EBSD的工作原理、结构及操作

1、1.电子背散射衍射分析技术（EBSD/EBSP）简介20 世 纪 90 年 代 以 来 ， 装 配 在 SEM 上 的 电 子 背 散 射 花 样（ElectronBack-scatteringPatterns 简称 EBSP）晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射（ElectronBackscatteredDiffraction,简称 EBSD）或取向成像显微技术（OrientationImagingMicroscopy,简称 OIM）等。EBSD 的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分

2、辨率亚微米级的衍射（给出结晶学的数据） 。 EBSD 改变了以往织构分析的方法， 并形成了全新的科学领域， 称为显微织构”-将显微组织和晶体学分析相结合。与显微织构”密切联系的是应用 EBSD 进行相分析、获得界面（晶界）参数和检测塑性应变。目前，EBSD 技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，样品制备较简单，数据采集速度快（能达到约 36 万点/小时甚至更快），分辨率高（空间分辨率和角分辨率能分别达到 0.1m 和0.5m）,为快速高效的定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，因此已成为材料研究中一种有效的分析手段。目前 EBSD 技术的应用领域集中于多种多晶体材料一工业生产的金属

3、和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石一以研究各种现象，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）、界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）、相鉴定等。2 .EBSD系统的组成与工作原理图 1EBSD 系统的构成及工作原理系统设备的基本要求是一台扫描电子显微镜和一套 EBSD 系统。EBSD 采集的硬件部分通常包括一台灵敏的 CCD 摄像仪和一套用来花样平均化和扣除背底的图象处电镜控制单兀与接口电子束打描先制IRSP探头光图像群头肺电镜样品空图像仪电r林蓊样品由移动控制图像信号用像接收单元理系统。图 1 是 EBSD 系统的构成及工作原理。在扫描电子显微镜中得到一张电子背散射衍射

4、花样的基本操作是简单的。相对于入射电子束，样品被高角度倾斜，以便背散射（即衍射）的信号 EBSP 被充分强化到能被荧光屏接收（在显微镜样品室内），荧光屏与一个 CCD 相机相连，EBSP 能直接或经放大储存图象后在荧光屏上观察到。只需很少的输入操作，软件程序可对花样进行标定以获得晶体学信息。目前最快的 EBSD 系统每一秒钟可进行近 100 个点的测量。现彳 tEBSD 系统和能谱 EDX 探头可同时安装在 SEM 上，这样，在快速得到样品取向信息的同时，可以进行成分分析。3 .EBSD的应用扫描电子显微镜中电子背散射衍射技术已广泛地成为金属学家、陶瓷学家和地质学家分析显微结构及织构的强有力的

5、工具。EBSD 系统中自动花样分析技术的发展，加上显微镜电子束和样品台的自动控制使得试样表面的线或面扫描能够迅速自动地完成，从采集到的数据可绘制取向成像图 OIM、极图和反极图，还可计算取向（差）分布函数，这样在很短的时间内就能获得关于样品的大量的品体学信息，如：织构和取向差分析；晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及李晶界性质分析；应变和再结晶的分析；相签定及相比计算等，EBSD 对很多材料都有多方面的应用也就是源于 EBSP 所包含的这些信息。3.1织构及取向差分析EBSD 不仅能测量各取向在样品中所占的比例，还能知道这些取向在显微组织中的分布，这是织构分析的全新方法。既然 EBSD 可以进

6、行微织构，那么就可以进行织构梯度的分析，在进行多个区域的微织构分析后宏观织构也就获得了。EBSD 可应用于取向关系测量的范例有：推断第二相和基体间的取向关系、穿晶裂纹的结晶学分析、单晶体的完整性、微电子内连使用期间的可靠性、断口面的结晶学、高温超导体沿结晶方向的氧扩散、形变研究、薄膜材料晶粒生长方向测量。EBSD 测量的是样品中每一点的取向，那么不同点或不同区域的取向差异也就可以获得，从而可以研究晶界或相界等界面。3.2晶粒尺寸及形状的分析传统的晶粒尺寸测量依赖于显微组织图象中晶界的观察。自从 EBSD 出现以来，并非所有品界都能被常规浸蚀方法显现这一事实已变得很清楚，特别是那些被称为特殊”的

7、晶界，如李晶和小角晶界。因为其复杂性，严重李晶显微组织的晶粒尺寸测量就变得十分困难。由于晶粒主要被定义为均匀结晶学取向的单元，EBSD 是作为晶粒尺寸测量的理想工具。最简单的方法是进行横穿试样的线扫描，同时观察花样的变化。3.3晶界、亚晶及孚晶性质的分析在得到 EBSD 整个扫描区域相邻两点之间的取向差信息后，可进行研究的界面有晶界、亚晶、相界、孚晶界、特殊界面（重合位置点阵 CSL 等）。3.4相鉴定及相比计算就目前来说，相鉴定是指根据固体的晶体结构来对其物理上的区别进行分类。EBSD 发展成为进行相鉴定的工具，其应用还不如取向关系测量那样广泛，但是应用于这方面的技术潜力很大，特别是与化学分

8、析相结合。已经用 EBSD 鉴定了某些矿物和一些复杂相。EBSD 最有用的就是区分化学成分相似的相，如，在扫描电子显微镜中很难在能谱成分分析的基础上区别某元素的氧化物或碳化物或氮化物，但是，这些相的晶体学关系经常能毫无疑问地区分开。M7c3 和 M3c 相（M 大多是铭）已被从二者共存的合金中鉴别出来，因为它们分别属于六方晶系和四方晶系，这样它们的电子背散射衍射花样（EBSP）就完全不同。类似地，已用EBSD 区分了赤铁矿、磁铁矿和方铁矿。最后一个例子，也许是用 EBSD 进行相鉴定的最简单的应用之一，就是直接区别铁的体心立方和面心立方，这在实践中也经常用到，而且用元素的化学分析方法是无法办到

9、的，如钢中的铁素体和奥氏体。而且在相鉴定和取向成像图绘制的基础上，很容易地进行多相材料中相百分含量的计算。3.5应变测量存在于材料中的应变影响其抗拉强度或韧性等性能，进而影响零件的使用性能。衍射花样中菊池线的模糊证明品格内存在塑性应变。因此从花样质量可直观地定性评估品格内存在的塑性应变。用 EBSD 进行应变测量的一些例子如下：1）在部分再结晶的显微组织中辨别有无应变晶粒；2）陨石中的固溶诱导应变；3）测定错离子束注入硅中产生的损伤。4 .EBSD与其他衍射技术的比较对材料晶体结构及晶粒取向的传统研究方法主要有两个方面：一是利用 X光衍射或中子衍射测定宏观材料中的晶体结构及宏观取向的统计分析；

10、二是利用透射电镜中的电子衍射及高分辨成象技术对微区晶体结构及取向进行研究。前者虽然可以获得材料晶体结构及取向的宏观统计信息，但不能将晶体结构及取向信息与微观组织形貌相对应，也无从知道多相材料和多晶材料中不同相及不同晶粒取向在宏观材料中的分布状况。EBSD 恰恰是进行微织构分析、微取向和晶粒取向分布测量，可以将晶体结构及取向信息与微观组织形貌相对应。而透射电镜的研究方法由于受到样品制备及方法本身时的限制往往只能获得材料非常局部的晶体结构及晶体取向信息，无法与材料制备加工工艺及性能相直接联系。X 射线衍射或中子衍射不能进行点衍射分析。除了 EBSD 外，还有其他的点分析技术，主要有 SEM 中的电

11、子通道花样（SAC）和透射电子显微镜（TEM）中的微衍射（MD）,一般认为 EBSD 已经取代 SAC,而 TEM 中的微衍射（MD）需要严格的样品制备，且不可能进行自动快速测量。定位的相鉴定早已成为 TEM 的工作， 但其样品制备经常是不方便的， 甚至是不可能的，因此 EBSD 成为极有吸引力的选择。因此，EBSD 是 X 射线衍射和透射电子显微镜进行取向和相分析的补充，而且它还有其独特的地方（微区、快速等）。5.总结归纳起来，EBSD 技术具有以下四个方面的特点：（1）对晶体结构分析的精度已使 EBSD 技术成为一种继 X 光衍射和电子衍射后的一种微区物相鉴定新方法；（2）晶体取向分析功能使 EBSD 技术已逐渐成为一种标准的微区织构分析技术新方法；（3）EBSD 方法所具有的高速（每秒钟可测定 100 个点）分析的