玻璃减薄技术

1、LOGO玻璃减薄玻璃减薄 技术技术材科112贺文杰201101524215v浮法减薄技术浮法减薄技术vTFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及面板玻璃减薄工艺流程及不良简介不良简介2浮法减薄技术浮法减薄技术3浮法玻璃成型的定义1浮法玻璃成型原理2玻璃液的拉薄3影响成型质量的因素4浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型的定义 v浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面

2、，在自身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。4浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理v浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃液

3、面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃液的拉薄或增厚。液的拉薄或增厚。5玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄v玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上形成自然厚度约形成自然厚度约7mm 的玻璃带。拉引厚度小于的玻璃带。拉引厚度小于自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃带被拉薄的同时，表面张力的作用使得玻璃带增带被拉薄的同时，

4、表面张力的作用使得玻璃带增厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用合理的工艺参数和拉薄措合理的工艺参数和拉薄措6玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 施。实践证明，温度范围施。实践证明，温度范围883769，有利于，有利于玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要求安置若干

5、个拉边机。求安置若干个拉边机。7影响成型质量的因素影响成型质量的因素 v影响成型质量的因素影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致停产，其中影响成型质量的因素主要包括停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温锡槽温度制度、气氛制度、压力制度等项。度制度、气氛制度、压力制度等项。8TFT-LCD面板面板 玻璃减薄玻璃减薄减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良39减薄的作用减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性10减薄工艺简介减

6、薄工艺简介用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。获得光亮、平整的表面。封胶减薄研磨11封胶封胶 封胶工艺封胶工艺防止强酸破坏防止强酸破坏Cell封框胶以及进入封框胶以及进入Cell内部内部1. 加盖遮光垫 2.涂胶 3.擦胶 4. UV固化固化UV胶胶破坏破坏TFT结结构构一般在这之前还会进行检查。涂胶后静置1min。清除多的UV胶。UV固化后检查12封胶封胶UV固化UV灯GLS边框胶涂胶后检查涂胶加盖遮光垫13原理及方式单片直立喷洒单片直立喷洒瀑布流瀑布流多片直立浸泡多片直立浸泡原理原理1234减薄原理及

7、方式减薄原理及方式6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O液体+固体（玻璃）-液体14单片直立喷洒单片直立喷洒瀑布流瀑布流多片直立浸泡多片直立浸泡优点：优点：1.可以同时间处理多片玻璃。缺点：缺点：1.装置大型。2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。优点：优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片多片缺点：缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。优点：优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光三种方式优缺点三种方式优缺点15Text in here蚀刻蚀刻清洗清洗清洗清洗减薄流程减薄流程Slimming1617减薄设备减薄设备其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置Loader单元单

8、元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元18减薄工艺参数减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系19减薄工艺参数减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系20减薄工艺参数减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系说明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。21减薄清洗单元（后）减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸泡酸浸泡DI浸泡a. 5

9、-10% NaOHb. 45鼓泡C. 10mina. 3% HClb. 或常温C. 1mina. DI水b. 常温C. 5mina. DI水b. 常温C. 5min清洗清洗外观检查Polishing外观检查RejectItemItem自动研磨自动研磨手动研磨手动研磨PicturePicture适应产品适应产品无破损产品无破损产品所有产品所有产品可修复不良可修复不良不良率高发，严重不良不良率高发，严重不良不良率较低的轻微不良不良率较低的轻微不良CAPACAPAQ-panelQ-panel抛光，效率高抛光，效率高针对单点不良修复，效率低针对单点不良修复，效率低研磨研磨2223减薄工艺自身不良1.不

10、可擦拭脏污2.薄化不匀薄化不匀24减薄工艺自身不良减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1. 除胶未干净，有残留除胶未干净，有残留2. PT等未清洗干净等未清洗干净1.设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式） 玻璃被蚀刻玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一时局部蚀刻不一致致工艺设备工艺设备玻璃表面玻璃表面玻璃本身玻璃本身25Slimming后划伤后划伤Slimming前发生轻微ScratchSlimming后Scratch程度加重Human eye invisibleSlimming26Slimming后划伤后划伤1. LiftPin凹点27Slimming后划伤后划伤2.Robot吸盘凹点28Slimming后划伤后划伤3.轮印29造成造成B-ITO不良不良现象：ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀，类似产品表面水干燥后残留的印记。原因：BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性1.水渍酸印30其它不良其它不良1.电阻超标原因：酸残留与减薄有关的性耐性与减薄有关的性耐性玻璃基板表面蚀刻状况确认玻璃基板表面蚀刻状况确认TFT端子部腐蚀状况的确认端子部腐蚀状况的确认牢固度确认牢固度确认 将其放入冷热交替的冷热槽中将其放入冷热交替的冷热