单晶巡检SOP作业指导书培训

1、制作人：孟康制作人：孟康主要内容主要内容 1.概述 2.单晶工艺流程 3.单晶IPQC日常规范及要求 4.异常的处理及反馈概概 述述1、目的：为了能更好、更快地了解与适应单晶IPQC的工作职责与工作规范，特制定了此培训与指导资料2、整个单晶作业流程包括引晶，放肩，等径，收尾等重要环节。为整个生产重要的环节。了解并熟知有祝与我们更好的服务于生产车间3 、品质管理的定义：希望以最经济的方法生产出让客户满意的产品4 、制程检验的目的：于大量生产型的工厂中、及时发现不良，采取措施，可以防止大量不良品的发生；针对品质非机遇性之变因，于作业过程中加以查核，防止不良品的产生。如查核作业流程是否更动、新手对于

2、作业标准（合法）是否了解、机器、模具是否正常，作业条件有无变动；通过检验事实，不让制程的不良品流入次工程5、制程检验的做法：制程检验最有效，成本最低的应是由品管人员实施巡回检验；使用查核表作记录；查核项目除了在制半成品，应该包括可能造成品质变因之作业因素；查核项目、查核方法、时间频度应事先涉及于查核表上6、检验的重点：该制程的检验员为了有效控制制程，使不良率不会因异常的制程原因而升高，对于不稳定的因素应事先了解掌握，并做重点控制，不稳定因素包括：a、该品以前，生产曾有异常，有不良较高的记录；b、使用机器不稳定；c、IQC有材料不甚理想的物品；d、新导入量产品额；e、新的操作人员(简要概括为：人

3、、机、料、法、环）7、品质异常的反馈与处理单晶工艺流程单晶工艺流程作业准备热态检漏取单晶和籽晶石墨件取出冷却真空过滤器清洗真空泵油检查更换石墨件清洗单晶炉室清洗石墨件安装石英坩埚安装硅料安装籽晶安装抽空、检漏充氩气、升功率、熔料引晶、缩颈、放肩、转肩等径生长收尾降功率、停炉冷却单晶工艺重要环节单晶工艺重要环节 A. 作业准备 B. 石墨件清洗 C. 石墨件安装 D. 硅料安装 E. 抽空检漏 F. 引晶，缩颈，放肩，转肩 G. 等径生长 H. 收尾A.作业准备作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。c. 准备好一次性洁净手套

4、、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。f. 用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。B.石墨件清洗石墨件清洗a. 石墨件必须在指定的清洗室进行清洗，准备好清洗用品(吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、除硅粒的专有工具、放石墨件的洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环境。b. 依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物，沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨后再

5、吸尘清洗。C. 清洗时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有损坏及粘硅要及时更换和处理。d. 操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。e. 清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要稳当。 f. 清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及周围环境。 C.石墨件安装石墨件安装a.清洗后的石墨大件安装（一般清洗后的石墨大件安装（一般3炉做一次）。炉做一次）。1.清理完毕的石墨大件不锈钢小车移到单晶炉旁边，移动过程要稳当。2.依次装好石墨电极、炉底碳毡、炉底压片、下保温罩，两侧排气管、炉底上压片下小石墨碳毡，炉底上压片、埚杆护套、电极护套、石英电极环。安装电极时检查接触面

6、是否平整，上下接触面要放一层石墨纸，防止热场打火 3.将清洗后的加热器装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，不然要引起热场打火，并盖上石墨螺丝盖。4.将清洗后的中保温罩装好，卡口接到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致，否则需调整好。5.炉筒复位，打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的纸巾擦洗下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时转动炉筒到适当位置。6.按炉筒降，炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。7.安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好 8.将清洗后的上保温罩装好，并卡口接到位。9.做好加热器厂家，使用炉次的相应记录。b.清洗后石墨小件安装清洗后石墨小件安装 1.用

7、专用工具装好埚杆。一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。2.依次装好埚底、三瓣埚。安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合，要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器。3.装好后要打开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距上否一致。若不一致，需及时调整。 D.硅料安装硅料安装a.取来装料不锈钢车，硅料及母合金，仔细核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物和母合金实物一致，若有异常及时处理并报告班长或主任 b.更换装料用的手套，如有母合金先放入石英坩埚。再将碎料、小料平铺在埚底 c.将大块料放置中央，用中型料放于大料四周上方左右予以固定，间隙中放入小硅料。装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止碰撞

8、石英坩埚，不要使料掉在保温罩的缝隙，以免造成打火。d.装料时注意不要使料探出石英坩埚，否则会在熔料过程中引起硅液流下，损坏石墨件，甚至焖炉。e.装料完成后打开埚转旋转一下，确认四周间隙一致，再快速将埚降至下限。停止旋转。f.埚上部、加热器上部、保温罩上部再用干净吸尘刷吸净浮尘及硅渣。 g.依次装好保温盖、导流筒。安装保温罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅料发生接触时要调整硅料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。 E.抽空检漏抽空检漏a.打开真空泵电源。b.缓慢打开主室球阀。c.抽空后炉内压力达到20Pa 时，进行反复充氩气使炉内压力3Pa。 d.待炉内压力3Pa后，关闭主室球

9、阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏，要求炉子漏气速率0.2Pa/min，则需重复a、b、c、d步进行抽空检漏，若仍不合格报告维修人员处理。并进行相应记录。F.引晶，缩颈，放肩，转肩引晶，缩颈，放肩，转肩a.稳温稳温 烤晶烤晶1.温度切入自动后，籽晶快降降至主观察窗能看到的位置，打开晶转8r/min。埚转6min2. 20min后，将籽晶快降降至距硅液面10mm处预热20分钟3. 预热20min后，降籽晶使之与硅液面接触，浸润20分钟，熔去籽晶较细的部分，根据接触光圈的形状，确定引晶温度是否合适。4.若合适开始引晶；若不合适，通过欧陆表调整温度30min后开始引晶，（若投料75kg，调整温度后稳定

10、1h后开始引晶）温度不宜偏低，每次调整的幅度不宜过大。5.若温度不稳，可适当调整埚位5mm，或适当调整欧陆值，延长稳定温度的时间。F.引晶，缩颈，放肩，转肩引晶，缩颈，放肩，转肩 b.引晶引晶1.打开晶升，计长归0，缓慢提升拉速至1.5mm/min左右先缩颈约10 mm后， 2.再提升拉速让拉速保持在2mm/min5mm/min之间，引晶直径控制在3mm左右，长度不低于150mm3.引晶过程中若温度不适合则重新进行欧陆表温度的调整，但不宜过大 ，重新进行引晶。F.引晶，缩颈，放肩，转肩引晶，缩颈，放肩，转肩c.放肩放肩1.引晶长度达到150mm后，将拉速缓慢降至1.4mm/min2.待放肩直径

11、达到25mm左右时，通过欧陆表进行第一次降温。3.10min后将拉速缓慢降至0.4mm/min，4.30min后，通过欧陆表进行第二次降温，5.降温过程分两次完成，若晶体长势出现异常，可以随时通过欧陆表调整，保证放肩晶体长势平滑，斜角与水平面成30左右F.引晶，缩颈，放肩，转肩引晶，缩颈，放肩，转肩d.转肩转肩1. 6吋单晶，放肩直径达到1502mm时，将拉速缓慢提到2.02.5mm（6.5吋单晶，放肩直径达到1652mm时，将拉速缓慢提到1.72.2mm）进行转肩。2. 观察单晶的生长速度调整拉速，待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速同时适当给定埚跟随动3. 计长清零，调整拉速到1.2mm/m

12、in，且拉速波动控制0.2mm/min 4. 调整伊尔根使其压单晶光圈1/31/2之间位置，直径信号为500左右5. 观察单晶稳定生长20mm ，将计算机切入自动控制拉晶状态G.等径生长等径生长1.等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔10分钟对炉内巡视1次，确认有无异常，每隔1小时对炉内晶体测量一次直径，并作拉晶记录2.正常等经中，E值应控制在30，若变化超出范围，观察5min内未恢复，可以手动干预Tr值进行调整，若10min内未恢复，要将直径退出自动，手动拉晶，直到长晶稳定方可再投入自动。3.等经过程中，若OP值变化过大，可检查晶体生长曲线参数（参数为1.0）是否过大4. 根据情况的不

13、同，等径至硅料液面下降到石英坩埚内径变小处时（应该适当增大埚升随动。H.收尾收尾1.当晶体长度达到预定长度（根据埚内实际剩料多少计算，可参照附录C晶体收尾长度参考表）时，或断棱需要收尾时，退自控，缓慢停止埚升进行收尾。并做好相应记录。2.要经常查看收尾情况，对拉速和温度做适当调整。3.正常收尾长度应为晶体等径直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入R降功率、停炉冷却工序。1.对车间卫生、劳动纪律进行监督；2.检查各工序工艺要求执行情况，并督促车间改进；3.对需要跟踪的炉台（试投炉台、实验炉台）数据及时反馈到给直属领导4.对车间发生的重大异常及人为异常及时开出异常单并跟踪5.对近期的未闭环异常

14、进行重点稽查；6.对近期经常出现的人为异常重点跟踪7.对班长交代的内容及时跟踪并汇报8.定期向直接上级汇报工作情况9.每周提交工作总结和学习计划。单晶单晶IPQCIPQC日常规范及要求日常规范及要求异常的处理及反馈异常的处理及反馈a.a.操作人员违反工艺的处理与反馈操作人员违反工艺的处理与反馈1.巡检在巡查时，若发现有操作人员违反操作工艺，应立即进行制止并要求其改正2.若操作人员不配合工作，巡检应立即向生产当班班长进行反馈并要求其现场纠正3.以文字的形式公平公正的将违规员工违规操作反馈与其主任b.b.本班异常的处理及反馈本班异常的处理及反馈1.交接班时将本班发生的异常将书面形式书写2.将本班未处理/跟踪完的异常与下个班交接清楚3.本班发生的重