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文档简介
1、 1938年,德国工程师克诺尔和鲁斯卡制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。 电子显微镜的分辨率可以达到纳米级(10-9m)。可以用来观察很多在可见光下看不见的物体,例如病毒。Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988)1952年,英国工程师Charles Oatley制造出了一台扫描电子显微镜(SEM)。Charles Oatley电子显微镜下的蚊子电子显微镜是根据电子光学原理,用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜,使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示分辨率。 SEM工作原
2、理工作原理: SEM的工作用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信n主要优点:主要优点:景深长,所获得的图像立体感强, 可用来观察生物样品的各种形貌特征。图像图像:立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 染色体 染色体 被精子包围的卵子骨髓细胞 SARS AIDSn依据性能不同主要分为:n(1)一般)一般SEM 目前一般扫描电镜
3、采用热发射电子枪,分辨率为6nm左右,若采用六硼化镧电子枪,分辨率可提高到45nm。我校有这样的设备。(2)场发射电子枪)场发射电子枪SEM 由于场发射电子枪具有亮度高、能量分散少,阴极源尺寸小等优点,这种电镜的分辨率已达到3nm。场发射电子枪SEM的另一个优点是可以在低加速电压下进行高分辨率观察,因此可以直接观察绝缘体而不发生充、放电现象。(3)生物用)生物用SEM 这种SEM备有冰冻冷热样品台,可把含水生物样品迅速冷冻并对冰冻样品进行观察,可以减少化学处理引起的人为变化,使观察样品更接近于自然状态。如要观察内部结构,还可用冷刀把样品进行切开,加温使冰升华,并在其上喷镀一层金属再进行观察,所有这些过程都在SEM中不破坏真空的状态下进行。特征X射线n特征特征X射线射线n 特征X射线是原子的内层电子受到激发之后,在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。一一.开机开机1.打开循环水开关(位于走廊处,将开关按到打开循环水开关(位于走廊处,将开关按到“1处);处);2.打开稳压电源开关(位于最右处,将开关向上推);打开稳压电源开关(位于最右处,将开关向上推);3.打开打开SEM 钥匙开关(轻轻右转至钥匙开关(轻轻右转至“START”再向左返回至再向左返回至中间中间“ON”处);处);4.打开打开SEM电脑;电脑;5.打开能谱工作
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