CDS-(中央供酸系统)

1、Enabling aMicroelectronic WorldCDS (中央供酸系統中央供酸系統) Center Chemical Dispense System Prepared by：Date： 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS ：系统目的系统目的2 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学品以清洗制

2、程设备零配件 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID3客戶需求客戶需求:N2ChemicalChemical可不可以直接引作工艺使用?温度、压力、流量、方向、位置温度、時间、浓度 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID化学品之种类与用途化学品之种类与用途(一一)4 酸性: 腐蚀性腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4. 毒性毒

3、性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 碱性:NH4OH,KOH,Developer. 有机溶剂 易燃液体易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. 腐蚀性有机溶剂腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2. 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID化学品之种类与用途化学品之种类与用途(二二)5 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Informati

4、on3/30/2022, USER ID系统基本要求系统基本要求6操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品兼容微粒子控制：过滤器循环过滤满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、 H3PO4自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子取样分析泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)系统诊断：Pump、Filter 、Valve运转时数维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能化学品用量统计 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Inf

5、ormation3/30/2022, USER ID化学品供应质量要求化学品供应质量要求7Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics11000.510 PPb.8100-2000.2-0.31-2 PPb.550-1000.21 PPb.35200.21 PPb.25100.1100 PPt 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统流程图系统流程图(一一) 8CCBStorge Tank12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBT

6、ool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote1m3200LDrum化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank适合使用量较大之化学品,如H2O2,H2SO4等适合使用量中等之化学品,如HF,H3PO4等适合使用量较小之化学品,如BOE,HNO3等将化学品经循环过滤,再经N2或Pump加压输送至有需求之生产机台内将化学品经管路分配至不同生产机台S可依实际用量需求选择使用Tee BoxSampling Box 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USE

7、R ID系统流程图系统流程图(二二) 9TOOL机台机台OCPSCADA ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加强讯号循环过滤 25”后供酸启动CDU 循环过滤后，同时由OCP供应GN2，打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOLCHEMICAL LINEGN2 LINESIGNAL LINE供酸VMB泄漏警报 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统流程图系统流程图(三三) 10Tool SideOCP SideTroubleReadyStopReq

8、uestEMO1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应 若是，则回传Ready讯号若否，则回传Trouble讯号3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品+24V 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDChemical 输送方式：输送方式：11 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USE

9、R IDChemical 供酸方式（供酸方式（1）：桶槽供酸）：桶槽供酸12 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDChemical 供酸方式（供酸方式（2）：槽车供酸）：槽车供酸13 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS 设备布置设备布置：14 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary

10、 Business Information3/30/2022, USER ID设备位置：设备位置：15洁净室：1. 使用点2. VMB阀分支箱)POU(使用点)机台操作控制介面电控程式连结高架地板1. CDSVMB管2. VMB 需求3.监控线4. 液传感器Utility Sub FAB1. 管2. 连接线裝置3. VMB, Tee Box 裝置4. 管连接 (CDSVMB)5. 管连接 (VMBPOU) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方

11、式：16用用： 80200L/Day 使用：较少 用pump或压送的方式Pump系統系統 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方式：17用用： 3004000L/Day 使用：较多 用pump或压送的方式压压输输送系統送系統 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式

12、：系统配置方式：18用用： 4000L/Day以上 用压送的方式Pump系統系統 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方式：19Pump系統系統 Pump A 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方式：20Pump系統系統 Pump B With day tank 2006

13、 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方式：21Pressure Type Pump A 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方式：22Pressure Type Pump B With day tank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Busin

14、ess Information3/30/2022, USER ID系统配置方式：系统配置方式：23 Tank Lorry Type4000L/Day以上以上 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCCB流程图流程图GN2linetStorageTank充填槽车CDU 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDU之流程图之流程图(型一型一)Ou

15、tletPumpTransferFilterSupplyFilterGN2inletCDAinletDrumDay TankTank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDU之流程图之流程图(型二型二)OutletDrumTankPumpTrans/RecFilterSupplyFilter 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDTEE-

16、BOX 构造构造主管路主管路VMBDrain 排水Port手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器1.箱体以PP制成2.CPVC外盖3.箱体与外盖间以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸碱类适用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDVMB 构造构造箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain PortinletTo ToolsCDA inlet From OCP to 气动阀For The Future UsePurge inletDrain PortExhaust气动阀手

17、动阀保养管路时需先以PN2将化学品 Purge至机台端 Drain41321.箱体以PP制成2.CPVC外盖3.箱体与外盖间以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸碱类适用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDSAMPLING-BOX 构造构造1.将取样瓶置入,并关闭 箱门2.按压按钮,再打开取样 手动阀3.化学品流出达需求之 量后,关闭手动阀,放开 按钮4.打开箱门,盖上瓶盖,取 出取样瓶5.清洁取样箱按钮手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain排水 Po

18、rtinlet1.箱体以SUS制成2.钢丝玻璃外盖3.箱体与外盖间以 O-Ring密合有机溶剂类适用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS ：系统设备之材料要求系统设备之材料要求30 一般无机酸碱类 外管：CPVC（氯化聚氯乙烯） 内管：PFA（可溶性可溶性聚四氟乙烯）聚四氟乙烯）Piping & Tubing 管件：铁弗龙材质制品 有机溶剂类 外管：SUS 304 内管：SUS 316L EP 管件：SUS 316L以上制品 有机碱类 外管：SUS

19、304 内管：PFA Piping & Tubing 管件：铁弗龙材质制品 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID31ATC Bumping 化化学学供酸系統供酸系統结构：结构：200LD RU MD RU M200LVALVE BO XCD MM ACH INE TO O L 2M ACH INE TO O L 1 簗絃诀 恨隔跋T BO XPLCRem ot e boxChem i cal roomFAB 2006 Amkor Technology, In

20、c.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID32ATC Bumping CDS控制控制：CUB 监控室123CDMT BoxV Box用酸机台CDM PLCRemote boxCom 0VDC12 VDC12 VRequiredEMO & ReadyReady所有接点都导通才会供酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID33ATC Bumping CDS Hook up 介面及要求介面及要

21、求V BoxRemote Box用酸设备6芯控制线每一每一点点Hook up包含一管路及控制包含一管路及控制信号信号配配线线1.管路A Solvent : SUS外管 + PFA 內管B ACID PVC 外管 + PFA 內管C V Box预留1/2阀口，hook up管径则视设备需要而定 2.控制线路 : 6芯以上控制线路测试A Required 信号正常。B设备端EMO信号正常。CRequired 信号信号下，下，EMO信号信号打打开开是是否強制停止要酸否強制停止要酸信号信号。D开关供酸。部份机台並沒有EMO信号接点，而使用本身的控制系統以断绝Required，此時更必须要求设备端模拟E

22、MO狀況以确保安全。 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID34ATC Bumping CDS混酸混酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID35ATC Bumping CDS混酸混酸体积体积比比 & 重量比重量比比重 = 质量 体积 * 看客戶需求 *目前比例 (体积比)1.3M H2SO4 H2O2 H3PO4 DI40 100

23、300 500 92602.AZ400K DI 1 : 33.AZ Dev. DI 3 : 14.BOE DI 1 : 3Mix TankDrain粗调微调供酸Wet N2Sensor在调整配比的过程中，换算成重量不仅方便也更准确。 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER ID36ATC Bumping CDS Mix systemmix. tankDay tank混酸量杯組湿氮气 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information3/30/2022, USER IDCDS ：运转操作注意事项运转操作注意事项(一一)37 充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施 工作前，先行思考及演练各细节后，再行动 工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认 正确选用及使用适当防护器具 正确处理化学品废弃物，避免造