第13.1次课位移测量

1、机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量第13次课第六章 位移测量第七章振动测试基础机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量第第6章章 位移测量位移测量6.1 常用位移测量方法常用位移测量方法 位移是线位移和角位移的统称。位移测量在机械工程中应用很广，在机械工程中不仅经常要求精确地测量零部件的位移和位置，而且力、扭矩、速度、加速度、流量等许多参数的测量，也是以位移测量为基础的。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 位移是向量，除了确定其大小之外，还应确定其方向。一般情况下，应使测量方向与位移方向重合，这样才能真实地测量出位移量的大小。如测量方向和位

2、移方向不重合，则测量结果仅是该位移在测量方向的分量。 位移测量时，应当根据不同的测量对象，选择适当的测量点、测量方向和测量系统。位移测量系统是由位移传感器、相应的测量放大电路和终端显示装置组成。位移传感器的选择恰当与否，对测量精度影响很大，必须特别注意。 针对位移测量的应用场合，可采用不同用途的位移传感器。表6-1中列出了较常见的位移传感器的主要特点和使用性能。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量表表6-1 常用位移传感器一览表常用位移传感器一览表型式型式测量范围测量范围精确度精确度直线性直线性特点特点电阻式滑线式线位移1300mm0.1%0.1%分辨力较好，可静态或动态测

3、量。机械结构不牢固角位移03600.1%0.1%变阻器式线位移11000mm0.5%0.5%结构牢固，寿命长，但分辨力差，电噪声大角位移060r0.5%0.5%应变式非粘贴的0.15%应变0.1%1%不牢固粘贴的0.3%应变2%3%使用方便，需温度补偿半导体的0.25%应变2%3%满刻度 20%输出幅值大，温度灵敏性高机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量电感式自感式变气隙型0.2mm1%3%只宜用于微小位移测量螺管型1.52mm测量范围较前者宽，使用方便可靠，动态性能较差特大型3002000mm0.15% 1%差动变压器0.0875mm0.50.5%分辨力好，受到磁场干扰时需

4、屏蔽涡电流式2.5250mm1% 3%3%分辨力好，受被测物体材料、形状、加工质量影响同步机3600.170.5%可在1200r/min转速工作，坚固，对温度和湿度不敏感微动同步器101%0.05%非线性误差与变压比和测量范围有关旋转变压器600.1%电容式变面积10-3103mm0.005%1%受介电常数因环境温度、湿度而变化的影响变间距10-310mm0.1%分辨力很好，但测量范围很小，只能在小范围内近似地保存线性机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量霍尔元件1.5mm0.5%结构简单，动态特性好感应同步器直线式10-3104mm2.5m 250mm模拟和数字混合测量系统，

5、数字显示(直线式感应同步器的分辨力可达1m)旋转式0o3600.5计量光栅长光栅10-3103mm3m 1m同上(长光栅分辨力可达1m)圆光栅0o3600.5”磁尺长磁尺10-3104mm5m 1m测量时工作速度可达12m/min圆磁尺0o3601”角度编码器接触式0o36010-6rad分辨力好，可靠性高光电式0o36010-6rad系指这种传感器形式能够达到的最大可测位移范围，而每一种规格的传感器都有其一定的，远小于此范围的工作量程。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量6.2 用光栅测量位移用光栅测量位移 随着数字技术的发展，出现了各式各样的数字式位移传感器。 常用的数字

6、位移传感器有计量光栅、磁尺、编码器和感应同步器等。 都有线位移测量和角位移测量两种构造形式。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量(1) 光栅测量原理光栅测量原理光栅是在基体上刻有均匀分布条纹的光学元件。用于位移测量的光栅称为计量光栅。a)计量光栅分为投射式及反射式两种。前者使光线通过光栅后产生明暗条纹，后者反射光线并使之产生明暗条纹。b)测量直线位移的光栅称为直光栅，测量角位移的光栅称为圆形光栅。 在直光栅中，若a为刻线宽度，b为缝隙宽度，则Wa+b称为光栅的栅距(也称光栅常数)。通常ab，或a:b1.1:0.9。线纹密度一般为每毫米100、50、25和10线。有些栅距达1

7、2mm，但很少用。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 标尺光栅标尺光栅的有效长度即为测量范围。必要时，标尺光栅还可接长。 指示光栅指示光栅比标尺光栅短得多，但两者刻有同样栅距。 .使用时两光栅相互重叠，两者之间有微小的空隙d（取dW 2/，为有效光波长），使其中一片固定，另一片随着被测物体移动，即可实现位移测量。光栅光栅主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件光电元件等组成。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量光栅式位移传感器光栅式位移传感器 优点优点：具有分辨力高(可达1m或更小）、测量范围大（几乎不受限制）、动态范围宽

8、等优点，且易于实现数字化测量和自动控制，是数控机床和精密测量中应用较广的检测元件。 缺点缺点： 对使用环境要求较高，在现场使用时要求密封，以防止油污、灰尘、铁屑等的污染。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 “莫尔条纹莫尔条纹”当指示光栅和标尺光栅的线纹以一个微小的夹角相交时，由于挡光效应(当线纹密度50条/mm时)或光的衍射作用(当线纹密度100条/mm时)，在与光栅线纹大致垂直的方向上(两线纹夹角的等分线上)产生出亮、暗相间的条纹，这些条纹称为“莫尔条纹莫尔条纹”。 如图6.1莫尔条纹的生成所示。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量图6.1机械工程测试技

9、术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量莫尔条纹有如下的重要特征：(1)莫尔条纹由光栅的大量刻线共同形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。 (2)在两光栅沿刻线的垂直方向作相对移动时，莫尔条纹在刻线方向移动。两光栅相对移动一个栅距W，莫尔条纹也同步移动一个间距BH，固定点上的光强则变化一周。而且在光栅反向移动时，莫尔条纹移动方向也随之反向。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 式中BH莫尔条纹的间距； W光栅栅距； 两光栅刻线间的夹角(rad)。 (6-1)(3)莫尔条纹的间距与两光栅线纹夹角之间的关系为机械工程测试技术基础机械工程测试技

10、术基础第六章位移测量 从式(6-1)可知，当W一定时，越小，则B越大。这相当于把栅距放大了1/倍，提高了测量的灵敏度。 一般夹角很小，W可以做到约0.01mm，而B可以做到68mm。采用特殊电子线路可以区分出B/4的大小，因此可以分辨出W/4的位移量。例如W=0.01mm的光栅可以分辨0.0025mm的位移量。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则光信号被转换为电信号(电压或电流)输出。输出电压信号的幅值为光栅位移量x的函数，即 (6-2)式中u0输出信号中的直流分量； um输出正弦信号的幅值； x两光栅间的瞬时相对位移。 机械工

11、程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 将该电压信号放大、整形使其变为方波，经微分电路转换成脉冲信号，再经过辨向电路和可逆计数器计数，则可在显示器上以数字形式实时地显示出位移量的大小。 位移量为脉冲数与栅距的乘积。当栅距为单位长度时，所显示的脉冲数则直接表示出位移量的大小。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量(2) 辨向原理辨向原理 注意到无论可动光栅片是向左或向右移动，在一固定点观察时，莫尔条纹同样都是作明暗交替的变化，后面的数字电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法判别光栅移动的方向，也不能正确测量出有往复移动时位移的大小。因而必须在测量电路中加入辨向电路。 .

12、机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量在图6. 2辨向逻辑原理中，两个相隔1/4莫尔条纹间距的光电元件，将各自得到相差/2的电信号u1和u2。它们经整形转换成两个方波信号u1和u2。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 从图中波形的对应关系可看出，当光栅沿A向移动时，u1经微分电路后产生的脉冲（图中充填的脉冲）正好发生在u2处于“l”电平时，从而经 Yl 输出一个计数脉冲；而u1经反相并微分后产生的脉冲（图中未充填的脉冲）则与u2的“0”电平相遇，与门Y2被阻塞，没有脉冲输出。 当光栅沿 方向移动时，u1的微分脉冲发生在u2为“0”电平时，与门Y1无脉冲输出；

13、而u1的反相微分脉冲则发生在u2的“1”电平时，与门Y2输出一个计数脉冲。A机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 u2的电平状态实际上是与门的控制信号，移动方向不同，u1所产生的计数脉冲的输出路线也不同。 于是可以根据运动方向正确地给出加计数脉冲或减计数脉冲，再将其输入可逆计数器，即可实时显示出相对于某个参考点的位移量。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量(3) 细分技术细分技术 若以移过的莫尔条纹的数来确定位移量，其分辨力为光栅栅距。 为了提高分辨力和测得比栅距更小的位移量，可采用细分技术。 细分方法在莫尔条纹信号变化的一个周期内，给出若干个计数脉冲来减小

14、脉冲当量的方法。 细分方法有机械细分和电子细分两类。 。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 电子细分法中较常用的是四倍频细分法。在辨向原理中已知，在相差 BH/4 位置上安装两个光电元件，得到两个相位相差/2的电信号。若将这两个信号反相就可以得到四个依次相差/2 的信号，从而可以在移动一个栅距的周期内得到四个计数脉冲，实现四倍频细分。也可以在相差BH/4 位置上安放四只光电元件来实现四倍频细分。这种方法不可能得到高的细分数，因为在一个莫尔条纹的间距内不可能安装更多的光电元件。但它有一个优点，就是对莫尔条纹产生的信号波形没有严格要求。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础

15、第六章位移测量6.3 光电盘和编码盘光电盘和编码盘 光电盘是一种最简单的光电式转角测量元件。 光电盘测量系统的结构和工作原理如图6.3所示，它由光源、聚光镜、光电盘、光栏板、光电管、整形放大电路和数字显示装置组成。(1) 光电盘光电盘机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 光电盘和光栏板可用玻璃研磨抛光制成，经真空镀铬后用照相腐蚀法在镀铬层上制成透光的狭缝，狭缝的数量可为几百条或几千条。 也可用精制的金属圆盘在其圆周上开出一定数量的等分槽缝，或在一定半径的圆周上钻出一定数量的小孔，使圆盘形成相等数量的透明和不透明区域。 光栏

16、板上有两条透光的狭缝，缝距等于光电盘槽距或孔距的1/4，每条缝后面放一只光电管。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 光电盘装在回转轴上，轴的另一端装有齿轮，该齿轮与驱动齿轮或齿条啮合时，可带动光电盘旋转。 回转轴也可以直接被主轴或丝杠驱动。 光电盘置于光源和光电管之间，当光电盘转动时，光电管把通过光电盘和光栏板射来的忽明忽暗的光信号转换为电脉冲信号，经整形、放大、分频、计数和译码后输出或显示。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 由于光电盘每转发生的脉冲数不变，故由脉冲数即可测出被测轴的转角或转速。也可根据传动装置的速比换算出直线运动机构的直线位移。 根据

17、光栏板上两条狭缝中信号的先后顺序，可以判别光电盘的旋转方向。 由于光电盘制造精度较低，只能测增量值，易受环境干扰，所以多用在简易型和经济型数控机床上。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 编码盘是把被测转角直接转换成相应代码的检测元件。 编码盘有光电式、接触式和电磁式三种。(2) 编码盘编码盘光电式码盘是目前应用较多的一种，它是在透明材料的圆盘上精确地印制上二进制编码。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 图6.4所示为四位二进制码盘，码盘上各圆环分别代表一位二进制的数字码道，在同一个码道上印制黑（图中表示为红色）白等间隔图案，形成一套编码。黑色不透光区和

18、白色透光区分别代表二进制的“0”和“1”。在一个四位光电码盘上，有四圈数字码道，在圆周范围内可编数码数为24=16个。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 工作时，码盘的一侧放置电源，另一侧放置光电接受装置，每个数位都对应有一个光电管及放大、整形电路。 码盘转到不同位置，光电元件接受光信号，并转成相应的电信号，经放大整形后，成为相应数码电信号。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 但由于光电管安装误差的影响，当码盘回转在两码段交替过程中，就会有一些光电管越过分界线，而另一些尚未越过，于是产生读数误差。 例如，当码盘顺时针方向旋转，由位置“0111”变为“10

19、00”时，这四位数要同时都变化，可能将数码误读成16种代码中的任意一种（这取决于光电管位置的偏离情况），如读成1111、1011、1101、0001等，产生无法估计的数值误差，这种误差称为非单值性误差。为消除非单值性误差，可采用以下的方法。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 循环码又称为格雷码，它也是一种二进制编码，只有“0”和“l”两个数。1)循环码盘循环码盘图6.5所示为四位二进制循环码盘。这种编码的特点是任意相邻的两个代码间只有一位代码有变化，即由“0”变为“1”或“1”变为“0”。因此，在两数变换过程中，因光电管安装不准等产生的阅读数误差，最多不超过“1”，只可能

20、读成相邻两个数中的一个数。所以，它是消除非单值性误差的一种有效方法。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量2)带判位光电装置的二进制循环码盘带判位光电装置的二进制循环码盘 这种码盘是在二进制循环码盘的最外圈增加一圈信号位构成的。如图所示，该码盘最外圈上的信号位的位置正好与状态交线错开，只有信号位处的光电元件有信号才能读数，这样就不会产生非单值性误差。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量6.4 用磁尺测量位移用磁尺测量位移 磁尺位置检测装置磁尺位置检测装置是由磁性标尺、磁头磁性标尺、磁头和和检测电检测电路路组成组成，该装置方框图如下图所示。 磁尺的测量原理磁尺的

21、测量原理类似于磁带的录音原理。 在非导磁的材料如铜、不锈钢、玻璃或其它合金材料的基体上镀一层磁性薄膜(常用Ni-Co-P或Fe-Co合金)。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 测量线位移测量线位移时，不导磁的物体可以做成尺形(带形)；测量角位移测量角位移时，可做成圆柱形。 在测量前在测量前，先按标准尺度以一定间隔(一般为0.05mm)在磁性薄膜上录制一系列的磁信号。这些磁信号就是一个个按SN-NS-SN-NS方向排列的小磁体，这时的磁性薄膜称为磁栅磁栅。 测量时测量时，磁栅随位移而移动（或转动）并用磁头读取(感应)这些移动的磁栅信号，使磁头内的线圈产生感应正弦电动势。对这

22、些电动势的频率进行计数，就可以测量位移了。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 优点优点： 磁性标尺磁性标尺制作简单，安装调整方便，对使用环境的条件要求较低：如对周围电磁场的抗干扰能力较强；在油污、粉尘较多的场合下使用有较好的稳定性。 用途用途：高精度的磁尺位置检磁尺位置检测装置测装置可用于各种测量机、精密机床和数控机床。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量1) 磁性标尺磁性标尺 磁性标尺（简称磁尺）按其基体形状不同可分成 （1) 平面实体型磁尺平面实体型磁尺 磁头和磁尺之间留有间隙，磁头固定在带有板弹簧的磁头架上。 磁尺的刚度和加工精度要求较高，因而成

23、本较高。 磁尺长度一般小于600mm，如果要测量较长距离，可将若干磁尺接长使用。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量（2) 带状磁尺带状磁尺 带状磁尺是在磷青铜带上镀一层Ni-Co-P合金磁膜，带宽为70mm，厚0.2mm，最大长度可达15m。 磁带固定在用低碳钢做的屏蔽壳体内，并以一定的预紧力绷紧在框架或支架中，使其随同框架或机床一起胀缩，从而减小温度对测量精度的影响。 磁头工作时与磁尺接触，因而有磨损。由于磁带是弹性件，允许一定的变形，因此对机械部件的安装精度要求不高。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 （3） 线状磁尺线状磁尺 材料材料：线状磁尺

24、是在直径为2mm的青铜丝上镀Ni-Co合金或用永磁材料制成。 安装安装:线状磁尺套在磁头中间，与磁头同轴，两者之间具有很小的间隙。磁头是特制的，两磁头轴向相距/4（为磁化信号的节距）。特性特性：由于磁尺包围在磁头中间，对周围电磁场起到了屏蔽作用，所以抗干扰能力强，输出信号大，系统检测精度高。但线膨胀系数大，所以不宜做得过长，一般小于1.5mm。用途：用途：线状磁尺的机械结构可做得很小，通常用于小型精密数控机床、微型测量仪或测量机上，其系统精度可达0.002mm/300mm（4） 圆型磁尺圆型磁尺 圆型磁尺的磁头和带状磁尺的磁头相同，不同的是将磁尺做成磁盘或磁鼓形状，主要用来检测角位移。 机械工

25、程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 近年来发展了一种粗刻度磁尺粗刻度磁尺，其磁信号节距为4mm，经过1/4、1/40或1/400的内插细分，其显示值分别为1、0.1、0.01mm。 这种磁尺制作成本低，调整方便，磁尺与磁头之间为非接触式，因而寿命长。 适用于精度要求较低的数控机床。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量2) 磁头磁头 磁头是进行磁电转换的变换器，它把反映空间位置的磁信号转换为电信号输送到检测电路中去。 普通录音机上的磁头输出电压幅值与磁通变化率成比例。属于速度响应型磁头。 根据数控机床的要求，为了在低速运动和静止时也能进行位置检测，必须采用磁通响应

26、型磁头。这种磁头用软磁材料(如铍莫合金)制成二次谐波调制器。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量其结构如图所示，它由铁心上两个产生磁通方向相反的励磁绕组和两个串联的拾磁绕组组成。将高频励磁电流通入励磁绕组时，在磁头上产生磁通1。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 当磁头靠近磁尺时，磁尺上的磁信号产生的磁通0进入磁头铁心，并被高频励磁电流产生的磁通1所调制。于是在拾磁线圈中感应电压为 式中U0感应电压系数； 磁尺磁化信号的节距； x磁头相对于磁尺的位移； 励磁电流的角频率。 (6-3)机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 为了辨别磁头在磁尺

27、上的移动方向，通常采用间距为(m1/4)(m为任意正整数)的两组磁头，其输出电压分别为 U1和U2是相位相差90的两列脉冲，至于哪个导前，则取决于磁尺的移动方向。根据两个磁头输出信号的超前或滞后，可确定其移动方向。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量3) 检测电路检测电路 磁尺必须和检测电路配合才能进行测量。 除了励磁电路以外，检测电路检测电路还包括滤波、放大、整形、倍频、细分、数字化和计数等线路。 根据检测方法不同，检测电路分为鉴幅型鉴幅型和鉴相型鉴相型两种。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量（1） 鉴幅型电路鉴幅型电路 如前所述，磁头有两组信号输出，

28、将高频载波滤掉后则得到相位差为/2的两组信号 磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个正(余)弦信号，其幅值经处理后可进行位置检测。这种方法的线路比较简单，但分辨率受到录磁节距的限制，若要提高分辨率就必须采用较复杂的倍频电路，所以不常采用。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量（2）鉴相型电路鉴相型电路 采用相位检测的精度可以大大高于录磁节距，并可以通过提高内插脉冲频率提高系统的分辨力，可达1m。 参见式(6-3)，将一组磁头的励磁信号移相90，则输出电压为 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 在求和电路中相加，则得磁头总输出电压为 显然，合成输出电压U的幅值恒

29、定而相位随磁头与磁尺的相对位置x变化。 (6-7)有振荡器发出的正弦波信号一路经90移相后经功率放大送至磁头1的励磁绕组，另一路经功率放大送至磁头2的励磁绕组。将两磁头的输出信号送入求和电路中相加，并经带通滤波器、限幅、放大整形得到与位置量有关的信号，送入检相内插电路中进行内插细分，得到分辨率为预先设定单位的计数信号。计数信号送入可逆计数器，即可进行数字控制和数字显示。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 磁尺制造工艺比较简单，录磁、消磁都较方便。若采用激光录磁，可得到更高的精度。直接在机床上录制磁尺，不需安装、调整工作，避免了安装误差，从而得到更高的精度。磁尺还可以制作得

30、较长，用于大型数控机床。 目前数控机床的快速移动的速度已达到24m/min，因此，磁尺作为测量元件难以跟上这样高的反应速度，使其应用受到限制。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量6.5 激光激光高度相干性：高度相干性：相干波是指两个具有相同方向、相同频率和相位差相同的波。普通光源是自发辐射光，是非相干光。激光是受激辐射光，具有高度的相干性。 激光与普通光相比具有许多特殊性能：机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量b) 方向性好方向性好： 普通光向四面八方发光，而激光器发出的激光发散角很小，几乎与激光器的反射镜面垂直。如配置适当的光学准直系统，其发射角可小到10

31、-4rad以下，几乎是一束平行光。c) 单色性单色性： 普通光源包含许多波长，所以具有多种颜色。如日光包含七种颜色，其相应波长从760380nm。激光的单色性高，如红宝石激光器发射激光的波长为694.3nm。 d)亮度高亮度高：由于激光束极窄，所以有效功率和照度特别高。因此，激光广泛应用于长距离，高精度的位移测量。机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量。根据光的干涉原理，两列具有固定相位差，而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象，如图6.9光的干涉现象所示。1) 激光干涉法测距原理激光干涉法测距原理 机械工程测试技术基础机械工程测试技

32、术基础第六章位移测量 由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和透射光束S2。 两光束分别由固定反射镜 M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。 若两列光S1和S2的路程差为N(为波长，N为零或正整数)，实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大。 当S1和S2的路程差为/2(或半波长的奇数倍)时，合成光的振幅和为零，此时光强最小。 机械工程测试技术基础机械工程测试技术基础第六章位移测量 激光干涉仪激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接收并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。 由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确。所以利用干涉法测距的分辨力至少为/2，利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹。因此，用激光干涉法测距的精度极高。 。 激光干涉仪激光干涉仪由激光管、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成。 目前应用较多的是双频激光干涉仪