捷佳维创设备培训资料

1、1From:设备部23DS-300A 型管式高温扩散炉机台占地 总高约2510mm，长约6100mm，宽约1635mm。4总体结构分为五大部分，见结构平面布局图，从左到右依次为：工控机控制系统、推舟净化柜、废气柜、加热炉体柜、气源柜。工控机推舟净化柜废气柜加热炉体气源柜5 一、工控机控制部分：工控机控制部分结构上分为 1、2、3三层，每层控制对应层的推舟、炉温及气源部分，总而言之是每一层扩散氧化系统的控制中心。上方装有二个三色报警灯，一个它显示每层的运转状态，A 绿灯：设备正常运转中。B 黄灯：设备休止或其它。C 红灯：设备异常或故障。工控机旁边有4个按钮：从上到下分别是1、 急停按钮（停止机

2、械部分动作） 2、加热关 3、加热开 4、上电6二、推舟净化柜：推舟净化台顶部配置有照明装置，提供操作照明使用。正面是水平层流的高效过滤器及三层推舟的导轨及传动夹固件、对应的舟托装置。7高效过滤网挡板石英舟托石英舟SIC桨感应桨上是否有舟8在净化台架下面分别安装有对应的各层电器安装板和 PLC 安装板及公共电气安装板。同时有一台风机。各层的电器安装板是带拖链的抽屉机构，便于调试和维修。每块板上装有 5 个RKCHA900温控仪，2个驱动器和一个开关电源以及断路器、熔断器、继电器、接线端子排等。9断路器熔断器继电器平移驱动器上下驱动器开关电源温控仪10RKCHA900温控仪：11PLC安装板主要

3、控制净化风机、流量电磁阀、开/关炉门、事件报警输出工艺提示、停止加热等。推舟的控制完全由工控机软件自动控制12三、废气柜废气柜主要是以排放工艺过程产生的废气，由耐腐、耐温的不锈钢制成特别是在工艺完成后，打开炉门时，炉管内剩余残余气体。顶上方安装有总进炉口吹气的调压阀和浮子流量计，以及厂务外围的废排管 炉门开关是由气缸控制的。关13四、加热炉体柜1、加热炉部分共有 3 管炉体。（1）顶部配置有水冷散热器以及 4 个散热风机，循环水将炉壳散发的热量带走。 （炉体顶部有厂务外围的热排管）（2）中部分层放置有 3个炉管，由于位置已经在安装的时候调节妥当，因此请勿挪动。 炉管上从左至右分别有6 个接线端

4、子，请务必根据接线端子及线头上的标号进行正确连接。连接时，请使线与炉管外壁保持一定的距离，以使电线不致接受外来的热源。 在炉管外壁，可以看到有 5 个热电偶接线，请不要无故移动它们。因为热电偶插入的位置对温度控制非常关键。每支热电偶上，分别有红(+)、绿(-)两根补偿导线接至电控板控制温控CH2,炉尾处有五支内热偶，直接接温控仪 CH1，时时控制反应管内温度。14电源线（每根都有编号）热电偶（测炉壁温度）15下层加热炉以下安装有3管加热炉的加热功率部件（可控硅、散热器、接触器、变压器、过零触发板等）可控硅散热风扇过零触发板16五、气源柜气源柜与炉架一样分为 1，2，3三层。顶部设置有排毒口，上

5、层的上部，设置有三路工艺气体的进气接口及压缩空气进口。接口以下设置安装有压力表，截止阀、减压阀，电磁阀，气动阀，以对进气进行控制调节。对应每层分别安装有相应的电磁阀、质量流量控制器。柜子的底层装有总电源断路器，恒温槽变压器以及控制电气板。17此部分为炉管尾部部分：喷淋管（POCL3、O2、大氮）尾排管（对炉管内抽风）冷凝瓶过滤瓶酸排管废排管18调节阀流量计压差表气动阀电磁阀CDA调节阀19此图为恒温槽 恒温槽主要是对POCL3进行控温，基本保持在20度。上限26度。 当温度高于上限温度时，恒温槽就会报警。控制面板控制开关源瓶20此部分为扩散机台电源控制开关，设置在气源柜底部。21 捷佳微创扩散

6、机台工作条件：1、环境温度：540； 2、大气压强：86kPa106kPa； 3、净化间净化级别：1000 级； 4、相对湿度：70%； 5、无高频及较强磁场的干扰； 6、电源：交流 380(110%)V，220(110%)V；频率：50(11%)Hz； 7、冷却水：软水；温度 1826；水压 0.2MPa0.4MPa； 8、设置排毒抽风口及排废、热气抽风口； 9、工艺气体纯度均为 99.999。 22捷佳微创扩散机台工作条件：1、炉膛有效内径： 300mm 适用于 5-6 英寸方片 2、温度控制范围： 4001100，最大 12503、温度控制方式： 5 点内外热电偶串级控制4、恒温区长度及精度（动态,即模拟工艺状态）： ：80011001/1100mm5、温度稳定性： 0。5/4h（880）6、 温度斜变能力： a最大可控升温速率： 16/min b最大降温速率： 6/min cRT90045min7、具有自动斜率升温及恒温功能。8、具有完善的超温、断偶、短路、断气报警保护9、净化工作台净化级别：1000 级10、送舟方式：采用 SiC 悬臂桨自动送片机构，舟速 1500mm/min 连续可调；舟定位精度1mm；最大承载重量为 18kg23 捷佳微创扩散机台技术指标：11、工艺过程由工业计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作12、尾气处理方