CF洁净室温度提升节能效益评估报告

1、 CF洁净室温度提升节能效益评估 目录一、背景说明二、节能因数分析三、节能效果估算四、执行计划及风险五、需协调事项一、背景说明洁净室温度要求232，一般控制在23。近一周中控室显示CF分厂平均温度（22.82 23.15）如下图：如在目前基础上将洁净室温度提高1（仍满足232 ，B1做过类似项目），将对减少空调能耗产生多少效益？-本次主要对此做专题说明。二、节能因素分析1、洁净室气流示意（MAU风量=Exhaust+正压泄漏量）DCC：温度DCC：温度MAU：新风、正压、湿度FFU：洁净度、循环动力洁净区：232，555%Exhaust：制程排气二、节能因素分析2. 洁净室温度提升1对空调能耗

2、的影响因素分析 机环4.室内温度上升，墙体传热量变化1.MAU送风露点变化洁净室温度提升12.EXH排走的空气温度变化5.室内温度上升，生产机台等的发热量变化3.洁净间正压泄漏的空气温度变化二、节能因素分析3. 影响因素分析进一步分析 类别影响因素影响分析结论机1.MAU送风露点变化CR内温度提升，要保持相对湿度保持不变，空气中含湿量增大。MAU送风露点需要对应提高。夏季外气含湿量大，空调除湿量减少（节省低温冷冻水用量）；冬季外气含湿量小，空调加湿量增加（多耗热水、RO水）。夏季：能耗减少冬季：能耗增加机2.EXH排走的空气温度变化CR内温度提升，EXH系统排走的空气温度升高，利于产线热量排出

3、，节省DCC的冷冻水消耗量。能耗减少环3.洁净间正压泄漏的空气温度变化CR内温度提升，正压泄漏的空气温度温升高，利于产线热量排出，节省DCC的冷冻水消耗量。能耗减少环4.室内温度上升，墙体传热量变化CR内温度提升，夏季室内外温差变小，室外透过墙体传到室内的热变少，节省DCC的冷冻水消耗量；冬季室内外温差变大，室内透过墙体传到室外的热变大，节省DCC的冷冻水消耗量。能耗减少环5.室内温度上升，生产机台等的发热量变化在过程中生产机台产生的热量没有变化无影响三、节能效果估算MAU送风露点升高影响估算 洁净室温度上升1，相对湿度保持不变（CF 55%）。对应需要提高MAU送风露点0.93。夏季少耗冷，

4、冬季多耗热。23 55%23 60%24 60%24 55%冬季夏季MAU除湿耗冷MAU加湿耗热三、节能效果估算分厂MAU总风量(万CMH)MAU送风露点变化（）露点变化量（）MAU空气处理焓值变化（kj/kg）焓差（kj/kg）能量变化(kW)CF12013.32-14.250.9337.470-39.9472.477990.8能量变化（kW）：Q= Vh /3600（为空气密度取=1.2 kg/m，V=风量， h=焓差） 按设计（满产）风量CF洁净室温度上升1，MAU处理空气后出风焓值变化如下：夏季模式每小时可节约低温冷冻水：990.8KW=281.7RT冬季模式每小时多耗kW热量：990

5、.8KW冬季模式每小时多耗RO水：备注： 1.低温冷冻水按0.65元/RT计算； 2.热水按热回收水0.045元/kW计算。 3.RO水按0.006元/kg计算。 按重庆气候条件，一年中MAU将在夏季模式下运行6个月可节费（281.7RT*0.65元/RT*24小时*30天*6个月）791,013.6元，冬季模式下运行4.5个月多消耗（990.8kW*0.045元/kW*24小时*30天*4.5个月）144,458.6元。冬季模式下运行多消耗RO水费（864*0.006*24小时*30天*4.5个月）16,796.2元。满产时一年运行可节约费用： 791,013.6-144,458.6-16,

6、796.2=629,758.8元分厂MAU总风量(万CMH)MAU送风露点变化（）露点变化量（）空气绝对含湿量（g/kg）含湿量差值（g/kg）水量变化(kg)CF12013.32-14.250.939.6-10.20.6864水量变化（kg）：M= Vm /1000（为空气密度取=1.2 kg/m，V=风量， m=含湿量差值） 三、节能效果估算能量变化（kW）：Q= c Vt /3600（C为空气比热 C=1kj /kg，为空气密度取=1.2 kg/m，V=风量， t=温度差） 2. Exhaust排气、洁净室正压泄漏影响计算： 因MAU送风量= Exhaust排气量+洁净室正压泄漏量，若洁

7、净室温升1，排走空气也温升1。满产时每小时可帮助DCC带走热量计算如下： 每小时可节约DCC中温冷冻水： 400KW=113.7RT 洁净室内全年需制冷，满产时一年运行可节约费用： 113.7RT*0.54元/RT*24小时*365天=537,846.5元分厂MAU总风量(万CMH)洁净间温度变化（）能量变化(kW)CF12023-24400备注：1.中温冷冻水按0.54元/RT计算.三、节能效果估算3. 墙体传热影响： 此部分影响较小，难于估算，且无不利影响。故不做计算。 估算结果： 满产时一年可节费629,758.8+ 537,846.5 =1,167,605.3元。目前MAU风量大约在50%60% 。预计一年可节费70万。 四、执行计划2. 执行方式 通过调整DCC出风温度实现，并同时上调MAU出风露点。调整完成后观察1个月后结案。进度计划负责人主担当：冯文卯窗口：朱海能耗数据整理：潘德坤4/4调到23.35/18提出结案报告4/11调到23.74/18调到24.01. 时间计划 本周与各工厂、PQE做确认，下周开始执行 3. 执行风险 a. 温度变化可能对制程产生影响； b. 温度从23 上调到24 后仍要控制在25以下，对空调温度控制精度要求更高。五、需协调事项1. 工艺部门 请工艺部门