T∕CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

1、ICS 31.140 L 21T/CEMIA 0062018膜厚监控用石英晶振片Quartz crystal resonator for film thickness control2018-12-14 发布2019-03-14 实施中国电子材料行业协会发布T/CEMIA 0062018中国电子材料行业协会团体标准膜厚监控用石英晶振片T/CEMIA 0062018*中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号( 100029)北京市西城区三里河北街16号(100045)网址：www. spc. org. cn服务热线：400-168-00102019年4月第一版*书号：155066 2-

2、34127版权专有侵权必究I库七七 标准下载本标准按照GB/T 1.12009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国电子材料行业协会提出并归口。本标准主要起草单位：唐山万十和电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司、唐山国芯晶源电子 有限公司、北京晨晶电子有限公司、江苏省东海硅产业科技创新中心。本标准主要起草人：王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔。库七七 标准下载T/CEMIA 0062018膜厚监控用石英晶振片1范围本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标

3、志、包 装、运输、贮存的要求。本标准适用于半导体、:LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。 2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 191一2008包装储运图示标志GB/T 2421.12008 电子电工产品环境试验概述和指南GB/T 2828.12012计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样 计划GB/T 33522012人造石英晶体规范与使用指南GB/T 12273.12017有质量评

4、定的石英晶体元件 第1部分：总规范SJ/Z 9154.31987利用有并电容C。补偿的k网络相位法测量频率高达200 MHz的石英晶体元 件两端网络参数的基本测量方法RoHS指令/2011/65/EU关于在电子设备中限制使用有害物质的欧盟议会和欧盟理事会第2011/ 65/EU号指令3术语和符号GB/T 12273.12017,GB/T 33522012界定的术语和定义适用于本文件。4分类和标记4.1型号按照石英晶振片外径、电极膜材料、电极形状差异分为不同型号的产品。4.2 标记产品标记方法应符合以下规定：W XX YY ZZ电极图形代码，01满电极图形，02双锚形电极电极膜材代码，Au络金膜

5、，A1银铝膜，Ag银膜 直径代码，14直径为13.97 mm，12直径为12.45 mm 石英晶振片示例：W 14 AuOl代表直径为13.97 mm、絡金电极、双面满电极图形石英晶振片。1库七七 标准下载T/CEMIA 00620185要求 5.1人造石英晶体材料用于制造产品的人造石英晶体材料应符合GB/T 33522012.其中:a）包裹体密度3级；b）红外质量级别（3级（2值180万）；c）腐蚀隧道密度3级（100条/cm2）。5.2结构和外形尺寸产品结构和外形尺寸公差见图1图4。单位为毫米a）沉积面（平面）013 0. 10於 13. 97 0. 03b）辅助面（凸面）注：图中阴影中部

6、分为电极，其材料为金（Au）、银（Ag）或银铝（AgAl），由具体型号确定。图1W14YY01型石英晶振片外形尺寸单位为毫米a）沉积面（平面）技4 汐 13 士 0. 10 (13. 970. 03b）辅助面（凸面）注：图中阴影中部分为电极，其材料为金（Au）、银（Ag）或银铝（AgAl），由具体型号确定。图2W14YY02型石英晶振片外形尺寸单位为毫米12. 45 0.03b）辅助面（凸面）a） 沉积面（平面）注：图中阴影中部分为电极，其材料为金（Au）,银（Ag）或银铝（AgAl）,由具体型号确定。图3W12YY01型石英晶振片外形尺寸单位为毫米a） 沉积面（平面）b）辅助面（凸面）注：图

7、中阴影中部分为电极，其材料为金（Au）、银（Ag）或银铝（AgAl）.由具体型号确定。图4W12YY02型石英晶振片外形尺寸5.3性能参数石英晶振片的性能参数应满足表1的规定。表1性能参数项目要求晶片直径/ mm13.9712.45标称频率/MHza4,5,6负载电容/pF串联（）激励电平/Mw100 Max调整频差/kHz73库七七 标准下载T/CEMIA 0062018表1 (续)项目要求谐振电阻/fl1520并电容/pF01 型31，02 型125 k3实际频率可在标称频率范围内士50 kHz选用。5.4激励电平相关性石英晶振片的激励电平相关性应满足表2的规定。表2激励电平相关性序号谐振

8、电阻/fl电阻比值K r215525102.0310 201.8420 3525025.6外观质量崩边小于0.1 mm，无刀痕、划痕、裂纹、炸口、附着粉、阴阳面、印痕、水印、花斑、油污、污染物等 缺陷。6试验和测量方法6.1般规定试验条件应满足GB/T 2421.12008中5.3的规定。a) 温度 15 C 35 C;b) 相对湿度45%75%；c) 气压 86 kPa106 kPa(860 mbar1 060 mbar)。产品在测量温度下的放置时间应不少于1 h。受控恢复条件和干燥条件应满足GB/T 2421.1- 2008中5.4的规定。6.2频率和谐振电阻按GB/T 12273.120

9、17中4.7.1的规定进行。测量温度：25 C 2 C，激励电平：100 MW。6.3激励电平相关性按 GB/T 12273.12017 中 4.7.2 的规定进行。6.4 无用响应按GB/T 12273.12017中4.7.4的规定进行。扫描范围及扫描点数应按表3规定的要求，激励电 平：100 MW。6.5 并电容按 GB/T 12273.12017 中 4.7.5 的规定进行。6.6品质因数2按SJ/Z 9154.31987规定的方法进行。6.7尺寸尺寸应采用非接触测量，测量工具的选择应保证产品尺寸精度的要求。6.8外观质量用510倍放大镜在日光灯下测量裂纹、炸口、崩边，在强灯光下目检破碎

10、、附着粉、阴阳面、污染物 等缺陷。6.9等效的测量方法允许采用等效测量方法，但在出现争议时以本标准规定的测量方法为基准方法。7检验规则7.1检验分类检验分为逐批检验、鉴定检验和周期检验。7.2逐批检验7.2.1检验批构成检验批由同一条件下生产的同一型号、同一规格且一次提交检验的产品组成。7.2.2 检验项目顺序与分组逐批检验项目与顺序按表4的规定进行。表4逐批检验项目检验项目条款检查水平AQL尺寸6.7S-21.5频率和谐振电阻6.2n0.25并电容6.5品质因数Q6.6外观质量抽样与检查水平逐批检验按GB/T 2828.12012中的一次正常抽样方案进行。检查水平、AQL按表

11、4规定。 7.2.4合格判定被检验样品有任意1项不符合表1要求的判定为样品不合格。本批产品不合格样品数达到和超过表4和GB/T 2828.12012规定的允许不合格数则判定本批 产品为不合格批。7.2.5不合格处理经逐批检验不合格的检验批，经100%测试剔除不合格品后，允许再次提交检验，但应按 GB/T 2828.12012规定的转移原则转人加严检验。7.3鉴定检验和周期检验7.3.1 总则新产品试制定型前进行鉴定检验；检验要求同周期检验。有下列情况之一时，应进行周期检验：a）材料或工艺变更后；b）生产设备大修或更新后；c）停产超过3个月，再次恢复生产时；d）正常生产时，每6个月进行一次。7.

12、3.2抽样用于检验的样品应从本周期生产并经逐批检验合格的产品中随机抽取。7.3.3检验项目、顺序与分组鉴定检验和周期检验的检验项目、顺序、分组、样品数、合格判定按表5的规定进行。7T/CEMIA 0062018表5鉴定检验和周期检验项目分组检验项目条款样品数允许不合格数1尺寸6.760外观质量6.82频率和谐振电阻6.26激励电平相关性6.3无用响应6.4并电容6.5品质因数Q检验批按同一产品规格和标称频率划分代表组进行周期检验。8标志、包装、运输、贮存8.1 标志在产品包装标签上应印有以下内容：a）公司标志；b）产品型号，按4.2格式进行标记；c）生产批号。8.2包装8.2.

13、1包装材料包装箱、盒、盘袋所使用的材料应为中性，材料中铅、汞、镉、六价铬及PBB（多溴联苯）、PBDE（多溴 二苯醚）、DEHP、BBP、DBP、DIBP等有害物质满足RoHS指令/2011/65/EU的要求。8.2.2 内包装内包装为专用托盘包装或纸盒，并以真空袋密封。除非合同另有规定，托盘或纸盒上应注明：a）制造厂名称或商标；b）产品型号；c）晶振片标称频率；d）每盘（盒）的晶振片数量；e）包装日期，操作人员编号。8.2.3外包装外包装为塑料或纸箱包装。箱内壁衬有防潮纸或塑料膜。除非另有规定，箱内应有装箱单，其上应 载明：a）产品名称；b）标称频率；c）合同号或批号；d）产品数量；e）制造厂名或商标；f）装箱日期；g）检验员章（代号）；h）质检部门章。包装箱表面应按GB/T 191-2008的规定标明“防潮”“轻放”等图形和字样，或满