工艺经验交流分享

1、东区电池效率提升阅历分享东区电池制造2021.3.191电池转换效率大幅提升升0.55升1.78升1.02降1.00降0.23升26.7升8.23降18.2升3.69%工序规范化奉献0.15高阻奉献0.1788nm膜厚奉献0.18电性能提升：转换效率从开线时16.30提高至目前16.80;实验模型： Case1 高方阻工艺DOE实验模型此模型运用到电池分散，详细对应关系如下：输入： 制绒后的硅片可控因子-：气流，温度，时间，压强噪声因子：时效，片源，机台输出：分散质量，磷浓度分布曲线输出将直接决议转化效率因子选择与控制： 可控因子选择气流：N2,POCL3,O2中选择POCL3作为key fa

2、ctor，以控制磷的掺杂总量和均匀性；温度：温度影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor；时间：淀积时间，推进时间影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor ；压强：由于压强的动摇相对于其绝对值非常小，对制程影响将较小； 噪声因子控制片源：经过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证途径一样；Case1 高方阻工艺DOE因子选择第一组实验：对以上可控因子进展田口设计，生成L9实验方案,找出最正确方案-E3：第二组实验：根据第一组实验结果，进展第二组实验确定时间，实验方案为全因子设计，找出最正确方案-E6注：时间为淀积时间+推进时间，

3、试验组别主反应温度()POCL3流量(sccm)时间(m)E183075014+12E283095018+16E3830110022+20E485075018+16E585095022+20E6850110014+12E787075022+20E887095014+12E9870110018+16试验组别淀积时间(m)推进时间(m)POCL3流量(sccm)主反应温度()E116141000830E216161000830E316181000830E418141000830E518161000830E618181000830E720141000830E820161000830E92018100

4、0830Case1 高方阻工艺DOEL9实验因子选择与控制： 可控因子选择：气流：流量比例影响薄膜成分组成；压强：影响膜的均匀性；膜厚：影响减反射效果；烧结温度：影响氢分布和钝化效果； 噪声因子控制：片源：经过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证途径一样；Case2 高膜厚工艺DOE-因子选择第一组实验：对以上可控因子进展田口设计，生成L9实验方案,找出最正确方案Recipe7：第二组实验：根据第一组实验结果，进展第二组实验，添加后到烧结要素，找出最正确方案-recipe 7Case2 高膜厚工艺DOE-L9实验Case3 丝网烧结DOE实验-因子选

5、择8因子选择与控制： 可控因子选择：温度：烘干温度(DryerT1/T2/T3/T4)；烧结温度(Firing T1/T2/T3/T4/T5/T6), 各温区对烧结起到特定的作用, 烧结区T4/T5/T6为影响烧结效果的主要因子,气流：温场控制气流,排风,冷却气流(确保温场无动摇,调理后反响滞后-小于2,设定)冷却水:确保冷却效果,设定时间：烧结炉经过时间(决议产量, 设定速度230inch/min) 噪声因子控制：片源：经过等份混片，保证片源一致；时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间；机台：保证途径一样；环境: 环境温度,冷却水温度,外围排风Case3 丝网烧结DOE实验-L9实验9

6、选取主烧结温度T4/T5/T6进展田口设计,生成L9实验方案,得到最正确温度组合Recipe5根据第一组实验结果,重新设计第二组实验方案,得到最正确温度组合Recipe5据第2组实验结果,进展T4/T5/T6的部分因子优化,得到各机台的最正确烧结温度第一组实验：第二组实验：Case4 前后清洗DOE-因子选择10因子选择与控制： 可控因子选择： HNO3：主要起氧化作用，起浓度直接决议氧化的速度，作为key factor； HF：主要起剥离氧化产物的作用，进而构成绒面，作为key factor； DI：直接影响HNO3和HF的浓度，作为key factor ； 过程变量控制：温度：坚持恒定；滚

7、轮速度：坚持恒定；流量：坚持恒定； Case4 前后清洗DOE-混酸设计对以上可控因子进展混酸设计：固定温度，滚轮速度，流量11Case4 前后清洗DOE-实验结果12最优配比为HF-0.26,HNO3-0.38,H2O-0.36(现用配比为HF-0.22,HNO3-0.43,H2O-0.35思索到现用配比落在21区域内，而最优拟合值输出结果为20.565，与目前反射率平均值21差别较小，因此配比不做调整。相关性趋势图下一步提效方向13降低Rs将对效率有显著提升下一步改善应想方法 降低Rs： 网版设计 浆料实验 PERS流程经过运用PERS流程,对一切主机台的制程才干目的进展验收,确保东区电池

8、顺利开线,主要分为两部分:恳求部分此部分主要是确定Qual Lot阶段和Risk Run阶段的评价工程,方法,规模,合格基准以及评价者;例如:评价部分此部分主要是根据开线时搜集整理的相关数据,提交报告断定恳求部分的评价工程能否可以验收;例如:SPC管控SPC管控体系：SPC报表正常工艺高方阻工艺对消费过程中的各种影响要素进展预防性的质量管理 ，确保制程情况处于稳定，制程控制才干逐渐提高SPC Control TableSPC相关SOP 工序规范化Golden Tool 选择 Phase1进展及终了后(6条线),选取各道工序的Golden Tool, 一切设备的参照Golden Tool进展 优化, 进展初次规范化工序设备匹配性验证 因C3采取非对线跑片,所以各机台之间的兼容性必需思索(分散与烧结的