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文档简介

1、实验报告物理与电子系物理升华专业1201班姓名张涛学号1003120505指导老师徐富新实验时间2014年5月25日,第十三周,礼拜日实验名称巨磁电阻效应及其应用【目的要求】1、认识GMR效应的原理2、丈量GMR模拟传感器的磁电变换特征曲线3、丈量GMR的磁阻特征曲线4、用GMR传感器丈量电流5、用GMR梯度传感器丈量齿轮的角位移,认识GMR转速(速度)传感器的原理【原理简述】依据导电的微观机理,电子在导电时其实不是沿电场直线行进,而是不停和晶格中的原子产生碰撞(又称散射),每次散射后电子都会改变运动方向,总的运动是电场对电子的定向加快与这类无规散射运动的叠加。称电子在两次散射之间走过的均匀行

2、程为均匀自由程,电子散射几率小,则均匀自由程长,电阻率低。电阻定律R=l/S中,把电阻率视为常数,与资料的几何尺度没关,这是因为平时资料的几何尺度远大于电子的均匀自由程(比方铜中电子的均匀自由程约34nm),可以忽视界限效应。当资料的几何尺度小到纳米量级,只有几个原子的厚度时(比方,铜原子的直径约为0.3nm),电子在界限上的散射几率大大增添,可以显然观察到厚度减小,电阻率增添的现象。电子除携带电荷外,还拥有自旋特征,自旋磁矩有平行或反平行于外磁场两种可能取向。早在1936年,英国物理学家,诺贝尔奖获取者指出,在过渡金属中,自旋磁矩与资料的磁场方向平行的电子,所受散射几率远小于自旋磁矩与资料的

3、磁场方向反平行的电子。总电流是两类自旋电流之和;总电阻是两类自旋电流的并联电阻,这就是所谓的两电流模型。在图2所示的多层膜结构中,无外磁场时,上下两层磁性资料是反平行(反铁磁)耦合的。施加足够强的外磁场后,两层铁磁膜的方向都与外磁场方向一致,外磁场使两层铁磁膜从反平行耦合变为了平行耦合。电流的方向在多数应用中是平行于膜面的。电无外磁场时顶层磁场方向阻顶层铁磁膜欧姆中间导电层基层铁磁膜磁场强度/高斯无外磁场时基层磁场方向图3某种GMR资料的磁阻特征图2多层膜GMR结构图图3是图2结构的某种GMR资料的磁阻特征。由图可见,跟着外磁场增大,电阻逐渐减小,此间有一段线性地域。当外磁场已使两铁磁膜完好平

4、行耦合后,连续加大磁场,电阻不再减小,进入磁饱和地域。磁阻变化率R/R达百分之十几,加反向磁场时磁阻特征是对称的。注意到图2中的曲线有两条,分别对应增大磁场和减小磁场时的磁阻特征,这是因为铁磁资料都拥有磁滞特征。有两类与自旋相关的散射对巨磁电阻效应有贡献。其一,界面上的散射。无外磁场时,上下两层铁磁膜的磁场方向相反,不论电子的初始自旋状态如何,从一层铁磁膜进入另一层铁磁膜时都面对状态改变(平行反平行,或反平行平行),电子在界面上的散射几率很大,对应于高电阻状态。有外磁场时,上下两层铁磁膜的磁场方向一致,电子在界面上的散射几率很小,对应于低电阻状态。其二,铁磁膜内的散射。即便电流方向平行于膜面,

5、因为无规散射,电子也有必定的几率在上下两层铁磁膜之间穿行。无外磁场时,上下两层铁磁膜的磁场方向相反,不论电子的初始自旋状态如何,在穿行过程中都会经历散射几率小(平行)和散射几率大(反平行)两种过程,两类自旋电流的并联电阻相似两此中等阻值的电阻的并联,对应于高电阻状态。有外磁场时,上下两层铁磁膜的磁场方向一致,自旋平行的电子散射几率小,自旋反平行的电子散射几率大,两类自旋电流的并联电阻相似一个小电阻与一个大电阻的并联,对应于低电阻状态。多层膜GMR结构简单,工作靠谱,磁阻随外磁场线性变化的范围大,在制作模拟传感器方面获取广泛应用。在数字记录与读出领域,为进一步提升敏捷度,发展了自旋阀结构的GMR

6、。【实验装置】巨磁电阻实验仪地域1地域2地域3图5巨磁阻实验仪操作面板图5所示为巨磁阻实验仪系统的实验仪前面板图。地域1电流表部分:做为一个独立的电流表使用。两个档位:2mA档和200mA档,可经过电流量程切换开关选择适合的电流档位丈量电流。地域2电压表部分:做为一个独立的电压表使用。两个档位:2V档和200mV档,可经过电压量程切换开关选择适合的电压档位。地域3恒流源部分:可变恒流源。实验仪还供给GMR传感器工作所需的4V电源和运算放大器工作所需的8V电源。基本特征组件图6基本特征组件基本特征组件由GMR模拟传感器,螺线管线圈及比较电路,输入输出插孔构成。用以对GMR的磁电变换特征,磁阻特征

7、进行丈量。GMR传感器置于螺线管的中央。螺线管用于在实验过程中产生大小可计算的磁场,由理论解析可知,无穷长直螺线管内部轴线上任一点的磁感觉强度为:B=0nI(1)式中n为线圈密度,I为流经线圈的电流强度,04107H/m为真空中的磁导率。采纳国际单位制时,由上式计算出的磁感觉强度单位为特斯拉(1特斯拉10000高斯)。电流丈量组件图7电流丈量组件电流丈量组件将导线置于GMR模拟传感器近旁,用GMR传感器丈量导线经过不一样大小电流时导线四周的磁场变化,即可确立电流大小。与一般丈量电流需将电流表接入电路对比,这类非接触丈量不搅乱原电路的工作,拥有特别的长处。角位移丈量组件图8角位移丈量组件角位移丈

8、量组件用巨磁阻梯度传感器作传感元件,铁磁性齿轮转动时,齿牙搅乱了梯度传感器上偏置磁场的分布,使梯度传感器输出发生变化,每转过一齿,就输出近似正弦波一个周期的波形。利用该原理可以丈量角位移(转速,速度)。汽车上的转速与速度丈量仪就是利用该原理制成的。磁读写组件图9磁读写组件磁读写组件用于演示磁记录与读出的原理。磁卡做记录介质,磁卡经过写磁头时可写入数据,经过读磁头时将写入的数据读出来。【实验内容】一、GMR模拟传感器的磁电变换特征丈量在将GMR构成传感器时,为了除掉温度变化等环境要素对输出的影响,一般采纳桥式结构。a几何结构b电路连接GMR模拟传感器结构图对于电桥结构,假如4个GMR电阻对磁场的

9、影响完好同步,就不会有信号输出。图17-9中,将处在电桥对角地点的两个电阻R3,R4覆盖一层高导磁率的资料如坡莫合金,以障蔽外磁场对它们的影响,而R1,R2阻值随外磁场改变。设无外磁场时4个GMR电阻的阻值均为R,R1、R2在外磁场作用下电阻减小R,简单解析表示,输出电压:OUTU=UIN(2R-R)(2)障蔽层同时设计为磁通齐集器,它的高导磁率将磁力线齐集在进一步提升了R1,R2的磁敏捷度。R1、R2电阻所在的空间,从几何结构还可见,巨磁电阻被光刻成微米宽度迂回状的电阻条,以增大其电阻至k数量级,使其在较小工作电流下获取适合的电压输出。GMR模拟传感器的磁电变换特征模拟传感器磁电变换特征实验

10、原理图将GMR模拟传感器置于螺线管磁场中,功能切换按钮切换为“传感器丈量”。实验仪的4V电压源接至基本特征组件“巨磁电阻供电”,恒流源接至“螺线管电流输入”,基本特征组件“模拟信号输出”接至实验仪电压表。按表1数据,调理励磁电流,逐渐减小磁场强度,记录相应的输出电压于表格“减小磁场”列中。因为恒流源自己不可以供给负向电流,当电流减至0后,交换恒流输出接线的极性,使电流反向。再次增大电流i,此时流经螺线管的电流与磁感觉强度的方向为负,从上到下记录相应的输出电压。电流至-100mA后,逐渐减小负向电流,电流到0时相同需要交换恒流输出的极性。从下到上记录数据于表一“增大磁场”列中。理论上讲,外磁场为

11、零时,GMR传感器的输出应为零,但因为半导体工艺的限制,臂电阻值不必定完好相同,以致外磁场为零时输出不必定为零,在有的传感器中可以观察到这一现象。4个桥依据螺线管上表示的线圈密度,由公式(1)计算出螺线管内的磁感觉强度B。以磁感觉强度B作横坐标,电压表的读数为纵坐标作出磁电变换特征曲线。不一样外磁场强度时输出电压的变化反响了GMR传感器的磁电变换特征,同一外磁场强度下输出电压的差值反响了资料的磁滞特征。表1GMR模拟传感器磁电变换特征的丈量(电桥电压4V)磁感觉强度/高斯输出电压/mV励磁电流/mA磁感觉强度/高斯减小磁场增大磁场10025925990259259802592587025825

12、6602562505023922440198.7176.830151.0130.220104.188.01062.549.8543.829.3024.28.5510.233.61038.652.22077.292.730117.6138.540163.2186.25021223060245253702552578025825890259259100259259二、GMR磁阻特征丈量磁阻特征丈量原理图为加深对巨磁电阻效应的理解,我们对构成GMR模拟传感器的磁阻进行丈量。将基本特征组件的功能切换按钮切换为“巨磁阻丈量”,此时被磁障蔽的两个电桥电阻R3、R4被短路,而R1、R2并联。将电流表串联进电

13、路中,丈量不一样磁场时回路中电流的大小,就可以计算磁阻。实验装置:巨磁阻实验仪,基本特征组件。将GMR模拟传感器置于螺线管磁场中,功能切换按钮切换为“巨磁阻丈量”。实验仪的4伏电压源串联电流表后,接至基本特征组件“巨磁电阻供电”,恒流源接至“螺线管电流输入”。按表2数据,调理励磁电流,逐渐减小磁场强度,记录相应的磁阻电流于表格“减小磁场”列中。因为恒源流自己不可以供给负向电流,当电流减至0后,交换恒流输出接线的极性,使电流反向。再次增大电流,此时流经螺线管的电流与磁感觉强度的方向为负,从上到下记录相应的输出电压。电流至一100mA后,逐渐减小负向电流,电流到0时相同需要交换恒流输出接线的极性。

14、从下到上记录数据于“增大磁场”列中。依据螺线管上表示的线圈密度,由公式(1)计算出螺线管内的磁感觉强度B。由欧姆定律R=U/I计算磁阻。以磁感觉强度B作横坐标,磁阻为纵坐标做出磁阻特征曲线。应当注意,因为模拟传感器的两个磁阻是位于磁通齐集器中,与图3对比,我们作出的磁阻曲线斜率大了约10倍,磁通齐集器结构使磁阻敏捷度大大提升。不一样外磁场强度时磁阻的变化反响了料的磁滞特征。GMR的磁阻特征,同一外磁场强度的差值反响了材表2GMR磁阻特征的丈量(磁阻两端电压4V)磁感觉强度/高斯磁阻/减小磁场增大磁场励磁电流/mA磁感觉强度/高斯磁阻电流/mA磁阻/磁阻电流/mA磁阻/1001.9121.910

15、901.9111.910801.9111.909701.9101.900601.9081.892501.8911.876401.8521.831301.8071.786201.7631.748101.7251.71351.7091.69601.6921.67651.6781.699101.7041.716201.7381.752301.7761.793401.8181.838501.8641.882601.8961.905701.9061.909801.9091.910901.9101.9101001.9101.910三、用GMR模拟传感器丈量电流GMR模拟传感器在必定的范围内输出电压与磁场强

16、度成线性关系,且敏捷度高,线性范围大,可以方便的将GMR制成磁场计,丈量磁场强度或其他与磁场相关的物理量。作为应用示例,我们用它来丈量电流。由理论解析可知,通有电流I的无穷长直导线,与导线距离为r的一点的磁感觉强度为:B=0I/2r=2I10-7/r(3)磁场强度与电流成正比,在r已知的条件下,测得B,即可知I。在实质应用中,为了使GMR模拟传感器工作在线性区,提升丈量精度,还常常早先给传感器施加一固定已知磁场,称为磁偏置,其原理近似于电子电路中的直流偏置。模拟传感器丈量电流实验原理图实验装置:巨磁阻实验仪,电流丈量组件实验仪的4伏电压源接至电流丈量组件“巨磁电阻供电”,恒流源接至“待测电流输

17、入”,电流丈量组件“信号输出”接至实验仪电压表。将待测电流调理至0。将偏置磁铁转到远离GMR传感器,调理磁铁与传感器的距离,使输出约25mV。将电流增大到300mA,按表4数据逐渐减小待测电流,从左到右记录相应的输出电压于表格“减小电流”行中。因为恒流源自己不可以供给负向电流,当电流减至0后,交换恒流输出接线的极性,使电流反向。再次增大电流,此时电流方向为负,记录相应的输出电压。逐渐减小负向待测电流,从右到左记录相应的输出电压于表格“增添电流”行中。当电流减至0后,交换恒流输出接线的极性,使电流反向。再次增大电流,此时电流方向为正,记录相应的输出电压。将待测电流调理至0。将偏置磁铁转到凑近GM

18、R传感器,调理磁铁与传感器的距离,使输出约150mV。用低磁偏置时相同的实验方法,丈量适合磁偏置时待测电流与输出电压的关系。表3用GMR模拟传感器丈量电流待测电流/mA3002001000100200300低磁偏置减小电流26.025.725.325.024.624.323.9输出(约25mV)增添电流26.025.625.324.924.624.223.9电压/mV适合磁偏置减小电流(约150mV)增添电流149.3148.8148.3147.7147.1146.5145.9149.5148.9148.3147.7147.0146.4145.9以电流读数作横坐标,电压表的读数为纵坐标作图。分

19、别作出4条曲线。由丈量数据及所作图形可以看出,适合磁偏置时线性较好,斜率(敏捷度)较高。因为待测电流产生的磁场远小于偏置磁场,磁滞对丈量的影响也较小,依据输出电压的大小即可确立待测电流的大小。用GMR传感器丈量电流不用将丈量仪器接入电路,不会对电路工作产生搅乱,既可丈量直流,也可丈量交流,拥有广阔的应用远景。四、GMR梯度传感器的特征及应用将GMR电桥两对对角电阻分别置于集成电路两端,4个电阻都不加磁障蔽,即构成梯度传感器,如图17所示。输出输出图17GMR梯度传感器结构图这类传感器若置于均匀磁场中,因为4个桥臂电阻阻值变化相同,电桥输出为零。假如磁场存在必定的梯度,各GMR电阻感觉到的磁场不

20、一样,磁阻变a化不一样样,就会有信号输出。图18以检测齿轮的角位移为例,说明其应用原理。将永磁体搁置于传感器上方,若齿轮是铁磁资料,永磁体产生的空间磁场在有对于齿牙不一样地点时,产生不一样的梯度磁场。a地点时,输出为零。b地点时,R1、R2感觉到的磁场强度大于R3、R4,输出正电压。c地点时,输出回归零。d地点时,R1、R2感觉到的磁场强度小于R3、R4,输出负电压。于是,在齿轮转动过程中,每转过一个齿牙便产生一个完好的波形输出。这一原理已广泛应用于转速(速度)与位移监控,在汽车及其他工业领域获取bcd图18用GMR梯度传感器检测齿轮位移广泛应用。实验装置:巨磁阻实验仪、角位移丈量组件。将实验

21、仪4V电压源接角位移丈量组件“巨磁电阻供电”,角位移丈量组件“信号输出”接实验仪电压表。逆时针慢慢转动齿轮,当输出电压为零时记录初步角度,此后每转压表的读数。转动48度齿轮转过2齿,输出电压变化2个周期。3度记录一次角度与电表4齿轮角位移的丈量初步角度/度03691215182124转动角度/度046.289.167.2-7.4-70.9-59.5-29.26.3输出电压/mV2730333639424548初步角度/度46.690.365.3-10.9-61.4-61.1-27.15.3以齿轮实质转过的度数为横坐标,电压表的读数为纵向坐标作图。【实验数据办理】1.GMR模拟传感器的磁电变换特

22、征丈量磁感觉强度/高斯输出电压/mV励磁电流/mA磁感觉强度/高斯减小磁场增大磁场10030.159289472592599027.143360532592598024.127431582592587021.111502632582566018.095573682562505015.079644742392244012.06371579198.7176.8309.047786842151.0130.2206.031857895104.188.0103.01592894762.549.851.50796447443.829.30024.28.55-1.50796447410.233.610-3.

23、01592894738.652.220-6.03185789577.292.730-9.047786842117.6138.540-12.06371579163.2186.250-15.0796447421223060-18.0955736824525370-21.1115026325525780-24.1274315825825890-27.14336053259259100-30.15928947259259以B为横坐标,输出电压U为纵坐标,作图得:磁感觉强度B与输出电压U之间的关系曲线GMR的磁阻特征曲线的丈量磁感觉强度/高斯磁阻/减小磁场增大磁场励磁电流/mA磁感觉强度/高斯磁阻电流/

24、mA磁阻/磁阻电流/mA磁阻/10030.159289471.9122092.051.9102094.249027.143360531.9112093.141.9102094.248024.127431581.9112093.141.9092095.347021.111502631.9102094.241.9002105.266018.095573681.9082096.441.8922114.165015.079644741.8912115.281.8762132.204012.063715791.8522159.831.8312184.60309.0477868421.8072213.611.7862239.64103.0159289471.7252318.841.7132335.0851.5079644741.7092340.551.6962358.49001.6922364.061.6762386.6

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