008-晶圆入库流程

1、晶圆入库流程文件编号制订日期制订部门页数WI-MD-0012016-7-1资材部1/4机密秘密普通晶圆入库流程编制：审核：批准：颁布日期：2016年7月1日实施日期：2016年7月1日Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherformatwithoutpriorpermissionofourcompany本文件为本公司专有之财产,非经许可不得复制、翻印或转变成其他形式使用制订/修订日期2016-7-1版本A.0晶圆入库流程文件制订/修订

2、履历制订/修订理由/内容新全文制定文件编号制订日期制订部门页数发行日期2016-7-1WI-MD-0012016-7-1资材部2/4备注文件适用部门I仓库及生产部Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherformatwithoutpriorpermissionofourcompany本文件为本公司专有之财产,非经许可不得复制、翻印或转变成其他形式使用晶圆入库流程文件编号制订日期制订部门页数WI-MD-0012016-7-1资材部3/41

3、目的对晶圆入库进行更好的管控，防止品质发生变异。2范围适应于本公司晶圆入库3权限4.1客户：提供晶圆4.2业务部：填写入库检验通知单、提供CP/Map/Ink报告及相关信息4.3IQC：负责检验芯片批号、名称、花片/Map/Ink/盲封、厚度、片号、来料质量、标签4.4仓库：负责核实入库单与晶圆标签是否一致，进行入库MES及单据保存4流程：(见附件)5程序内容5.1仓库每天至前台收取快递，通知业务至仓库拆箱、填写入库检验通知单（客户代码、晶圆批号、名称、片数、花片/Map/Ink/盲封）5.2业务部将入库检验通知单、CP报告及晶圆一起移交至IQC检验，CP晶圆无CP报告暂扣仓库5.3业务部、品

4、质部按照检验规范进行品质检验；5.4IQC检验合格入库检验单签字，异常邮件通知业务部；5.5合格晶圆附入库单及CP报告移交晶圆库；5.6晶圆库管员需对入库晶圆客户代码、晶圆批号、名称、片数、尺寸入库单核对，将晶圆存放圆氮气柜；5.7仓管员根据入库单上信息，维护MES，确保入库产品在线状态与实际一致；5.8入库后整理相应的表单及保存。6相关文件晶圆CP报告晶圆入库单通知单晶圆来料检验记录表Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransformedtoanyotherform

5、atwithoutpriorpermissionofourcompany本文件为本公司专有之财产,非经许可不得复制、翻印或转变成其他形式使用晶圆入库流程文件编号制订日期制订部门页数WI-MD-0012016-7-1资材部4/4附件晶圆入库流程图文件编号：WI-MD-008A.0权限单位流程作业事项仓库接受货物仓库接收快递仓库登记表单芯片批号、名称、仓库仓库填写入库清单片数、测试情况（Map/Ink/花片/盲封）OK1.仓库将入库清单、Map/Ink/花仓库通知IQC检验OK片报告及晶圆交由IQC检验2.Map/花片/Ink/圆片若无相关报告不检验暂扣仓库通知业务部核对来料数量、厚度、NG批号、片号是否与入库品质部是否合格单一致。确认来料质量是否存在问题（如有问题，晶圆暂扣、通知仓库及业务部门）仓库放至晶圆柜指定位置OK储存OK根据晶圆验收标签及CP仓库整理账目报告入MES系统，并整理相应表单编制：审核：批准：Thisdocumentistheexclusivepropertyofourcompany,andshallnotbereproducedorcopiedortransf