SFJ231氦检质谱仪说明书

1、使用说明书SFJ-231/211系列氮质谱检漏仪皖仪科技目录一概述TOC o 1-5 h z1概述4二仪器介绍2-1仪器性能参数2-1-1SFJ系歹U性能参数52-1-2SFJ系列使用环境72-2仪器结构2-2-1仪器外观82-2-2内部结构及部件-92-2-3操作面板102-2-4夕卜部接口“112-3工作流程2-4-1系统示意图-132-4-2系统工作流程14三使用方法1开始使用（以喷吹法为例）3-1-1准备工作163-2基本操作说明2-1启动163-2-2开始/停止操作1833-K-SX233-4参数设定方法3-4-1参数设定（已音量设定为例）363-4-2调零（校容）373-4-3停机

2、斯电37- - -3-5标漏校准TOC o 1-5 h z3-5-1真空模式定标（夕卜置标漏模式）383-5-2真空模式定标（内置标漏模式）395-3吸枪模式定标39四维护1基本维护项目4-1-1漏率校准404-1-2机械泵保养404-1-3分子泵维护411-4质谱管及离子源清洗41五常见故障和处理5-142243六附录1氮质谱检漏仪的工作原理-456-2魚4谱漏仅的漏方式466-3常用单位的换算3-1压强单位的换算476-3-2漏率单位的换算476-4常用检漏方法6-4-1喷吹法确定漏孔位置486-4-2吸入法确定漏孔位置496-4-3钟罩法测总漏率506-4-4背压法测总漏率514-5辅助

3、真空系统52七售后服务1售后服务53第一章概述SFJ型氮质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氨质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氮质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氨作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：n科学研究n航空航天n汽车制冷n军事工业n分析仪器n发电厂n核工业n压力容器n精密机械加工n医疗仪器/仪表n真空炉、镀膜设备等装置或系统n高真空和超高真空的工程n半导体等行业SFJ型氨质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更梢确的检漏方案。 第二章仪器介绍2-1仪

4、器性能参数2-1-1SFJ-231/211性能参数n电源连接参数数值电源电压220伏10%电源频率50/60Hzn物理参数参数数值最大检漏口压强lOOOPa(SFJ-231)（粗检模式）800Pa(SFJ-211)最大检漏口压强12Pa(SFJ-231)（精检模式）20Pa(SFJ-211)辅助机械泵抽速（D8C）8立方米/秒预热时间三5分钟n真空法参数数值可检气体HE4粗检最小可检漏率（SFJ-231）1.0E-10帕立方米/秒精检最小可检漏率（S町-211）3.0E-12帕立方米/秒粗检最小可检漏率（SFJ-231）1.0E-10帕立方米/秒精检最小可检漏率（S町-211）5.0E-12帕

5、立方米/秒响应时间1秒测量范围1.0E-12-5.0E-3帕立方米/秒显示的测量单位mbarl/s,Pam3/s,atmcc/sn吸枪法参数数值-可检气体HE4粗检最小可检漏率（SFJ-231）1.0E-8帕立方米/秒粗检最小可检漏率（S町-211）1.0E-8帕立方米/秒响应时间（2米吸枪）2S以内测量范围1.0E-10-1.0E-3帕立方米/秒.显示的测量单位mbarl/s,Pam3/s,atmcc/s2-2仪器结构 2-1-2SFJ-231/211使用环境机型环境参数极限条件SFJ-231环境温度（C）050相对湿度80%最大工作电流（A）10彊人功率1000WSFJ-211环境温度（C

6、）050相对湿度广那hi-3-ot1pa.检漏口压力2.1E-G5）停止操作：当被测工件检漏完成，按下面板上的停止按钮，机器停止检漏。取下工件，完成工件检漏。如检下一工件，请重复以上操作。- - - #3-3参数设定3-3-1：报警值报警值设定画面:参数说明:报警值项目参数含义参数范围默认值上限值1报警值设定项1,当实际漏率值大于此值会有报警提示1.0E-01.0E-151.0E-10上限值2报警值设定项2,当实际漏率值大于此值会有报警提示1.0E-01.0E-151.0E-10上限值3报警值设定项3,当实际漏率值大于此值会有报警提示1.0E-01.0E-151.0E-10上限值4报警值设定项

7、4,当实际漏率值大于此值会有报警提示1.0E-01.0E-151.0E-10报警延时时间为了防止阀门切换造成误报警，设定此值按下检漏键等待此时间系统才将当前显示值和报警上限值进行比较0秒99秒3秒报警继电器是否允许上限值1,2,3,4的报警继电器输出允许/禁止禁止3-3-2音量音量项目参数含义参数范围默认值音最报警喇叭的音量03003-3-3标漏设定标漏设定画面- - - -参数说明:真空标漏设定项目参数含义参数范围默认值标漏类型选择校准所用标准漏孔的类型1.内部漏孔2外部漏孔带漏孔开关3.外部漏孔不带漏孔开关内部漏孔标漏漏率对应的真空校准漏孔的漏率大小1.0E-4l.0E-101.5E-8在

8、标漏设定画面各参数含义：n内部：系统将自动获取本底和信号并自动完成标漏定标。n外部HV：需要在待机模式下将标准漏孔打开并接到检漏口，进入校准设定画面按下标漏按钮，并在系统提示关闭漏孔时将漏孔关闭并按下确认按钮。系统将取样本底后自动完成标漏定标。n外部NV：需要在待机模式下将标准漏孔接入检漏口，系统将取样本底+信号作为标漏值，完成标漏定标。3-3-4吸枪标漏设定吸枪标漏设定项目参数含义参数范围默认值吸枪标准漏率对应的吸枪校准漏孔的漏率大小1.0E-ri.0E-74.6E-73-3-5滤波方式设定滤波设定画面滤波方式设定项目参数含义参数范围默认值滤波方式数字滤波的方式动态:信号稳定但响应速度略慢静

9、态:速度快但信号波动略大动态附注：动态滤波方式比静态滤波方式更能有效的提高机器抗干扰能力!3-3-6检漏模式设定参数说明:检漏模式设定项目参数含义参数范围默认值模式选择真空模式或者吸枪模式1.真空模式2吸枪模式真空模式3-3-7机器因数设定机器因数设定画面：参数说明:机器因数设定项目参数含义参数范围默认值真空模式此数值为显示值被放大的倍数2001.0吸枪模式此数为显示值被放大的倍数广2001.03-3-8单位设定单位设定画面：- - - #-参数说明:单位设定项目参数含义参数范围默认值漏率单位漏率显示所用单位Pa.m3/smbarl/satm.cc/sPa.m3/s真空单位真空度显示所用单位P

10、ambaratmPa3-3-9通讯设定通讯设定画面：参数说明:通讯设定项目参数含义参数范围默认值波特率串口通讯的波特率1.96002.192003.384004.1152009600通讯协议选择串行口的通讯协议MODBUS协议2.ASCII-aASCII-bMODBUS协议附注：当机器需要使用串口通讯功能时，该参数需设定。通讯协议改为:ASCII-a,波特率9600。3-3-10输出控制输出控制设定画面:真空值继电器输出设定项目参数含义参数范围默认值真空值继电器1模式检漏口真空值继电器输出模式高于设定值输出低于设定值输出低于设定值输出设定值对应输出模式下的设定值OlOOOmbar0真空值继电器

11、2模式检漏口真空值继电器输出模式高于设定值输出低于设定值输出低于设定值输出设定值对应输出模式下的设定值OlOOOmbar0真空值继电器输出使能是否允许真空值继电器的输出许止允禁L2.禁止3-3-11调零设定调零设定画面参数说明:调零设定项目参数含义参数范围默认值校零模式选择是自动调零还是于动调零动动自于L2.于动时间自动调零的延时时间，即开始检漏后延时此时间后自动调零099秒3秒本底刷新时间本底下降过程中，持续下降时间超过此时间方可记录此本底作为调零本底099秒3校零量级调零按钮按下后在当前显示的数据上扣除几个量级作为显示的最小值1:12：23：33附注：调零模式般用于检漏精度要求比较高的情况

12、下。- #- - #-3-3-12放气设定放气设定画面:参数说明:放气设定项目参数含义参数范围默认值放气模式选择停止时放气或不放气停止并放气停止不放气停止并放气附注：当被检工件体积比较大的时候，建议设定为停止不放气3-3-13精度设定精度设定画面:- - #- #-参数说明:检漏精度项目参数含义参数范围默认值检漏精度选择使用哪个中间阀门作为逆扩散口高（精检，检漏精度最高也要求检漏口真空度最好）中（细检，检漏精度较高也要求检漏口真空度较好）低（粗检，检漏精度较低但检漏口真空度可以比较差）4自动（根据检漏口真空度自动选择）自动附注：设定为高开V1,V4阀，设定为中开VI,V3阀，设定为低只开VI阀

13、。由于机器分了泵配置差异，各个设定有所不同！3-3-14显示范围显示范围设定画面：- - - #-参数说明:显示范围项目参数含义参数范围默认值真空模式真空模式下漏率允许显示的最小范围1.0E-01.0E-151.0E-12吸枪模式吸枪模式下漏率允许显示的最小范围1.0E-01.0E-151.0E-103-3-15外部控制外部控制设定画面:参数说明:外部控制项目参数含义参数范围默认值外部控制使能是否允许外部继电器开关直接控制检漏仪的工作状态止许禁允L2.禁止附注：当仪器需要用于其它控制系统进行统一操作时，可以通过通讯接口连接，对仪器进行外部控制，此时应设定为允许。详见：2-3-4接口设定3-3-

14、16系统继电器控制设定设定画面:参数说明:SYS继电器项目参数含义参数范围默认值系统状态继电器输出是否允许系统状态继电器的输出禁止允许禁止附注：当仪器需要用于其它控制系统进行统一操作时，可以通过通讯接口连接，对仪器进行外部控制，此时应设定为允许。详见:2-3-4接口设定3-3-17高级设定高级设定画面:- - #- #-参数说明:高级设定项目参数含义参数范围默认值LONG值进入长滤波方式的阈值1.0E-8l.0E-131.0E-09附注：此设定值为系统进入长滤波方式的门槛值，当仪器调零后波动很大时，可以把此值适当改大点！此设定值一般要比机器实际显示漏率要3-4参数设定方法3-4-1参数设定（以

15、音量参数设定为例）在待机状态下点击设定- #- - #-5s-S，-=2aaa-+-EEEE6001中7.00仁机待J空真值口值漏率漏星警标漏检音报进入参数设定列表窗口，如下图:主画面2TL毀疋01.报警值设定上）O.花.曰量设疋O03*.标漏设定下）O04-鹿滾方式设疋O05-检漏模式设定O06.机器因数设定- #- #- #- - - #-通过上j,下选择要设定的项目，按/确定/按钮进入具体参数设定画面:通过（上（下7,选择要修改的参数，然后按加,减来修改数值。修改完成后按（确定存储数据，如果要继续修改其他参数按（返回重新选择要设定的参数。如果设定完成按/主画面/返回监视窗I。其他参数的设

16、定与音量设定类似。3-4-2调零（校零）仪器处于检漏状态时，可按调零按钮扣除当前本底信号，使仪器指示的读数为绝对漏率。此检漏模式常用在检漏要求比较高的情况下！如果想返回到普通检漏模式界面，请长按调零3-5秒，界面将返回到止常检漏显示画面。调零显示画面如下图：I调零状态显示3-4-3停机断电检漏完成后确定仪器显示停机或待机状态下，将检漏口用专用堵头堵上即可，按下机箱后的电源按钮关闭电，拔出电源插头。注意/断电后需要等待40分钟以上才可移动仪器，否则可能损坏分子泵。3-5标漏校准3-5-1真空模式定标（外置标漏模式）在待机模式界面下，将标漏接到检漏口，仪器在待机状态下进入标漏设定训面（参考3-3-

17、3参数设定画面）。如下图：在画面上，按加,减使得真空标漏位置选项设定为夕/部NV方式。根据校准标漏上显示的数值，修改真空标漏值选项,所有参数设定完成后，按下按钮/真空标漏出现定标画面如下图:计时：0061.6E-08检漏口压力&3E70上喪定标值：129S8懐壽：等待信号稳定当前信号值：1诟S3定标完成后，仪器自动返回到主待机画面。此时按下/开殉按钮，可以验证机器显示漏率与标漏的漏率值是否致。上述操作完成后,按下停止取下外置标漏,- #- #- #- #- #- #-此时仪器可以止常工作了!- - #- #-3-5-2真空模式定标（内置标漏模式）当机器自带内置标漏时，定标方法与外置标漏模式定标

18、方法相同，把真空标漏位置选项设定为（内部。注意：内置标漏模式定标完成后，机器不具有验证机器显示漏率与标漏的漏率值是否一致的功能！3-5-3吸枪模式定标在待机模式下，将标准吸枪接入机器的检漏口，进入标漏设定画面，按上,下选择按钮选择吸枪标漏值，修改相应的标漏值。点击吸枪标漏进入，画面显示如下先将吸枪对准标准漏孔等待信号显示最大值并稳定后按下采集信号,然后将吸枪远离漏孔然后等信号下降至稳定值后按下采集本底完成定标。注意：吸枪定标时请确保周围环境中没有很强的氮气干扰源4-1基本维护项目4-1基本维护项目- - - #-维护漏率校准用户如果长时间不用或每天开机，每次开机后都要进行一次标漏校准。标准漏孔

19、属于易碎品，注意轻拿轻放！标准漏孔每年要送到专业部门校准！详细操作请参阅3-5-1标漏校准。1-2机械泵保养每隔段时间观测次机械泵汕面如图所示，确保起汕面在MIN与MAX之间，如果低于MIN则需要对机械泵加汕；如果汕为棕黑色或者很浑浊则需要对其换油。操作如下：n关闭仪器，打开外壳。n加油：拆下加汕孔堵头，然后将专用的机械泵油从此孔装入，注意不要超过MAX线，重新装好加油孔堵头即可。n换油：需要先将排汕孔堵头拆下，将泵内脏汕放尽，然后将排汕孔堵头重新装好，然后重复加油动作即可。5-1常见故障和处理5-1常见故障和处理 4-1-3分子泵维护分子泵属于精密机械，搬运时注意轻拿请放，注意泵体内部要保持

20、洁净，如果不慎进入污垢要及时对其进行清洗，清洗时要用专门的清洗液和工具！分子泵的维护的需要在专业人员指导下才能对其进行相关操作，如果发现有他人私自损害现象，本公司不承担后果！4-1-4质谱管及离子源清洗质谱管和离子源属于精密部件，一旦内部遭到污染，可能会彫响实际的检漏效果。所以平时要注意对其保护。在检工件时，要尽量保持工件内部干净，一旦发现机器检漏效果不好时，或者信号有明显异常时，请及时联系厂家或相关人员！质谱管和离子源的清洗需要专门的工具和清洗液，同时需要专门人员对其操作!五常见故障和处理故障分类故障现象检査和推除方法电源开机后无显示机械泵不运转散热风扇不转电源插座有无220V电源输入插头与

21、插座是否接触良好电源开关是否接通保险管是否损坏开机后无显示机械泵不运转检査电气盒中变压器是否接头是否松动检查到显示模块连接线是否松动风扇风扇不转检査风扇是否正常检査风扇插座是否松动机械泵开机后有显示，机械泵不转检査机械泵电源检査机械泵开关机械泵响声不正常检査机械泵各连接卡箍检査检漏口是否密封检査机械泵油而及污染情况机械泵不0K检査机器是否有大漏检査控制板是否连接正常分子泵分子泵不0K检査分子泵电源接头是否连接正常检査分子泵信号线是否连接正常检査分子泵各接口是否连接好检査控制板是否连接正常显示显示错误，无显示检査显示接口线是否连接正确检査主板跳线是否连接正确检漏口真空检漏口真空抽不下去检査电磁阀

22、V2是否打开机械泵是否工作正常机器是否有大漏检漏口皮拉尼是否工作正常灯丝离子源灯丝不加电检査分子泵是否工作正常检査离子源插座是否插紧检査灯线板是否连接正常离子源反复加电检査离子源灯幺幺是否氧化检査离子源插座是否连接正常灯丝板有问题定标不正常定标时报警检査V5阀是否打开检漏功能不正常按下检漏键仪器报警仪器阀体有漏主板保护点没设定好VI阀打开不正常或者没打开- - - #按键按键不起作用检査按键是否损坏按键接线是否接好了按键不起作用仪器不停的鸣叫检査是否有按键一直按下说明如果出现上表未列出之故障，请与生产商或经销商联系2错误代码及其推除错误代码含义原因检查排除E01灯统保护1:检漏过程中检漏口压力

23、波动造成保护2：检漏时，突然有大漏出现！请重新启动E02标漏时重复抽空次数过多1：检漏口压力抽不下，检漏口未接好或者漏孔故障2：V2阀没打开或打开不完全1:检査检漏口大漏，检测漏孔2：检査V2阀E03标漏超时，无法获取信号标漏时检漏口真空抽不下来内部/外部标漏没接好E04定标超时，无法获取本底信号定标信号一直很大，或者标漏阀V5关不紧检査标漏阀是否能正常关闭E05真空模式定标时，本底和信号差值过小标漏失效或者灯幺幺老化告知生产商E06真空模式定标时，本底大于信号标漏失效或者灯幺幺老化告知生产商E07吸枪模式定标时，本底和信号差值过小环境中氮气本底太高或者标漏失效及灯丝老化等待环境中本底下降后再

24、标漏，或告知生产商E08吸枪模式定标时，本底大于信号环境中氮气本底太高或者标漏失效及灯丝老化等待环境中本底下降后再定标或告知生产商E09标漏时阀门切换次数过多标漏有接触不好或者标漏损坏检査标漏E10检漏口传感器值过小检漏口传感器接触不好或者损坏检査检漏口真空规管Ell检漏时重复抽空次数过多检漏口压力抽不下，被检工件有漏或检漏口未接好检査检漏口或检査工件有无大漏E12检漏时阀门切换次数过多检漏口真空无法稳定或者工件过大请将检漏精度设到“低”如果无法解决请告知生产商E13机械泵进气口压力过高大气冲入重新启动E14机械泵进气口压力波动电阻规管接触不良检査电阻规管E15灯丝无法加电灯丝断路或者接触不好

25、检查离了源E16启动超时分子泵无法正常加电检查分了泵E17V2打开时，大气突然冲入检漏口的彼检件突然掉落重新启动，接好工件E18V3/v4打开时，大气突然冲入6-1氮质谱检漏仪的工作原理6-1氮质谱检漏仪的工作原理 # #六附录氨质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氨气作探索气体制成的气密性检测仪器其质谱原理如图所示。氨质谱检漏仪的质谱学原理灯丝发射出來的电了在电离室内來回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氨气相互碰撞使其电离成止离了，这些离了在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径式中R离于偏转轨道半径（cm）B磁场强度（T）离子的质（量）/（电）

26、荷比（正整数）ZU离子加速电压（V）由上式可知，当R.B为定值时，改变加速电压可使不同质量的离了通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。6-3常用单位的换算6-3常用单位的换算- - -6-2氮质谱检漏仪的检漏方式- -氨质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，种为常规检漏，另种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。s町型氮质谱检漏仪为逆扩散型。逆扩散检漏是把被检件接在分了泵出气口端，漏入的氨气由分了泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这检漏方式是某于分了泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分了泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原

27、理逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,261型氨质谱检漏仪可达1000Pa（般常规检漏仪为0.IPa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。3-1压强单位的换算PaTorrmbarbaratm1Pa10.75X10_:0.0110-50.99X1051Torr13311.331.33X1031.32X10-1mbar1000.751IO-50.99Xl(r1bar10s750100010.991atm1.013X10576010131.01316-3-2漏率单位的换算Pam3/sTorrL/SmbarL/SatmmL/S1Pam

28、3/s17.5109.91TorrL/S0.13311.331.321mbarL/S0.10.7510.991atmmL/S0.1010.761.0116-4常用检漏方法6-4常用检漏方法- - -6-2氮质谱检漏仪的检漏方式- #-检漏的目的是确足被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用些标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质來决定。根据不同的检漏目的，基本上有五种检漏方法。6-4-1喷吹一确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氨气。当有漏孔存在时，氨气就通过漏孔进入质谱管被检测。下图是喷吹法原理示意图。仪喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下來的情况，可能要加辅助真空设备。- #- -6-2氮质谱检漏仪的检漏方式- #-6-4-2吸入一确定漏孔位置检漏仪又称吸枪检漏，如图1-5,将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则