无尘车间测试分析最新版ppt

1、目录1无尘车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。无尘室在建造施工完成后都要进行洁净度检测，查看通风，除尘，风量等各项指标是否能达到设计求。2一、气流速度及其均匀度检测1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。2、系统或房间的风量检测。3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。34、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其

2、原有洁净度的能力。5、噪声的检测。6、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。7、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。8、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。9、总风量和新风量的检测。4二、为证明无尘室做得令人满意、必须满足以下准则要求：1、无尘室的送风量充足，足以稀释或消除室内产生的污染。2、无尘室内的空气是从洁净区向洁净度稍差的区域流动，受污染空气的流动达到

3、最低程度，空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。3、无尘室的送风不会显著增加室内的污染。4、室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。如果无尘室达到了上述这些准则的要求，就可以测量其粒子浓度或微生物浓度（必要时），以确定其达到了规定的无尘室标准。5三、无尘室的测试内容：纯臻净化工程1、送风量与排风量：如果是紊流无尘室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流无尘室，则要测量其风速。2、各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从无尘区向洁净度差的区域流动，必须检测：（1）各区间的压差正确；（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域

4、流动。63、过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：（1）损坏了的过滤器；（2）过滤器与其外框间的缝隙；（3）过滤器装置的其他部位而侵入室内。4、隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入无尘室。5、室内气流控制：气流控制测试的类型要依无尘室的气流模式是紊流还是单向流而定。若无尘室气流为紊流，则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流无尘室，则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。、6、悬浮粒子浓度和微生物浓度：如果上述这些测试满足要求，则最后对粒子浓度和微生物浓度（需要时）进行测量，以便验明其符合洁净室设计的技术条件。7、其他测试：除

5、了上述这些污染控制方面的测试以外，有时还必须进行其他一项或若干项测试。7四、十万级无尘车间特点及作业环境规定：无尘车间是污染控制的基础，是污染敏感零件批量生产的必要设施。它具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。中建南方”北斗七星”净化标准。为产品价值保驾护航。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。其中不论车间外空气条件如何变化，室内均能俱有维持原先所设定要求之

6、洁净度、温湿度及压力等性能之特性。8五、十万级无尘车间作业环境规定1、落尘量检测每三个月委外检测并附检测结果至公司管理部存档。2、无尘车间标准温度：21-25，湿度：50%-70%，每天要有温度表记录。3、作业员上下班前10分钟将各自工位环境进行清洁处理(含加班时间)，由主管级人员不定期审核确认。1 、无尘车间标准洁净度LCD制屏的简略流程为：清洗印刷取向膜磨擦密封印刷层散布隔垫物组合划线和切割LC注入贴偏振片制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。92 、室内空气参数要求：纯臻净化工程(1)温湿度要求：温度一般为24+2 ，相对湿度为55+5%(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量40m3 /h。(3)送风量大。为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要3002.530=22500m3/h的送风量(换气次数，是25次/h);如果是十万级，送风量就需要3002.520=15000m3/h的送风量(换气次数，是15次