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文档简介

1、WI作业文件封面文件名称文件编号制定/日期审核/日期批准/日期基材减铜操作指引XB03-ME-62文 件 修 订 履 历 记 录版 本 号制定部门A工艺部版 次A/0页 数4新发行修 订 内 容日 期2020-01-20相关联部门会签部门生产部工艺部品质部签名1、目的本指示目的在于为蚀刻线减铜建立一个标准操作指示。2、范围本指示适用于一楼线路 DES 酸性蚀刻线。0文件编号文件版本XB03-ME-62A/0基材减铜操作指引页次共4页/第2页3无4、定义无 5生产部负责日常操作并根据制作标准控制工作参数/条件。工艺部负责为生产中出现的问题提供技术支援。品质部负责流程参数和产品品质的监控。6、主要

2、物料主要物料参考内层蚀刻线操作指引设备制程能力内层蚀刻线操作指引减铜在酸性蚀刻机完成7、作业内容流程4101112(50L*3)1(770L)2新液洗冲污水131415(50L*3)酸洗（75L）16、17、18(50L*3) 烘烤 收板（收板机）开机程序、关机程序、紧急停止程序、操作注意事项参考内层蚀刻线操作指引安全注意事项 、异常处理参考内层蚀刻线操作指引减铜操作方法减铜前：50PNL10PNL 50PNL1PNL9MI测试点示意图(减铜前与减铜后)：标准化管理工厂0文件编号文件版本XB03-ME-62A/0基材减铜操作指引页次共4页/第3页1操作参数板厚0.4-0.80.9-1.31.4

3、-1.82.0隔胶片数量（PNL/片4PNL13PNL12PNL11PNL1OK1PNL（9MIOK25pnl1PNL8、表格:8.1酸性蚀刻线减铜生产及铜厚测量记录表表单编号：FM03-ME062-01附件一、 H/HOZ 减铜到 1/3OZ标准化管理工厂0文件编号文件版本XB03-ME-62A/0操作要求：基材减铜操作指引页次共4页/第4页H/HOZ（17um）400*200mm)；蚀刻线开启自动模式；屏幕显示比重、盐酸、氯酸钠、温度达到目标值；1234（注：这半段需手动关闭全部上下喷淋阀门）4以下是操作示意图：第一段上喷上喷上喷上喷上喷上喷上喷上喷上喷上喷下喷下喷下喷下喷蚀刻机下喷下喷下喷第二段关闭关第三段关闭关

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