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1、20141第第2章章 电阻式传感器电阻式传感器 电阻式传感器就是利用一定的方式将被测量的电阻式传感器就是利用一定的方式将被测量的变化转化为敏感元件电阻值的变化,进而通过电路变化转化为敏感元件电阻值的变化,进而通过电路变成电压或电流信号输出的一类传感器。可用于各变成电压或电流信号输出的一类传感器。可用于各种机械量和热工量的检测,种机械量和热工量的检测,如:力、位移、速度、如:力、位移、速度、加速度、力矩、重量等,加速度、力矩、重量等,它结构简单,性能稳定,它结构简单,性能稳定,成本低廉,因此,在许多行业得到了广泛应用成本低廉,因此,在许多行业得到了广泛应用。 目前,常用的电阻传感器主要有电位器、

2、目前,常用的电阻传感器主要有电位器、电阻应电阻应变片变片、热电阻、光敏电阻、气敏电阻和湿敏电阻等、热电阻、光敏电阻、气敏电阻和湿敏电阻等几大类。几大类。 201422.1 电阻应变片电阻应变片 电阻应变片是利用电阻应变效应原理制成的、应用最为广泛的电阻式传感器电阻应变片是利用电阻应变效应原理制成的、应用最为广泛的电阻式传感器,主主要用于机械量的检测中,如力、压力要用于机械量的检测中,如力、压力、速度、位移、重量、速度、位移、重量等物理量的检测。等物理量的检测。2.1.1 电阻应变效应电阻应变效应 金属金属导体或半导体材料在外力作用下产生机械变形时,它的电阻值也相应地发生导体或半导体材料在外力作

3、用下产生机械变形时,它的电阻值也相应地发生变化,这一物理现象称为电阻应变效应。变化,这一物理现象称为电阻应变效应。2.1.1.1 电阻的应变灵敏度系数电阻的应变灵敏度系数 根据电阻的定义式根据电阻的定义式 ;当有变化量;当有变化量、l l、A A时,其相对变化率为:时,其相对变化率为: AlRAAllRRll为轴向应变为轴向应变A=AA=A-A=-A=(d-d-d d)2 2-d-d2 2/4=2/4=2d/d (d/d (略去高阶无穷小)。再引进力学中的泊略去高阶无穷小)。再引进力学中的泊松比松比 ;故故 ;最后;最后得:得: ; 2KsllllllRR)/21 ()21 (对于直径为对于直

4、径为d d的圆柱形截面的电阻丝,因为的圆柱形截面的电阻丝,因为A=dA=d2 2/4/4;故:;故:ll /KsKs:应变灵敏系数。其中:(:应变灵敏系数。其中:(1+21+2)是由几何尺寸改变引起的,金属导体以此为主;)是由几何尺寸改变引起的,金属导体以此为主; 是由材料的电阻率随应变所引起的变化,半导体材料以此为主是由材料的电阻率随应变所引起的变化,半导体材料以此为主,尺寸改变尺寸改变小小。半导体应变片由压阻效应原理做成,某一轴向受外力作用电阻率发生变化的现象。半导体应变片由压阻效应原理做成,某一轴向受外力作用电阻率发生变化的现象。20143用应变片测量应变或应力时,是把应变片粘贴于被测对

5、象上的。在外力作用用应变片测量应变或应力时,是把应变片粘贴于被测对象上的。在外力作用下,被测对象表面产生微小的机械变形,应变片随其发生相同变化,同时应变片下,被测对象表面产生微小的机械变形,应变片随其发生相同变化,同时应变片电阻也发生相应的变化。如果能测得应变片电阻值的变化,则据电阻也发生相应的变化。如果能测得应变片电阻值的变化,则据 可可以得到被测对象的应变值以得到被测对象的应变值 ,再根据应力,再根据应力应变关系,可得试件的应力。应变关系,可得试件的应力。 式中:式中: 为试件的应力;为试件的应力; 为试件的应变;为试件的应变;E 为试件材料的弹性模量(为试件材料的弹性模量( )。)。 电

6、阻应变片的种类繁多,形式多样,但其电阻应变片的种类繁多,形式多样,但其基本结构大体相同。现以金属丝式应变片的结基本结构大体相同。现以金属丝式应变片的结构为例说明。如下图所示,图中电阻丝绕成构为例说明。如下图所示,图中电阻丝绕成S形形状的敏感栅,敏感栅为应变片的敏感元件,直状的敏感栅,敏感栅为应变片的敏感元件,直径一般为径一般为0.0l 0.05mm的电阻丝平行排列而成,的电阻丝平行排列而成,作用是感受应变的变化或大小。敏感栅粘贴在作用是感受应变的变化或大小。敏感栅粘贴在基片(基底)上,基片具有固定敏感栅和绝缘基片(基底)上,基片具有固定敏感栅和绝缘作用,很薄,一般为作用,很薄,一般为0.030

7、.06mm。敏感栅上。敏感栅上面有覆盖层,而且敏感栅电阻丝两端接有引出面有覆盖层,而且敏感栅电阻丝两端接有引出线用以和外接导线相连。线用以和外接导线相连。 E2mmkgKsRdR2.1.2应变片的测试原理应变片的测试原理2.1.3应变片的基本结构应变片的基本结构201442.1.3应变片的基本结构应变片的基本结构20145 如图如图2.1.1a所示,它是将金属丝按图示形状弯曲后用粘合剂贴在衬底上而成,基所示,它是将金属丝按图示形状弯曲后用粘合剂贴在衬底上而成,基底可分为纸基,胶基和纸浸胶基等。电阻丝两端焊有引出线,使用时只要将应变片底可分为纸基,胶基和纸浸胶基等。电阻丝两端焊有引出线,使用时只

8、要将应变片贴于弹性体上就可构成应变式传感器。它结构简单,价格低,强度高,但允许通过贴于弹性体上就可构成应变式传感器。它结构简单,价格低,强度高,但允许通过的电流较小,测量精度较低,适用于测量要求不很高的场合使用。的电流较小,测量精度较低,适用于测量要求不很高的场合使用。a ) 丝 式b ) 箔 式图 2 . 1 . 1 金 属 电 阻 应 变 片 结 构112233图 2 . 1 . 2 体 型 半 导 体 应 变 片2.1.4 电阻应变片的类型电阻应变片的类型 金属电阻应变片和半导体应变片金属电阻应变片和半导体应变片2.1.4.1 金属电阻应变片金属电阻应变片(丝式、箔式和薄膜式三种)(丝式

9、、箔式和薄膜式三种)20146 它是采用真空蒸镀或溅射式阴它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法,在薄的基底材料极扩散等方法,在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。这种应变片有较高形成应变片。这种应变片有较高的灵敏度系数,允许电流密度大,的灵敏度系数,允许电流密度大,工作温度范围较广。工作温度范围较广。 该类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在该类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在0.003-0.01mm之间,它结构如图之间,它结构如图2.1.1b所示。箔式应变片与丝式应变片比较其面积大,散所示。箔式应变片与

10、丝式应变片比较其面积大,散热性好,允许通过较大的电流。由于它的厚度薄,因此具有较好的可绕性,灵敏度热性好,允许通过较大的电流。由于它的厚度薄,因此具有较好的可绕性,灵敏度系数较高。箔式应变片还可以根据需要制成任意形状,适合批量生产。系数较高。箔式应变片还可以根据需要制成任意形状,适合批量生产。20147 1)体型半导体应变片)体型半导体应变片 这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片,其结构如下图所示。贴在基片上而成的应变片,其结构如下图所示。 半导体应变片是利用半导体材料

11、的半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。而制成的一种纯电阻性元件。 对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时,它的电阻率会发生对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时,它的电阻率会发生变化,这种物理现象称为半导体的压阻效应。半导体应变片有以下几种类型:变化,这种物理现象称为半导体的压阻效应。半导体应变片有以下几种类型:2.1.4.2 半导体应变片半导体应变片20148 3)扩散型半导体应变片)扩散型半导体应变片 将将P型杂质扩散到型杂质扩散到N型硅单晶基底上,形成一层极薄的型硅单晶基底上,形成一层极薄的P型导电层,再通过超声波型导电层,

12、再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。图和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。图2.1.4为扩散型半导体应变为扩散型半导体应变片示意图。这是一种应用很广的半导体应变片。片示意图。这是一种应用很广的半导体应变片。 2)薄膜型半导体应变片)薄膜型半导体应变片 这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成,这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成,其结构示意图见图其结构示意图见图2.1.3。1234图2.1.3 薄膜型半导体应变片1锗膜 2-绝缘层3金属箔基底 4-引线21345图2.1.4 扩散型半导体应变片1

13、-N型硅 2-P型硅扩散层3-二氧化硅绝缘层 4铝电极 5-引线1234图2.1.3 薄膜型半导体应变片1锗膜 2-绝缘层3金属箔基底 4-引线21345图2.1.4 扩散型半导体应变片1-N型硅 2-P型硅扩散层3-二氧化硅绝缘层 4铝电极 5-引线20149I.I. 应变片的检查与选择应变片的检查与选择 观察应变片的敏感栅是否整齐、均匀,是否有锈斑、短路和观察应变片的敏感栅是否整齐、均匀,是否有锈斑、短路和折弯等现象;要对选用的应变片的阻值进行测量,阻值选取合适将对传感器的平衡调折弯等现象;要对选用的应变片的阻值进行测量,阻值选取合适将对传感器的平衡调整带来方便。整带来方便。 II.II.

14、试件的表面处理试件的表面处理 为了获得良好的粘合强度,必须对试件表面进行为了获得良好的粘合强度,必须对试件表面进行处理,清除试件表面杂质、油污及疏松层等。一般的处理办法可采用砂纸打磨,较好处理,清除试件表面杂质、油污及疏松层等。一般的处理办法可采用砂纸打磨,较好的处理方法是采用无油喷砂法,这样不但能得到比抛光更大的表面积,而且可以获得的处理方法是采用无油喷砂法,这样不但能得到比抛光更大的表面积,而且可以获得质量均匀的结果。也可用化学请洗剂如氯化碳、丙酮、甲苯等进行反复清洗,也可采质量均匀的结果。也可用化学请洗剂如氯化碳、丙酮、甲苯等进行反复清洗,也可采用超声波清洗。值得注意的是,为避免氧化,应

15、变片的粘贴尽快进行。如果不立刻贴用超声波清洗。值得注意的是,为避免氧化,应变片的粘贴尽快进行。如果不立刻贴片,可涂上一层凡士林暂作保护。片,可涂上一层凡士林暂作保护。III.III. 底层处理底层处理 为了保证应变片能牢固地贴在拭件为了保证应变片能牢固地贴在拭件上,并具有足够的绝缘电阻,改善胶接性能,可在粘贴位置涂上一层底胶。上,并具有足够的绝缘电阻,改善胶接性能,可在粘贴位置涂上一层底胶。 .贴片贴片 将应变片底面用清洁剂清洗干净,然后在拭件表面和应变片底面各涂上一层薄而均匀将应变片底面用清洁剂清洗干净,然后在拭件表面和应变片底面各涂上一层薄而均匀的粘合剂。待稍干后,将应变片对准划线位置迅速

16、贴上,然后盖一层玻璃纸,用手指的粘合剂。待稍干后,将应变片对准划线位置迅速贴上,然后盖一层玻璃纸,用手指或胶锟加压,挤出气泡及多余的胶水,保证胶层尽可能薄而均匀。或胶锟加压,挤出气泡及多余的胶水,保证胶层尽可能薄而均匀。.固化固化 粘合剂粘合剂的固化是否完全,直接影响到胶的物理机械性能。关键是要掌握好温度、时间和循环的固化是否完全,直接影响到胶的物理机械性能。关键是要掌握好温度、时间和循环周期。无论是自然干燥还是加热固化都要严格按照工艺规范进行。为了防止强度降低、周期。无论是自然干燥还是加热固化都要严格按照工艺规范进行。为了防止强度降低、绝缘破坏以及电化腐蚀,在固化后的应变片上应涂上防潮保护层

17、,防潮层一般可采用绝缘破坏以及电化腐蚀,在固化后的应变片上应涂上防潮保护层,防潮层一般可采用稀释的粘合胶。稀释的粘合胶。 .粘贴质量检查粘贴质量检查 首先是从外观上检查粘贴位置是否正确,粘合层首先是从外观上检查粘贴位置是否正确,粘合层是否有气泡、漏粘、破损等。然后是测量应变片敏感栅是否有断路或短路现象以及测是否有气泡、漏粘、破损等。然后是测量应变片敏感栅是否有断路或短路现象以及测量敏感栅的绝缘电阻。量敏感栅的绝缘电阻。.引线焊接与组桥连线引线焊接与组桥连线 检查合格后既可焊接引出导线,引检查合格后既可焊接引出导线,引线应适当加以固定。应变片之间通过粗细合适的漆包线连接组成桥路。连接长度应尽线应

18、适当加以固定。应变片之间通过粗细合适的漆包线连接组成桥路。连接长度应尽量一致,且不宜过多。量一致,且不宜过多。 2.2 2.2 应变片的粘贴工艺步骤应变片的粘贴工艺步骤201410应变片是由轴向直线段(纵栅)和径向圆弧段(横栅)组成的,当试件承受单向应力时,其表应变片是由轴向直线段(纵栅)和径向圆弧段(横栅)组成的,当试件承受单向应力时,其表面处于平面应变状态中,即轴向拉伸面处于平面应变状态中,即轴向拉伸 和径向压缩和径向压缩 ,如下图所示。粘贴在试件表面上的,如下图所示。粘贴在试件表面上的应变片,其直线段(纵栅)和圆弧段(横栅)分别敏感应变片,其直线段(纵栅)和圆弧段(横栅)分别敏感 , ,

19、从而引起总的电阻变化为:,从而引起总的电阻变化为: xyxyyyxxKKRRKLrnnlKx2) 1(2KLrnKy2) 1( (a)应变片轴向受力应变片轴向受力 (b)应变片横向效应应变片横向效应 令:令: 称为称为应变片的横向应变片的横向灵敏度(又叫双向应变灵敏系灵敏度(又叫双向应变灵敏系数比)数比),表明横(径)向应变,表明横(径)向应变对应变片电阻相对变化的影响对应变片电阻相对变化的影响程度,通常用实验法来测定。程度,通常用实验法来测定。 xyKKC 由上可见:由上可见:将直的金属丝绕成应变片敏感栅之后,虽然长度相同,但应变状态不同,将直的金属丝绕成应变片敏感栅之后,虽然长度相同,但应

20、变状态不同,应变片敏感栅的电阻变化较直的金属丝小(即横向应变总是起着抵消纵向应变的作应变片敏感栅的电阻变化较直的金属丝小(即横向应变总是起着抵消纵向应变的作用),因此灵敏系数有所降低(即相对电阻变化量减小),此种现象称为横向效应。用),因此灵敏系数有所降低(即相对电阻变化量减小),此种现象称为横向效应。为了减小横向效应,常采用箔式电阻应变片。电阻相对变化的理论计算如式为了减小横向效应,常采用箔式电阻应变片。电阻相对变化的理论计算如式 横向效应大小常用的百分数表示即横向效应大小常用的百分数表示即 yyxxKKRR%100 xyKKC横向效应横向效应2014112.3 2.3 电阻应变片的温度误差

21、及其补偿法电阻应变片的温度误差及其补偿法 实际在应用时,环境(工作)温度经常会发生变化,使应变片工作条件实际在应用时,环境(工作)温度经常会发生变化,使应变片工作条件改变,影响其输出特性。这种单纯由温度变化引起的应变片电阻值变化的改变,影响其输出特性。这种单纯由温度变化引起的应变片电阻值变化的现象,称为现象,称为温度效应温度效应。设工作温度变化为。设工作温度变化为 ,则由此引起粘贴在试件上,则由此引起粘贴在试件上的应变片电阻的相对变化为:的应变片电阻的相对变化为:式中:式中: 为敏感栅材料的电阻温度系数;为敏感栅材料的电阻温度系数; 为试件的线膨胀系数;为试件的线膨胀系数; 为敏为敏感栅材料的

22、线膨胀系数;感栅材料的线膨胀系数; 应变片因环境温度变化而引起的附加电阻变化或附加输出应变由两部分应变片因环境温度变化而引起的附加电阻变化或附加输出应变由两部分组成。一部分为敏感栅电阻变化所造成的,大小为组成。一部分为敏感栅电阻变化所造成的,大小为 ;另一部分为;另一部分为敏感栅与试件热膨胀不匹配所引起的,大小为敏感栅与试件热膨胀不匹配所引起的,大小为 。一般情况。一般情况下,应变片由温度变化所引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几下,应变片由温度变化所引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级。乎有相同的数量级。在工作温度变化较大时,这种误差必须加以补偿在工作温度变化较大

23、时,这种误差必须加以补偿。 CttKtRRts)(stttKts2014122.3 2.3 电阻应变片的温度误差及其补偿法电阻应变片的温度误差及其补偿法 1.温度自补偿法温度自补偿法:也称为应变片自补偿法,粘贴在被测对象上的是一种特殊的应也称为应变片自补偿法,粘贴在被测对象上的是一种特殊的应变片,当温度变化时,产生的附加应变为零或相互抵消,这种特殊的应变片称为变片,当温度变化时,产生的附加应变为零或相互抵消,这种特殊的应变片称为温度自补偿应变片。温度自补偿应变片。2.2.桥路补偿法桥路补偿法:也称为补偿片法,应变片通常是作为平衡电桥的一个臂测量应变:也称为补偿片法,应变片通常是作为平衡电桥的一

24、个臂测量应变的。如下图所示。的。如下图所示。 2.3.1应变片温度误差补偿方法(应变片温度误差补偿方法(3 3种)种) 桥路补偿法桥路补偿法 201413如右图所示,如右图所示, 为热敏电阻且处在与应变片相为热敏电阻且处在与应变片相同的温度下,当应变片的灵敏度随温度升高而同的温度下,当应变片的灵敏度随温度升高而下降时,下降时, 的阻值也下降,使输入电压随温度的阻值也下降,使输入电压随温度升高而增加,从而提高输出升高而增加,从而提高输出 来补偿应变片引来补偿应变片引起的输出下降。选择分流电阻起的输出下降。选择分流电阻 的值,就可以的值,就可以得到良好的补偿。得到良好的补偿。 3.热敏电阻补偿法热

25、敏电阻补偿法tRtR0U5R热敏电阻补偿法热敏电阻补偿法2.4 2.4 电阻应变片的信号调节(测量)电路电阻应变片的信号调节(测量)电路工程中,用于测量应变变化而引起的电阻变化的电桥电路通常有直流电桥和交流电工程中,用于测量应变变化而引起的电阻变化的电桥电路通常有直流电桥和交流电桥两种。电桥电路的主要指标是桥路灵敏度、非线性和负载特性。桥两种。电桥电路的主要指标是桥路灵敏度、非线性和负载特性。 2.4.1直流电桥的工作原理直流电桥的工作原理 直流电桥直流电桥1.电桥的平衡条件电桥的平衡条件 4321RRRR201414201415电桥处于不平衡状态,输出电压为:电桥处于不平衡状态,输出电压为:

26、3412111134432114143321111011RRRRRRRRRRERRRRRRRRRRRRRRREU令:桥臂比为令:桥臂比为 12RRn 1RR可忽略不记,于是上式可写为可忽略不记,于是上式可写为 ERRnnU1120)1 (电桥电压灵敏度定义为:电桥电压灵敏度定义为: EnnRRUKU2110)1 ( 从上式可知:从上式可知: (1 1)电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压,供电电压越高,电压灵敏度越高,)电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压,供电电压越高,电压灵敏度越高,但供电电压的提高受到应变片允许功耗和应变电桥电阻的温度误差的限制,所以但供电电压的提高受到应变片允许功耗和应变电桥电

27、阻的温度误差的限制,所以要作适当选择,一般取要作适当选择,一般取13V左右;左右;(2)电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值)电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值 的函数,恰当地选择桥臂比的函数,恰当地选择桥臂比 的值,保证电桥具有较高的电压灵敏度。(的值,保证电桥具有较高的电压灵敏度。(2)当)当 1 1时,时, 为最大值,即当电源电压和电阻相对变化一定时,电桥的输出为最大值,即当电源电压和电阻相对变化一定时,电桥的输出电压及其灵敏度也是定值,且与各桥臂电阻阻值大小无关。电压及其灵敏度也是定值,且与各桥臂电阻阻值大小无关。 nn4/EKUn2.电压灵敏度电压灵敏度 2014163.非线性误差及其补偿方法非线

28、性误差及其补偿方法 一般情况下,若应变片承受的应变较大时,分母中的一般情况下,若应变片承受的应变较大时,分母中的 就不能忽略,此时得到的刻就不能忽略,此时得到的刻度特性度特性 是非线性的。我们把实际的非线性特性曲线与理想的线性特性曲是非线性的。我们把实际的非线性特性曲线与理想的线性特性曲线的偏差称之为绝对非线性误差。线的偏差称之为绝对非线性误差。 R)(Rfu设理想情况下电桥输出电压为:设理想情况下电桥输出电压为: 1104 RREU实际情况下电桥输出电压为:实际情况下电桥输出电压为: nRRnRRnEU1111110非线性误差为:非线性误差为: 11110/001RRnRRUUU 常采用如下

29、图所示差动电桥。在试常采用如下图所示差动电桥。在试件上安装两个工作应变片,一个受拉件上安装两个工作应变片,一个受拉应变,一个受压应变,接入电桥相邻应变,一个受压应变,接入电桥相邻桥臂,称为半桥差动电桥,如下图桥臂,称为半桥差动电桥,如下图 (a)所示;两个受拉应变,两个受压应变,所示;两个受拉应变,两个受压应变,接入电桥桥臂,称为全桥差动电桥,接入电桥桥臂,称为全桥差动电桥,如下图如下图 (b)所示。所示。(a)半桥电路半桥电路 (b)全桥电路全桥电路 4.4.减小和克服非线性误差减小和克服非线性误差201417半桥差动电桥,该电桥输出电压为:半桥差动电桥,该电桥输出电压为: 43322111

30、10RRRRRRRRREU若电桥初始是平衡的,在对称情况下有若电桥初始是平衡的,在对称情况下有 , , , 21RR21RR 43RR 1102RREU半桥差动电桥无非线性误差,而且电压灵敏度半桥差动电桥无非线性误差,而且电压灵敏度 ,是单臂电桥工,是单臂电桥工作时的作时的2倍,同时还具有温度补偿作用。倍,同时还具有温度补偿作用。 211ERRUKOU全桥差动电桥全桥差动电桥,若电桥初始是平衡的,在对称情况下有,若电桥初始是平衡的,在对称情况下有, , = ,则全桥差动电桥输出电压为:,则全桥差动电桥输出电压为: 4321RRRR21RR 43RR110RREU全桥差动电桥没有非线性误差,而且

31、电压灵敏度为单片工作时的全桥差动电桥没有非线性误差,而且电压灵敏度为单片工作时的4 倍倍 ,同,同时具有温度补偿作用。时具有温度补偿作用。 EKU高内阻的恒流源测量电桥电路高内阻的恒流源测量电桥电路 如右图所示。若电桥初始平衡,有如右图所示。若电桥初始平衡,有 3241RRRR当任一臂改当任一臂改变时,有变时,有 RRRIIRRRRUO411414与恒压源电路相比,分母中与恒压源电路相比,分母中R被被4 4R 除,非除,非线性误差减少了一倍。线性误差减少了一倍。 高内阻的恒流源电桥高内阻的恒流源电桥2014182.5 应变电阻传感器的应用应变电阻传感器的应用 传感器由弹性元件、应变片和外壳所组成。弹性元件是传感器的基础,把被测量传感器由弹性元件、应变片和外壳所组成。弹性元件是传感器的基础,把被测量转换成应变量的变化;弹性元件上的应变片是传感器的核心,它

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