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文档简介
鑽孔偏破異常分析For drilling2003.3.18耿旭珍1.鑽孔異常現象n非個別孔偏孔破 (我們分析對象)n套不上pinn孔塞n未鑽透n漏鑽2.孔偏責任者n微影n壓合n鑽孔n現場作業人員n補償值n設計3.層間對準說明n微影:依鑽孔的內層對位孔製作內層線路,靶標,同心圓n壓合:依鑽孔的卯合孔組合釘卯,壓合後鑽靶孔n微影:依靶孔對位製作Maskn鑽孔:依靶孔計算補償值,套pin上板鑽孔4.層間對準流程 微影 Laser微影 壓合 鑽孔 電鍍 微影5.微影影響孔偏n曝光偏 同心圓偏 鑽孔同方向偏n照X-Ray發現同張基板上下層同心圓偏6.壓合影響孔偏n組合偏 同心圓偏 鑽孔無規律偏n照X-Ray發現不是同張基板的層同心圓偏n靶孔偏或橢圓 在壞靶處孔偏嚴重n照X-Ray看靶孔7.鑽孔n補償值不適合 孔偏方向內縮或外張n用X-Ray照全板面判定n作業過程中移動板子 無規律孔偏n用板子對Mylarn內鑽重壓pin 無規律孔偏n看pin孔是否橢圓並對Mylar
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