3.2光电子发射探测器(1)ppt课件

1、第三章光电探测器第三章光电探测器3.1 光电探测器的物理基础光电探测器的物理基础3.2 光电子发射探测器光电子发射探测器3.3 光电导探测器光电导探测器3.4 光伏探测器光伏探测器3.5 热电探测器热电探测器3.6 光电成像器件光电成像器件3.7 各类光电探测器的性能各类光电探测器的性能及应用比较及应用比较13.2光电子发射探测器光电子发射探测器真空光电器件是基于外光电效应的光电探测器。真空光电器件是基于外光电效应的光电探测器。滨淞光子滨淞光子 （Hamamatsu） R3896光电倍增管光电倍增管 2真空光电器件光电管光电倍增管特点：灵敏度高、稳定性好、响应速度快特点：灵敏度高、稳定性好、响

2、应速度快和噪声小。和噪声小。缺点：结构复杂，工作电压高，体积大。缺点：结构复杂，工作电压高，体积大。33.2.13.2.1半导体的光电子发射半导体的光电子发射1. 1.费米能级、真空能级、逸出功费米能级、真空能级、逸出功2. 2.金属材料与半导体材料的光电子发射比较金属材料与半导体材料的光电子发射比较1 1反射系数小，吸收系数大；反射系数小，吸收系数大；2 2光电子运动中能量损失小，补充容易；光电子运动中能量损失小，补充容易；3 3存在大量发射中心；存在大量发射中心；4 4逸出功小。逸出功小。3. 3.电子亲和势、半导体材料的逸出功电子亲和势、半导体材料的逸出功i i，n n，p p）4. 4

3、.半导体光电发射的三个步骤半导体光电发射的三个步骤43.2.2光电阴极光电阴极一、光电阴极的主要参数一、光电阴极的主要参数1.灵敏度灵敏度光谱灵敏度：光电阴极对于一定波长辐射光谱灵敏度：光电阴极对于一定波长辐射光的灵敏度就称为光谱灵敏度。光的灵敏度就称为光谱灵敏度。光照灵敏度：对于复合光光照灵敏度：对于复合光(或称白光或称白光)的灵的灵敏度就称为积分灵敏度敏度就称为积分灵敏度(通常光照灵敏皮就通常光照灵敏皮就是指积分灵敏度是指积分灵敏度)。5.量子效率量子效率它表示一定波长的光子入射到光电阴极时，该阴它表示一定波长的光子入射到光电阴极时，该阴极所发射的光电子数极所发射的光电子数Ne()与入射的

4、光子数与入射的光子数Np()之比。也称量子产额之比。也称量子产额Q()。3.光谱响应曲线光谱响应曲线.热电子发射：热电子发射：引起暗电流和暗噪声，从而限制探测引起暗电流和暗噪声，从而限制探测灵敏度。灵敏度。61.银氧铯银氧铯(Ag-O-Cs)光电阴极光电阴极峰值波长：350nm, 800nm光谱响应范围约光谱响应范围约300-1000nm300-1000nm；量子效率约量子效率约0.50.5；使用温度使用温度100100C C；暗电流大。暗电流大。二、常规光电阴极二、常规光电阴极72.单碱锑化物光电阴极单碱锑化物光电阴极金属锑与碱金属锂、钠、钾、铷、铯中的一种化合，能金属锑与碱金属锂、钠、钾、

5、铷、铯中的一种化合，能形成具有稳定光电发射的发射体。形成具有稳定光电发射的发射体。最常用的是锑化铯最常用的是锑化铯CsSb），其阴极灵敏度最高，量子），其阴极灵敏度最高，量子效率为效率为1525，长波限为：，长波限为：600nm。广泛用于紫外和可。广泛用于紫外和可见光区的光电探测器中。见光区的光电探测器中。3.多碱锑化物光电阴极多碱锑化物光电阴极当锑和几种碱金属形成化合物时，具有更高的响应率。当锑和几种碱金属形成化合物时，具有更高的响应率。长波限可达长波限可达930nm，扩展到近红外。，扩展到近红外。84.紫外光电阴极紫外光电阴极通常来说对可见光灵敏的光电阴极对紫外光也有较通常来说对可见光灵敏

6、的光电阴极对紫外光也有较高的量子效率。有时，为了消除背景辐射的影响，要高的量子效率。有时，为了消除背景辐射的影响，要求光电阴极只对所探测的紫外辐射信号灵敏，而对可求光电阴极只对所探测的紫外辐射信号灵敏，而对可见光无响应。见光无响应。紫外光电阴极紫外光电阴极碲化铯碲化铯(CsTe, 320nm，峰值波长，峰值波长250nm，量子效率：，量子效率：12.4)碘化铯碘化铯(CsI, 200nm，峰值波长，峰值波长120nm，量子效率：，量子效率：20)9三、负电子亲和势光电阴极三、负电子亲和势光电阴极常规的光电阴极属于正电子亲和势常规的光电阴极属于正电子亲和势(PEA)类型，类型，即表面的真空能级位

7、于导带之上。即表面的真空能级位于导带之上。 如果给半导体的表面作特殊处理，使表面区域能如果给半导体的表面作特殊处理，使表面区域能带弯曲，真空能级降低到导带之下，从而使有效的带弯曲，真空能级降低到导带之下，从而使有效的电子亲和势为负值，经过特殊处理的阴极称作负电电子亲和势为负值，经过特殊处理的阴极称作负电子亲和势光电阴极子亲和势光电阴极(NEA)。10EA1Eg1Eg2EA2Ev1Ec1E0Ec2Ev2SiCs2O对于对于P型型Si的发射阈值是的发射阈值是Ed1=EA1+Eg1,电子进入电子进入导带后需要克服亲和势导带后需要克服亲和势EA1才能逸出表面。由于才能逸出表面。由于表面存在表面存在n型

8、薄层，使耗尽区的电位下降，表面型薄层，使耗尽区的电位下降，表面电位降低电位降低Ed。光电子在表面受到耗尽区电场的作。光电子在表面受到耗尽区电场的作用。用。1. 1.原理原理11Ev1EC1EfEAeE0EdEA2Ev2+-Si-CsO2光电阴极：在光电阴极：在p型型Si基上涂一层金属基上涂一层金属Cs，经过特，经过特殊处理而形成殊处理而形成n型型Cs2O。在交界区形成耗尽层，耗尽在交界区形成耗尽层，耗尽区的电位下降区的电位下降Ed,造成能带弯造成能带弯曲。曲。从从Si的导带底部漂移到表面的导带底部漂移到表面Cs2O的导带底部。此时，的导带底部。此时，电子只需克服电子只需克服EA2就能逸出表面。

9、对于就能逸出表面。对于P型型Si的光电子的光电子需克服的有效亲和势为需克服的有效亲和势为EAe=EA2-Ed由于能级弯曲，使由于能级弯曲，使EdEA2,这样就形成了负电子亲和这样就形成了负电子亲和势。势。122.与正电子亲和势阴极的区别与正电子亲和势阴极的区别1参与发射的电子是导带的热化电子，或参与发射的电子是导带的热化电子，或称为称为“冷冷电子；电子；NEA阴极中导带的电子逸入真空不需阴极中导带的电子逸入真空不需作功。作功。133.特点特点1高吸收，低反射性质；高吸收，低反射性质；2高量子效率，高量子效率，50%60%, 长波到达长波到达9%;3光谱响应可以达到光谱响应可以达到1m以上；以上

10、；4冷电子发射光谱能量分布较集中，接近高斯分布冷电子发射光谱能量分布较集中，接近高斯分布5光谱响应平坦；光谱响应平坦；6暗电流小；暗电流小；7在可见、红外区，能获得高响应度；在可见、红外区，能获得高响应度；8工艺复杂，售价昂贵。工艺复杂，售价昂贵。143.2.2 3.2.2 光电管与光电倍增管的工作原理光电管与光电倍增管的工作原理一、真空光电管一、真空光电管1、结构与工作原理、结构与工作原理真空光电管由玻壳、光电阴极和阳极三部分组成 。15光电阴极即半导体光电发射材料，涂于玻壳光电阴极即半导体光电发射材料，涂于玻壳内壁，受光照时，可向外发射光电子。内壁，受光照时，可向外发射光电子。阳极是金属环

11、或金属网，置于光电阴极的对阳极是金属环或金属网，置于光电阴极的对面，加正的高电压，用来收集从阴极发射出来面，加正的高电压，用来收集从阴极发射出来的电子。的电子。 2.2.特点：光电阴极面积大，灵敏度较高，一般特点：光电阴极面积大，灵敏度较高，一般积分灵敏度可达积分灵敏度可达2020200A/lm200A/lm；暗电流小，；暗电流小，最低可达最低可达10-14A10-14A；光电发射弛豫过程极短。；光电发射弛豫过程极短。 3.3.缺点：真空光电管一般体积都比较大、工作缺点：真空光电管一般体积都比较大、工作电压高达百伏到数百伏、玻壳容易破碎等电压高达百伏到数百伏、玻壳容易破碎等 1617光电管实物

12、光电管实物18二、光电倍增管1.光电倍增管组成光电倍增管由光窗、光电阴极、电子光学系统、电子光电倍增管由光窗、光电阴极、电子光学系统、电子倍增系统和阳极五个主要部分组成。倍增系统和阳极五个主要部分组成。 19202.工作原理工作原理211光子透过入射窗口入射在光电阴极上光子透过入射窗口入射在光电阴极上;2光电阴极上的电子受光子激发，离开表面发射到光电阴极上的电子受光子激发，离开表面发射到真空中真空中;3光电子通过电场加速和电子光学系统聚焦入射到光电子通过电场加速和电子光学系统聚焦入射到第一倍增级上，倍增级将发射出比入射电子数目更多第一倍增级上，倍增级将发射出比入射电子数目更多的二次电子。入射电

13、子经的二次电子。入射电子经N级倍增极倍增后，光电子级倍增极倍增后，光电子就放大就放大N次；次；4经过倍增后的二次电子由阳极收集，形成阳极光经过倍增后的二次电子由阳极收集，形成阳极光电流。电流。2223243.光电阴极结构和入射窗口光电阴极结构和入射窗口25硼硅玻璃无钾玻璃）硼硅玻璃无钾玻璃） 这是一种常用的玻璃材料，可以透过从近红外至这是一种常用的玻璃材料，可以透过从近红外至300nm300nm的入射光，但不适合于紫外区的探测。无钾玻璃中只有的入射光，但不适合于紫外区的探测。无钾玻璃中只有极低含量的钾，其中的极低含量的钾，其中的K40K40会造成暗计数。所以通常用会造成暗计数。所以通常用于闪烁

14、计数的光电倍增管不仅入射窗，而且玻璃侧管也于闪烁计数的光电倍增管不仅入射窗，而且玻璃侧管也使用无钾玻璃，就是为了降低暗计数使用无钾玻璃，就是为了降低暗计数 透紫玻璃透紫玻璃UVUV玻璃）玻璃） 这种玻璃材料就象其名字所表达的那样，可以很好地透这种玻璃材料就象其名字所表达的那样，可以很好地透过紫外光，和硼硅玻璃一样被广泛使用。分光应用领域过紫外光，和硼硅玻璃一样被广泛使用。分光应用领域一般都要求用透紫玻璃，其截止波长可接近一般都要求用透紫玻璃，其截止波长可接近185nm185nm。 窗口材料窗口材料26合成石英合成石英 合成石英可以将透过的紫外光波长延伸至合成石英可以将透过的紫外光波长延伸至16

15、0nm160nm，并且在，并且在紫外区比熔融石英玻璃有更低的吸收。合成石英材料的膨紫外区比熔融石英玻璃有更低的吸收。合成石英材料的膨胀系数与芯柱用玻璃的膨胀系数有很大差别，所以，用热胀系数与芯柱用玻璃的膨胀系数有很大差别，所以，用热膨胀系数渐变的封接材料与合成石英逐渐过渡。因而，此膨胀系数渐变的封接材料与合成石英逐渐过渡。因而，此类光电倍增管的强度易受外界震动的破坏，使用中要采取类光电倍增管的强度易受外界震动的破坏，使用中要采取足够的保护措施。足够的保护措施。 氟化镁镁氟化物）氟化镁镁氟化物）该材料具有极好的紫外线透过性，但同时也有易潮解的不该材料具有极好的紫外线透过性，但同时也有易潮解的不利

16、因素。尽管如此，氟化镁仍以其接近利因素。尽管如此，氟化镁仍以其接近115nm115nm的紫外透过的紫外透过能力而成为一种实用的光窗材料。能力而成为一种实用的光窗材料。 274.4.电子光学系统电子光学系统作用是适当设计的电极结构，使前一级发射出来的电子作用是适当设计的电极结构，使前一级发射出来的电子尽可能没有散失地落到下一个倍增极上，也就是使下一尽可能没有散失地落到下一个倍增极上，也就是使下一级的收集率接近于级的收集率接近于1 1；并使前一级各部分发射出来的电；并使前一级各部分发射出来的电子，落到后一级上所经历的时间尽可能相同，即渡越时子，落到后一级上所经历的时间尽可能相同，即渡越时间零散最小

17、。间零散最小。 285.电子倍增极电子倍增极1二次电子发射：具有足够动能的电子轰击某些材料时，二次电子发射：具有足够动能的电子轰击某些材料时，材料表面将发射新的电子。材料表面将发射新的电子。2二次发射系数：二次发射的电子数二次发射系数：二次发射的电子数N2与入射的一次与入射的一次电子数电子数N1的比值。的比值。21NN3 3常用的倍增极材料：常用的倍增极材料：锑化铯、氧化银镁合金、铜铍合金锑化铯、氧化银镁合金、铜铍合金294倍增级结构倍增级结构园型鼠笼型园型鼠笼型 主要应用于侧窗型光电倍增管。其主要特点主要应用于侧窗型光电倍增管。其主要特点为紧凑的结构和快速时间响应特性。为紧凑的结构和快速时间

18、响应特性。 30直线聚焦型直线聚焦型直线聚焦型因其极快的时间响应而被广泛地应用于要直线聚焦型因其极快的时间响应而被广泛地应用于要求时间分辨和线性脉冲研究用的端窗型光电倍增管中。求时间分辨和线性脉冲研究用的端窗型光电倍增管中。 31盒网型盒网型 这种结构包括了一系列的四分之一这种结构包括了一系列的四分之一圆柱形的倍增极，并因其相对简单的倍增极结构和一圆柱形的倍增极，并因其相对简单的倍增极结构和一致性的改良而被广泛地应用于端窗型光电倍增管，但致性的改良而被广泛地应用于端窗型光电倍增管，但在一些应用中，其时间响应可能略显缓慢。在一些应用中，其时间响应可能略显缓慢。 32百叶窗型百叶窗型百叶窗型结构因倍增极可以较大而被用于大阴极的百叶窗型结构因倍增极可以较大而被用于大阴极的光电倍增管中，其一致性较好，可以有大的脉冲输出光电倍增管中，其一致性较好，可以有大的脉冲输出电流。这种结构多用于不太要求时间响应的场合。电流。这种结构多用于不太要求时间响应的场合。 33微通道板微通道板MCPMCP型型MCPMCP是上百万的微小玻璃管通道彼此平行地集成为是上百万的微小玻璃管通道彼此平行地集成为薄形盘片状而形成。每个通道都是一个独立的电子倍增薄形盘片状而形成。每个通道都是一个独立的电子倍增器。器。MCPMCP