lcd共享柱高知识简介

1、2022/8/301柱高知识简介张之烦2022/8/3021.柱状Spacer概要Spacer材料球状Spacer (价格优势）柱状Spacer高对比度盒厚均匀塑性形变SampleN数面内平均Gap(25点/面)3面内平均Gap(3P/AVE)3(3P/AVE)BS(15-04)33.9843.9233.8850.1380.1230.1063.9310.122PS(15-10)34.0124.0544.0270.0470.0350.0434.0310.042常温震动黄Mura本SealPS液晶加热后高温黄Mura2022/8/303分束玻片补偿玻片反射镜反射镜2MM1观察屏入射光线迈克耳孙干涉

2、仪迈克耳逊干涉仪2.柱高测量原理d=N/22022/8/3043.柱高测量设备介绍1.夹紧机构（Chuck)2.基准相机（Fiducial Cameras）3.测量镜头（measure Heads）4.隔振基座框架（Isolation Frame）5.安全围栏（Safety Enclosure）6.操作平台（Operator Console Stand）VCRLoad夹紧AlignMeasureJudgeUnload&Feedback：1.PHOSPA-Hm、PHOSPA-Hp；2.TOPSIZ、TOPSIZ-Dx、TOPSIZ-Dy；3.BOTSIZ、BOTSIZ-Dx、BOTSIZ-Dy。

3、PSH2022/8/305灯光设置Mask设置Sherlock设置非常规工艺控制点：1.Film Min Mode：过滤掉小振幅的波2.Low Clip：过滤掉顶端突起3.Remove Spikes：过滤个别较大频率的波4.Trim：过滤掉边缘部分5.FDA Noise Threshold：4.工艺参数测量位置LoadAlignFPM部分Metropro部分measurefeedback测量常规工艺控制点各品种PS形状Fiducial设置图：噪音等对测量的影响2022/8/3065.PSH & 液晶滴下反馈模式CF LineTFT Line柱高液晶滴下真空贴合Data反馈模式Feedback计

4、算方法1.每20片glass作为1个unit；2.每个unit的第1枚glass作为standard sheet，每个panel测量5个point； standard height = standard sheet所有测量point的平均值， panel standard height = standard sheet相应panel 5个测量point的平均值3.第220枚glass每个panel测量1个point； ave.height=当前glass所有测量point的平均值（包含第1枚glass），4.act.height=panel standard height + （ave.height - standard height），5. 相应panel液晶滴下量补正值 = （act.height / setting height - 1）*100%；6. feedback = 100 + panel液晶滴下量补正值*1000 （正整数）feedbackPanel液晶滴下量补正值991-0.1%-9.9%1011990.1%9.9%100无补正error大于10%常见不良模式1.PS过低：黄MURA2.PS