厂务系统概述-课件

1、廠務系統概述莊士正莊士正整廠系統整廠系統1.廠務系統功能1.廠務系統功能1.1 水系統在製程中的功能PCW製程冷卻水製程機台冷卻UPW/DIW超純水補水/清洗/稀釋Chill Water冰水冷卻用冷源/空調用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來水原水/一般用水1.1 水系統在製程中的功能PCW製程機台冷卻UPW/DIW1.2 氣體系統在製程中的功能CDA壓縮乾燥空氣搬運器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮氣Purge/CDA Backup/潔淨沖吹PN2純化氮氣Purge/空間填充/超潔淨沖吹其他B-GAS大宗氣體製程需求/Purge/空間填充/超潔淨沖吹S-GAS特殊氣體製程

2、Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求1.2 氣體系統在製程中的功能CDA搬運器/儀器之氣壓缸/一1.3 化學系統在製程中的功能Chemical化學藥品清潔清洗/濕式蝕刻製程需求1.3 化學系統在製程中的功能Chemical清潔清洗/濕式1.4 真空系統在製程中的功能PV製程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆1.4 真空系統在製程中的功能PV基板吸引般移HV塵屑吸引清Pump Line製程高真空Chamber製程轉換之高真空建立Exhaust排氣系統Chamber製程轉換之廢氣排除Drain排水系統機台製程使用之廢DI/Chemical排放1.5 排氣/排水系統在製程中的功能P

3、ump LineChamber製程轉換之高真空建立Exha2.廠務系統使用材質2.廠務系統使用材質2.1 水系統使用材質PCW製程冷卻水SUS 304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFA TubeChill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自來水SUS 3042.1 水系統使用材質PCWSUS 304禁油處理/高壓軟管CDA壓縮乾燥空氣SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮氣SUS 316L BA/EPPN2純化氮氣SUS 316L EP其他B-GAS大宗氣體SUS 316L EP/PH2有時用雙套管(EP/AP)S-GAS

4、特殊氣體SUS 316L EP/雙套管/加熱套2.2 氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管)CDASUS 304L AP/BA/316L BAGN2SU2.3 化學系統使用材質有機類化學藥品例如溶劑類SUS 316 BA一般酸鹼化學藥品例如H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化學藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.3 化學系統使用材質有機類例如溶劑類SUS 316 B2.4 真空系統使用材質PV製程真空PVC SCH80/SUS 304HV清潔真空PVC SCH80/SUS 3042.4 真空系統使用材質PVPVC SCH80/SUS 30Pump Line製

5、程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風管2.5 排氣系統使用材質Solvent有機排氣SUS 304全焊式不銹鋼風管Acid/Ak酸鹼排氣不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass)Pump LineSUS 316 BA/EPGEX鍍鋅螺旋風2.6 排水系統使用材質Drain一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有機排氣水SUS 304不銹鋼管Acid/Ak酸鹼排氣水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA2.6 排水系統使用材質DrainPVC/PVC SCH803.廠務系統流程3.廠務系統流程3.1 製程冷卻水系統簡略流程原水補水膨脹水箱冰水

6、出冰水進板 熱製程管線機台冷卻進水回水3.1 製程冷卻水系統簡略流程原水補水膨脹水箱冰水出冰水進板3.2 冰水系統簡略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大 氣冰水主機冷媒循環RCUAHU其他空調箱DCC板 熱冷卻水3.2 冰水系統簡略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大 氣冰水3.3 純水系統簡略流程City Water自來水DM Filter去除鈣鎂Decarbonator去除CO2WA Tower去除碳酸鈣SA Tower去除碳酸鈣RO TankRO進水槽Heat Exchange熱交換器UV Sterilizer紫外線殺菌Safety Filter過濾器RO Unit逆滲透膜PermeatePi

7、t逆滲透底槽Mixed Bed去除SiO2MembraneDegasifier去除O2UPW Tank純水儲槽Cooler冷卻器UV Oxidizer破壞有機鏈UF Unit超限過濾膜H2 UPW Tank純水儲槽H2 CoolerH2冷卻器H2 M.D.H2去除膜H2 DesolveMembraneH2除溶膜H2W UF Unit超限過濾膜P.O.U使用點回水回水3.3 純水系統簡略流程City WaterDM Filte3.4 自來水/回收水系統簡略流程自來水外管水表/隔離閥供應管線使用點自來水空氣中水份冷盤/空調箱回收管線回收水槽回收水使用點3.4 自來水/回收水系統簡略流程自來水外管水

8、表/隔離閥供應3.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程CDAGN2/PN2大氣空壓機蓄壓槽初級過濾器冷凍式乾燥機吸附式乾燥機精密過濾器大氣氮氣產生器液氮槽蒸發器減壓站過濾器純化器使用點一/二次管二次盤CQC使用點一/二次管二次盤CQC3.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程CDAGN2/PN3.6 其他大宗氣體/特氣系統簡略流程O2Specialty Gas鋼瓶Cabinet氣瓶櫃VMB/P閥箱管線使用點液氧儲槽減壓站過濾器純化器CQCHe/Ar/Kr/H2鋼瓶/BundleTrunker減壓站過濾器一/二次管二次盤使用點蒸發器使用點一/二次管二次盤純化器CQC管線3.6 其他大宗氣體/特

9、氣系統簡略流程O2Specialty3.7 高真空/排氣系統簡略流程Pumping LineOthers Exhaust機台製程ChamberVacuumPump高真空管路ScrubberGEX機台出口Damper風管風機高真空管路大氣Exhaust風管機台出口Damper風管風機Scrubber大氣3.7 高真空/排氣系統簡略流程Pumping LineOt3.8 真空系統簡略流程PV製程機台使用點真空管路真空儲槽真空PumpHV一/二次管二次盤配置需求使用點真空管路真空清潔儲槽真空Pump開關盒3.8 真空系統簡略流程PV製程機台真空管路真空儲槽真空HV3.9 化學系統簡略流程Chemical化學品供應槽車傳送系統供應槽分配系統化學品儲槽VMB/P化學管路使用點回收管線廢液回收槽3.9 化學系統簡略流程Chemical化學品傳送系統供應槽3.10 廢水收集系統簡略流程Drain Pipe機台排放點廢水處理廠收集管線3.10 廢水收集系統簡略流