《验收标准》word版

1、驗 收 標 準測試項目：無塵室之性能測試與驗證，除按照下述要求外，若有遺漏不詳盡敘述之處，仍須依照FED 209 E及IES-RP-CC006.2之測試標準作驗證。DescriptionAs-BuiltAt RestOperationAir Velocity Of Ceiling FiltersXXAir ParallelismXXCleanlinessRoom PressurizationXXAir LeakageXXTemperature/HumidityNoiseXVibrationXIlluminationXXStatic ElectricityXXAir BalanceX說明：1.

2、：須執行。2.：檢測數據僅供參考。3.X：不須執行。4.微震(Vibration)測試之測量時機為無塵室建造前及建造完成後而製程設備尚未移入前(As-Built)標準值(氣流速度)Air Velocity of Ceiling Filters此檢測計畫在於確認天花板過濾器出口風速是否合乎規範要求。檢測儀器經校正合格有效期一年內之Thermal Anemometer測試，於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格文件。檢測方法檢測點檢測點位於過濾器下方100處，且每一過濾器取六點測試。檢測儀器檢測時須以適當之架台支橕或延伸架固定。每一檢測點須至少維持10秒。驗收標準每一過濾器出口風速須符合設計之規格正

3、負20%內。潔淨度(Cleanliness)此測試在於證明潔淨度合乎無塵室規範要求。檢測儀器Laser particle counter 0.3m1cfm檢測儀器須經校正合格且一年內者，於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格文件。檢測方法每一無塵室潔淨度均須以Laser particle counter檢測。檢測點將每一無塵室分割成數個9m2之區域供測試，而測試點位於9m2區域之中心點，高度為高架地板地板起1,100高度，每一檢測點測試時間為一分鐘。檢測儀器檢測時須以適當之架台支橕或以延伸架固定。驗收標準FS 209E落塵控制量清淨度(級數)測定粒子(m)0.10.20.30.55.01357.

4、531NA10350753010NA100NA750300100NA1,000NANANA1,000710,000NANANA10,00070100,000NANANA100,000700潔淨室各階段檢測標準清淨度(級數)測定粒子(m)AS-BUILTAT-RESTOPERATING10251010020501001,0002005001,00010,0002,0005,00010,000100,00020,00050,000100,000室內壓力(Room Pressurization)此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態。檢測儀器檢測儀器須經校正合格且有效期一年內者，使用05.0m

5、mAq刻度型壓力計或數字型壓差計均可，測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件。測試方法檢測點檢測點取每一無塵室地板上方1,100高處測試兩分鐘。室外大氣壓力假設為0.0 mmAq壓力。於As-Built階段正常動作下之排氣系統排氣量調整為平衡狀態。驗收標準壓力測試結果須較規範值高020%。過濾器洩漏(Filter Leakage)此測試目的在確保所有安裝在天花板格柵系統之過濾器絕無洩漏情形。檢測儀器檢測儀器採Laser particle counter 0.3m1.0cfm其須經校正合格且有效期為一年以內者，於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格之文件。檢測方法於室溫、濕度、室壓及空氣流速等均合

6、乎規範之條件下調整空氣系統至平衡狀態。以過濾器下方100處作為取樣空氣點，取樣探針須全面掃描過濾器是否洩漏，取樣探針掃描速度須50/sec，而每一過濾器掃描時間為八分鐘，取樣探針之取樣直徑38。過濾器四周可以塑膠覆蓋以確保不洩漏。驗收標準於無塵室內，洩漏量不得大於10pcs/min (0.3m particle)。溫度及濕度(Temperature and Humidity)此項檢測係確認無塵室內溫度及濕度均在要求範圍內。檢測儀器檢測精確能力可達0.1之電子溫度計或同級品。檢測精確能力可達0.5之電子濕度計或同級品。上述檢測儀器均須校正合格且在有效期一年內者。測試前或交付報告時均須檢附校正合格

7、文件。檢測方法無塵室內每區取一點並位於地板上方1,100之高度處。每一檢測點至少須測試15 MIN。特殊檢測於As-Built階段時，乙方須準備並提供48小時之溫度、濕度連續監控數據。驗收標準檢測及監測數據均須在規範要求範圍內。噪音值(Noise Level)此項測試在於確認無塵室之噪音值係控制在甲方期望之範圍內。檢測儀器含octave band analyzer、sound level meter及適當之支撐座，且這些儀器均須校正合格並在一年內有效期內。測試前及交付報告時均須檢附校正合格文件。檢測方法檢測點每區無塵室取6點或室面積小於40m2者取1點且地板上方1,100之高度處，確實檢測點爾後再行訂定。唯有在無塵室內空氣流速、流量、潔淨度、室內溫度、濕度均在規範要求範圍內且HVAC處於正常運轉之情形下方可實施檢測。驗收標準室內噪音度須65dB(A) 。震動(Vibration)此檢測係確保無塵室之建造不影響甲方之抗震需求。檢測儀器適合檢測加速度及位移之低頻及可變波段震動儀器。測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件。檢測方法檢測位置係位於地板面 + 0處。檢測時機：二次，一次於無塵室施工前，一次於As-Built階段。驗收標準此部份僅供業主參考。照明(Illumination)此項檢測係確保照明均符合規範要求。檢測