的的洁净室室可暗敷敷。第6.11.2条 洁净厂厂房内的的管道外外表面，如如可能结结露，应应采取防防结露措措施。第6.11.3条 管道穿穿过洁净净室顶棚棚、墙壁壁和楼板板处应设设套管。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第6.1.4条 管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。第二节 给给水第6.22.1条 洁净厂厂房内的的给水系系统设计计，应根根据生产产、生活活和消防防等各项项用水对对水质、水水温、水水压和水水量的要要求，分分别设置置直流、循循环或重重复利用用的给水水系统。高高纯水系系统应设设置循环环管道。第6.2.2条 管材的选择，应符合下列要求

42、：一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管；三、生产用水设备与管道的连接宜采用优质软管；四、管道的配件应采用相应的材料。第6.2.3条 洁净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应热水；软化水、纯水管道应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。第6.2.4条 洁净厂房的周围，应设置洒水设施。第三节 排排水第6.33.1条 洁净厂厂房的排排水系统统设计，应应根据生生产排出出的废水水性质、浓浓度、水水量等特特点确定定排水系系统，并并应有废废水处理理或综合合利用设设施。第6.33.2条 洁净室室内的排排水设备备以及与与重力回回

43、水管道道相连接接的设备备,必须在在其排出出口以下下部位设设水封装装置,并应有有防止水水封被破破坏的设设施。第6.33.3条 1000级、10000级洁净净室内，不不宜设置置地漏；如必须须设置时时，应采采用有盖盖地漏，并并不应设设排水沟沟。10，000、100，000级洁净净室内允允许穿过过排水竖竖管，但但在竖管管上不得得设置检检查口。第6.3.4条 洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管材、管架及其附件。第四节 消消防设施施第6.44.1条 洁净厂厂房应根根据生产产的火灾灾危险性性分类和和建筑物物耐火等等级等因因素确定定消防设设施。第6.44.2条 洁净厂厂房室内内消火栓栓给水系

44、系统的消消防用水水量，不不应小于于10升/秒，每每股水量量不应少少于5升/秒。第6.44.3条 洁净厂厂房的消消火栓设设置，应应符合下下列要求求：一、消消火栓的的水枪充充实水柱柱，不应应小于10米。二、消消火栓的的栓口直直径应为为65毫米，配配备的水水带长度度不应超超过25米，水水枪喷嘴嘴口径不不应小于于19毫米。第6.44.4条 洁净室室及其技技术夹道道和技术术夹层内内，均宜宜同时设设置卤代代烷或二二氧化碳碳等灭火火设施和和消防给给水系统统。对设有有贵重设设备仪器器或生产产的火灾灾危险性性较大的的洁净室室，以及及当火灾灾发生时时，消防防人员难难以进入入补救的的技术夹夹层和技技术夹道道等部位位

45、，应同同时设置置卤代烷烷或二氧氧化碳等等固定灭灭火装置置和消防防给水系系统。第七章 工工业气体体管道第一一节 一般规规定第7.11.1条 工业气气体管道道的干管管，应敷敷设在技技术夹层层、技术术夹道内内。氢气气和氧气气管道宜宜明敷，如如敷设在在技术夹夹层、技技术夹道道内时，应应采取良良好的通通风措施施。引入洁洁净室的的支管宜宜明敷。第7.1.2条 高纯气体管道设计，应符合下列要求：一、根据计算确定管径；二、管道系统应尽量短；三、不宜设预留口；四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位；五、干管和支管上应设置吹除口；六、在管道系统上应设置必要的取样口。第7.1.3条 穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道,应

46、敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第7.1.4条 氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。第7.1.5条 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。第7.1.6条 气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。第二节 管管道材料料、阀门门和附件件第7.2.1条 根据不不同的气气体及其其纯度和和用途，管管道材料料应按下下列规定定选用：一一、气体体纯度大大于或等等于99.9999%时，应应采用不不锈钢管管；二、气气体纯度

47、度大于或或等于99.99%时，宜宜采用不不锈钢管管、铜管管、无缝缝钢管；三三、气体体纯度小小于99.99%时，可可采用无无缝钢管管；四、管管道与设设备的连连接段，宜宜采用金金属管道道；如为为非金属属软管时时，宜采采用聚四四氟乙烯烯管、聚聚乙烯管管，不得得采用乳乳胶管。第7.2.2条 高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。第7.2.3条 高纯气体管道与附件连接的密封垫，应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。第三节 管道连连接和清清洗第7.33.1条 管道连连接应采采用焊接接。高纯

48、纯气体管管道应采采用承插插焊。第7.33.2条 管道与与设备、阀阀门的连连接处，宜宜采用法法兰、螺螺纹或其其它密封封性能优优良的连连接件。螺螺纹处宜宜采用聚聚四氟乙乙烯带密密封。第7.33.3条 高纯气气体管道道内的内内壁、阀阀门和附附件在安安装前，应应进行清清洗、脱脱脂等预预处理。第四节 安安全技术术第7.44.1条 工业气气体管道道设计的的安全技技术，应应符合下下列规定定：一、氢氢气管道道的支管管和放散散管上，应应设置回回火防止止器；二、氢氢气和氧氧气管道道应设置置导除静静电装置置；三、各各种气体体管道应应设明显显标志。第7.4.2条 洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。第7.4.3

49、条 各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。第八章 电气第一节节 配电第8.11.1条 洁净厂厂房的电电力负荷荷等级，应应根据生生产工艺艺要求确确定。净净化空气气调节用用电负荷荷、照明明负荷，应应由变电电所专线线供电。第8.1.2条 电源进线（不包括消防用电）应设置切断装置，并宜设在非洁净区便于管理的地点。第8.1.3条 洁净室内的配电设备，应选择不易积尘的设备，并宜暗装。大型配电设备不宜设在洁净室内。第8.1.4条 洁净室内的电气管线宜暗敷，管材应采用非燃烧材料。由非洁净区进入洁净区的电气管线管口，应采取可靠的密封措施。第二节 照明第8.22.1条 洁净

50、室室内的照照明光源源，宜采采用荧光光灯。如如达不到到照明设设计的技技术经济济指标要要求时，也也可采用用其他光光源。第8.22.2条 洁净室室内一般般照明灯灯具宜明明装。如如灯具嵌嵌入顶棚棚暗装时时，其安安装缝隙隙应采取取可靠的的密封措措施。洁净净室内不不应采用用格栅型型灯具。第8.2.3条 无采光窗洁净区工作面上的照度值，不应低于表8.2.3的规定数值。无采光窗洁净区工作面上的最低照度值表8.2.3 识别对象的的最小尺尺寸d（毫米米）及场场所视觉工作分分类亮度对比照度（勒克克斯）等级混合照明一般照度d0.115甲乙小大250011500050030000.15d 0.33甲乙小大1000775

51、030020000.3dd0.66甲乙小大75075502001550d0.66750150通道、休息息室100暗房工作室室30注：一般照照明是指指单独使使用的一一般照明明。混合照照明的最最低照度度是指实实际工作作面上的的最低照照度值。一般照明的最低照度值是指距墙面1米（小面积房间为0.5米），距地面为0.8米假定工作面上的最低照度值。通道、休息室一般照明的最低照度的是指地面处的最低照度值。如暗房工作室为红或黄灯照明时，一般照明的最低照度值是指距地面0.8米假定工作面上的最低照度值。第8.2.4条 无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值应该按等级混合照明照度值的1015%采用，并不应低于

52、150勒克斯。第8.2.5条 洁净厂房内应设置供人员疏散用的事故照明。在应急安全出口和疏散通道转角处应设置标志灯。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。第8.2.6条 洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。第三节 控控制、通通信和防防护第8.33.1条 洁净厂厂房的净净化空气气调节控控制系统统，应满满足生产产工艺对对温度、湿湿度和正正压的要要求。净净化空气气调节系系统所采采用的电电加热器器，应设设置无风风断电保保护。第8.33.2条 洁净厂厂房内应应设置与与厂房内内外联系系的通信信装置。第8.33.3条 洁净厂厂房（包包括技术术夹层）应应单独或或组合设设置感温温、感光光、感烟烟等形式式的火

53、灾灾探测器器。报警警器（受受讯台）应应设置在在有人值值班的地地点，供供电应可可靠。第8.33.4条 洁净区区内应设设紧急按按钮。如如发生火火灾危险险时，应应能发出出报警信信号，并并应同时时切断风风机电源源。附录一 名词解解释 序号本规范用名名词曾用名词解释释1洁净室根据需要，对对空气中中尘粒、温温度、湿湿度、压压力和噪噪声进行行控制的的密闭空空间，并并以其空空气洁净净度等级级符合本本规范规规定为主主要特征征2洁净区净化区由洁净室所所组成的的区域3人身净化用用室人身净化用用室人净净生活间间洁净区工作作人员在在进入洁洁净区之之前按一一定程序序进行净净化的辅辅助用室室4物料净化用用室物料在进入入洁净

54、区区之前按按一定程程序进行行净化的的辅助用用室5技术夹层管道夹层、技技术阁楼楼主要以水平平构件分分隔构成成的供安安装管线线等设施施使用的的建筑夹夹道6技术夹道技术走廊、技技术管廊廊、技术术夹墙主要以水平平构件分分隔构成成的供安安装管线线等设施施使用的的建筑夹夹道7技术竖井主要以垂直直构件分分隔构成成的供安安装竖向向管线使使用的井井式建筑筑辅助空空间8建筑风道以建筑构件件组成的的风道9轻型吊顶轻吊顶、软软吊顶以轻型骨架架和饰面面板材安安装组成成的顶棚棚10粒径指尘粒由某某种测定定方法测测出的长长度名义义尺寸，并并不含有有具体的的几何形形状的意意义。当当采用光光学显微微镜测定定时，是是指尘粒粒投影

55、通通过测微微标尺时时为标尺尺刻度线线所切两两端的长长度。当当采用光光散射式式粒子计计数器测测定时，是是指标准准尘粒（如如聚本烯烯小球）作作散射光光强度的的等效比比较而得得的综合合效果。11含尘浓度指单位体积积空气中中所含悬悬浮尘粒粒的数量量12洁净度指洁净环境境中空气气含尘量量多少的的程度13全室空气净净化全面净化通过空气净净化等技技术措施施，使室室内整个个空间的的空气含含尘浓度度达到本本规范的的空气洁洁净度等等级，这这种方式式称全室室空气净净化14局部空气净净化仅使室内工工作区域域特定的的局部空空间的空空气含尘尘浓度达达到本规规范的空空气洁净净度等级级，这种种方式称称局部空空气净化化15层流

56、洁净室室平行流在洁净室内内，空气气以均匀匀的断面面速度沿沿平行流流线流动动（与流流体力学学的层流流概念不不完全相相同）16乱流洁净室室在洁净室内内，空气气以不均均匀的速速度呈不不平行流流线流动动17洁净工作区区指洁净室内内（除生生产工艺艺特殊要要求外）离离地面0.81.5米高度度的区域域18第一洁净工工作区指水平层流流洁净室室工作区区内空气气洁净度度最高的的工作位位置19空气吹淋室室、通道道式空气气吹淋室室风淋室、空空气淋浴浴室强制吹除工工作人员员及其衣衣服上附附着尘粒粒的设备备20气闸室为保持洁净净区的空空气洁净净度和正正压控制制而设备备的缓冲冲室21洁净工作服服尼龙服、无无尘服为了把工作作

57、人员的的皮肤和和衣服产产生的尘尘粒限于于最小程程度所使使用的灰灰尘量少少的洁净净服装22过滤器额定定风量指在一定滤滤速下，使使其效率率和阻力力为最合合理时的的过滤器器风量23隧道式洁净净室在洁净室内内采用层层流罩组组成隧道道式的垂垂直层流流型的局局部洁净净工作区区，以布布置有较较高空气气洁净度度要求的的生产工工序或生生产流水水线24外围建筑指安装装配配式洁净净室所在在的新建建或改建建建筑物物25气流组织指对气流流流向和均均匀度按按一定要要求进行行组织26滤膜显微镜镜计数法法将测定用薄薄膜过滤滤器捕集集到的尘尘粒用显显微镜放放大后，观观察尘粒粒大小和和数量的的方法27纯水去离子水、深深度脱盐盐水

58、指温度255时，电电阻率大大于0.11欧姆厘米的的水28高纯水指温度255时，电电阻率大大于10欧姆厘米，水水中大于于或等于于0.5微米的的尘粒小小于300粒燉毫毫升，活活微生物物小于9个/毫升的的纯水29纯水终端净净化装置置纯水后处理理设备在用水点附附近，对对水质作作进一步步净化处处理的装装置30高纯气体指纯度大于于或等于于99.99995%，含水水量小于于5pppm的气体体31气体终端净净化装置置在用气点附附近，对对气体作作进一步步纯化处处理的装装置32高效气体过过滤器气体经过滤滤后，达达到小于于或等于于0.5微米尘尘粒含量量小于或或等于3.5粒/升的气气体过滤滤器附录二 洁洁净室空空气洁

59、净净度的测测试一、洁洁净室的的空气洁洁净度，应应进行下下列测试试：（一）、空空态、静静态测试试空空态测试试：洁净净室已竣竣工，净净化空气气调节系系统已处处于正常常运行状状态，室室内没有有工艺设设备和生生产人员员的情况况下进行行测试。静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。（二）、动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。二、洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通风、空气调节的有关规定执行。三、空态、静态测试（一）、测试前的准备1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。2、采用光散射粒子计数器对高效空气过

60、滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾。然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器23厘米处，可以24厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面、封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气中大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分升（或其穿透率大于0.01%）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。（二）、测试内容1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；2、洁净室压力值；3、层流洁净室断面风速和气流流向；4、洁净工作区的洁净度；5、室内温度、湿