GB∕T 40300-2021 微束分析 分析电子显微学 术语

ICS7104040

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准

GB/T40300—2021

微束分析分析电子显微学术语

Microbeamanalysis—Analyticalelectronmicroscopy—Vocabulary

ISO159322013MOD

(:,)

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T40300—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

缩略语

3……………………1

分析电子显微学物理基础术语

4…………2

分析电子显微镜仪器术语

5………………5

分析电子显微术试样制备常用术语

6……………………10

分析电子显微术成像和像处理术语

7……………………11

分析电子显微术像诠释和分析术语

8……………………13

分析电子显微术像放大倍率和分辨率测量与校准的术语

9……………16

分析电子显微术电子衍射的术语

10……………………18

参考文献

……………………20

索引

…………………………21

GB/T40300—2021

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件修改采用微束分析分析电子显微学术语

ISO15932:2013《》。

本文件与相比增加了第章规范性引用文件

ISO15932:2013,2。

本文件做了以下编辑性修改

:

章编号改为章编号分别修改为

———01,1、2、3……83、4、5、6……10;

与重复本文件删去了将改为

———9.95.2.1,9.9,9.109.9;

在参考文献中用与国际文件有一致性对应关系的我国文件代替国际文件调整了文献顺序

———,;

增加了索引

———。

本文件对有误之处进行了更正主要更正如下

ISO15932:2013,:

更正了缩略语和的定义

———“EDS”“EDX”;

缩略语的定义增加了显微分析仪

———EPMA“”;

缩略语的定义增加了扫描电子显微镜

———SEM“”;

删掉了定义中动量守恒的含义

———4.2.1“”;

删掉了定义中的系统及和或动量

———4.2.2“”“/”;

定义中的静电场更正为电位差

———“”“”;

定义中的理想柱面透镜更改为理想透镜

———“”“”;

删去了定义中的绕光轴的旋转对称性

———5.4.2“”;

定义中的试样与形成衍射花样的平面更正为试样与衍射花样被观察平面经中间镜和

———5.7“”“(

投影镜放大之间

)”;

的定义更改为同时向试样双面或单面喷射

———6.4“……”;

定义中的在观察中更改为在电子显微镜观察中

———6.10“TEM”““;

定义中的用环形暗场探测器接收一支衍射束更正为用环形暗场探测器接收一支或多

———7.6“”“

支衍射束

”;

定义中增加了质量厚度加了注

———8.3“”,;

将来源有修改修改为来源有修改

———8.6.5“[:ISO22493,]”“[:ISO23833,]”;

定义中的更正为

———8.6.8EDSEDX;

定义中的更正为

———8.6.9EDSEDX;

增加了注

———8.12.1;

定义中的相机常数更正为放大倍数

———9.2.2“”“”;

定义中的探针尺寸更正为点光源像

———9.7“”“”;

定义中的垂直堆垛的两个晶体中发生两次布拉格衍射更正为晶体中的一次衍射

———“”“

束再次发生布拉格衍射

”;

更正了会聚束的概念

———10.3.6。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本文件起草单位北京科技大学南昌大学中国科学院金属研究所

:、、。

本文件主要起草人柳得橹汤斌兵贺连龙

:、、。

Ⅰ

GB/T40300—2021

引言

分析电子显微学是应用透射电子显微术和扫描透射电子显微术对固态物

(AEM)(TEM)(STEM)

质微小体积的晶体结构元素组成和电子态进行定性定量测定的技术及其相关理论分析以电

、、。AEM

子激发射线能谱和电子能量损失谱的物理机制为基础并通过微衍射提供微区的结构信息

X(EELS)、,

同时具有高分辨成像能力

。

作为微束分析的一个主要分领域广泛应用于各行各业高技术工业基础工业冶

(MBA),AEM(、、

金地质生物和医学环境保护贸易等而且具有广泛的业务环境进行标准化

、、、、),。

一个技术领域的术语标准化是制定该领域其他方面标准的先决条件

。

本文件对于需要用词汇的国际科学和工程群体具有重要意义这些词汇包含与

AEM,MBATEM

和相结合的实践中所应用术语的统一定义

STEM。

本文件是微束分析研制的一系列标准之一这些标准包含扫描电子显微术术语

ISO/TC202(),

电子探针显微分析术语和能谱法定量分析等其中有的已经发

(ISO22493)、(ISO23833)(ISO22309)。

布有的仍在研制中以便完全覆盖领域

,,MBA。

Ⅱ

GB/T40300—2021

微束分析分析电子显微学术语

1范围

本文件界定了在实践中所用的术语包含一般概念和特定概念的术语按照系统顺序中各

AEM。,

自的层次分类

。

本文件适用于所有和实践相关的标准化文件此外本文件的某些部分适用于相关领域如

AEM。,(

通用术语的定义

TEM,STEM,SEM,EPMA,EDX)。

注见在线浏览平台

:ISO(OBP):/obp/ui/

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3缩略语

分析电子显微镜分析电子显微术

AEM/(analyticalelectronmicroscope/analyticalelectron

microscopy)

会聚束电子衍射

CBED(convergentbeamelectrondiffraction)

电荷耦合器件

CCD(charge-coupleddevice)

阴极射线管

CRT(cathoderaytube)

射线能谱仪

EDSX(energy-dispersiveX-rayspectrometer)

射线能谱法

EDXX(energy-dispersiveX-rayspectroscopy)

电子能量损失谱仪电子能量损失谱术

EELS/(electronenergylossspectrometer/electronen-

ergylossspectroscopy)

电子探针显微分析电子探针显微分析仪

EPMA/(electronprobemicroanalysis/electronprobe

microanalyser)

快速傅里叶变换

FFT(fastFouriertransform)

聚焦离子束

FIB(focusedionbeam)

谱峰半高宽

FWHM()(fullwidthathalfma