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文档简介
1、传感器技术综述摘 要:传感器技术作为信息技术的三大基础之一,是当前各发达国家竞相发展的高技术,是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。文章介绍了有关传感器的相关知识,回顾了传感器技术的发展历史,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究状况,并通过简述实例展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 关键词:传感器 传感器技术 技术发展 发展前景传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,是现代科技的开路先锋。美国早在80年代就声称世界已进入传感器时代,日本则把传感器技术列为十大技术之
2、首。日本工商界人士声称“支配了传感器技术就能够支配新时代”。世界技术发达国家对开发传感器技术部十分重视。美、日、英、法、德等国都把传感器技术列为国家重点开发关键技术之一。 传感器技术是一项当今世界令人瞩目的迅猛发展起来的高新技术之一,也是当代科学技术发展的一个重要标志,它与通信技术、计算机技术构成信息产业的三大支柱。如果说计算机是人类大脑的扩展,那么传感器就是人类五官的延伸,当集成电路、计算机技术飞速发展时,人们才逐步认识信息摄取装置传感器没有跟上信息技术的发展而惊呼“大脑发达、五官不灵”。 传感器技术是测量技术、半导体技术、计算机技
3、术、信息处理技术、微电子学、光学、声学、精密机械、仿生学、材料科学等众多学科相互交叉的综合性高新技术密集型前沿技术之一。传感器已广泛应用于航天、航空、国防科研、信息产业、机械、电力、能源、交通、冶金、石油、建筑、邮电、生物、医学、环保、材料、灾害预测预防、农林、渔业生产、食品、烟酒制造、机器人、家电等诸多领域,可以说几乎渗透到每个领域。一、传感器的定义现如今,信息处理技术取得的进展以及微处理器和计算机技术的高速发展,都需要在传感器的开发方面有相应的进展。微处理器现在已经在测量和控制系统中得到了广泛的应用。随着这些系统能力的增强,作为信息采集系统的前端单元,传感器的作用越来越重要。传感器已成为自
4、动化系统和机器人技术中的关键部件,作为系统中的一个结构组成,其重要性变得越来越明显。最广义地来说,传感器是一种能把物理量或化学量转变成便于利用的电信号的器件。国际电工委员会(IEC:InternationalElectrotechnical Committee)的定义为:“传感器是测量系统中的一种前置部件,它将输入变量转换成可供测量的信号”。按照Gopel等的说法是:“传感器是包括承载体和电路连接的敏感元件”,而“传感器系统则是组合有某种信息处理(模拟或数字)能力的传感器”。传感器是传感器系统的一个组成部分,它是被测量信号输入的第一道关口。进入传感器的信号幅度是很小的,而且混杂有干扰信号和噪声
5、。为了方便随后的处理过程,首先要将信号整形成具有最佳特性的波形,有时还需要将信号线性化,该工作是由放大器、滤波器以及其他一些模拟电路完成的。在某些情况下,这些电路的一部分是和传感器部件直接相邻的。成形后的信号随后转换成数字信号,并输入到微处理器。传感器系统的性能主要取决于传感器,传感器把某种形式的能量转换成另一种形式的能量。有两类传感器:有源的和无源的。有源传感器能将一种能量形式直接转变成另一种,不需要外接的能源或激励源. 无源传感器不能直接转换能量形式,但它能控制从另一输入端输入的能量或激励能传感器承担将某个对象或过程的特定特性转换成数量的工作。其“对象”可以是固体、液体或气体,而它们的状态
6、可以是静态的,也可以是动态(即过程)的。对象特性被转换量化后可以通过多种方式检测。对象的特性可以是物理性质的,也可以是化学性质的。按照其工作原理,传感器将对象特性或状态参数转换成可测定的电学量,然后将此电信号分离出来,送入传感器系统加以评测或标示。 各种物理效应和工作机理被用于制作不同功能的传感器。传感器可以直接接触被测量对象,也可以不接触。用于传感器的工作机制和效应类型不断增加,其包含的处理过程日益完善。因此常将传感器的功能与人类5大感觉器官相比拟:光敏传感器视觉; 声敏传感器听觉;气敏传感器嗅觉;化学传感器味觉;压敏、温敏、流体传感器触觉。虽然与当代的传感器相比,人类的感觉能力好得多,但也
7、有一些传感器比人的感觉功能优越,例如人类没有能力感知紫外或红外线辐射,感觉不到电磁场、无色无味的气体等。无一例外的,人们对传感器设定了许多技术要求,有一些是对所有类型传感器都适用的,也有只对特定类型传感器适用的特殊要求。针对传感器的工作原理和结构在不同场合均需要的基本要求是:高灵敏度、抗干扰的稳定性(对噪声不敏感)、线性以及容易调节(校准简易);高精度、高可靠性、无迟滞性、工作寿命长(耐用性);可重复性、抗老化、高响应速率、抗环境影响(热、振动、酸、碱、空气、水、尘埃)的能力;选择性、安全性(传感器应是无污染的)、互换性低成本;宽测量范围、小尺寸、重量轻和高强度、宽工作温度范围。二、传感器的分
8、类传感器工作的基本物理或化学效应;它们的用途;它们的输出信号类型以及制作它们的材料和工艺等。根据传感器工作原理,可分为物理传感器和化学传感器二大类: 传感器工作原理的分类物理传感器应用的是物理效应,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。 化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器,被测信号量的微小变化也将转换成电信号。有些传感器既不能划分到物理类,也不能划分为化学类。大多数传感器是以物理原理为基础运作的。化学传感器技术问题较多,例如可靠性问题,规模生产的可能性,价格问题等,解决了这类难题,化学传感器的应用将会
9、有巨大增长。按照其用途,传感器可分类为:压力敏和力敏传感器、位置传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、热敏传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。以其输出信号为标准可将传感器分为:模拟传感器将被测量的非电学量转换成模拟电信号;数字传感器将被测量的非电学量转换成数字输出信号(包括直接和间接转换);膺数字传感器将被测量的信号量转换成频率信号或短周期信号的输出(包括直接或间接转换);开关传感器当一个被测量的信号达到某个特定的阈值时,传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。在外界因素的作用下,所有材料都会作出相应的、
10、具有特征性的反应。它们中的那些对外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用来制作传感器的敏感元件。从所应用的材料观点出发可将传感器分成下列几类:(1)按照其所用材料的类别分:金属,聚合物,陶瓷,混合物。(2)按材料的物理性质分:导体,绝缘体,半导体,磁性材料。(3)按材料的晶体结构分:单晶,多晶,非晶材料。与采用新材料紧密相关的传感器开发工作,可以归纳为下述三个方向:一是在已知的材料中探索新的现象、效应和反应,然后使它们能在传感器技术中得到实际使用。二是探索新的材料,应用那些已知的现象、效应和反应来改进传感器技术。三是在研究新型材料的基础上探索新现象、新效应和反应,并在传感器技术中加
11、以具体实施。现代传感器制造业的进展取决于用于传感器技术的新材料和敏感元件的开发强度。传感器开发的基本趋势是和半导体以及介质材料的应用密切关联的。按照其制造工艺,可以将传感器区分为:集成传感器,薄膜传感器,厚膜传感器,陶瓷传感器。集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。陶瓷传感器采用标准的陶
12、瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。完成适当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。每种工艺技术都有自已的优点和不足。由于研究、开发和生产所需的资本投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。三、传感器的选用现代传感器在原理与结构上千差万别,如何根据具体的测量目的、测量对象以及测量?环境合理地选用传感器,是在进行某个量的测量时首先要解决的问题。当传感器确定之后,与之相配套的测量方法和测量设备也就可以确定了。测量结果的成败,在很大程度上取决于传感器的选用是否
13、合理。 1)根据测量对象与测量环境确定传感器的类型。要进行个具体的测量工作,首先要考虑采用何种原理的传感器,这需要分析多方面的因素之后才能确定。因为,即使是测量同一物理量,也有多种原理的传感器可供选用,哪一种原理的传感器更为合适,则需要根据被测量的特点和传感器的使用条件考虑以下一些具体问题:量程的大小;被测位置对传感器体积的要求;测量方式为接触式还是非接触式;信号的引出方法,有线或是非接触测量;传感器的来源,国产还是进口,价格能否承受,还是自行研制。在考虑上述问题之后就能确定选用何种类型的传感器,然后再考虑传感器的具体性能指标。2)灵敏度的选择。通常,在传感器的线性范围内,希望传感器的灵敏度越
14、高越好。因为只有灵敏度高时,与被测量变化对应的输出信号的值才比较大,有利于信号处理。但要注意的是,传感器的灵敏度高,与被测量无关的外界噪声也容易混入,也会被放大系统放大,影响测量精度。因此,要求传感器本身应具有较高的信噪比,尽员减少从外界引入的厂扰信号。传感器的灵敏度是有方向性的。当被测量是单向量,而且对其方向性要求较高,则应选择其它方向灵敏度小的传感器;如果被测量是多维向量,则要求传感器的交叉灵敏度越小越好。3)频率响应特性。传感器的频率响应特性决定了被测量的频率范围,必须在允许频率范围内保持不失真的测量条件,实际上传感器的响应总有定延迟,希望延迟时间越短越好。传感器的频率响应高,可测的信号
15、频率范围就宽,而由于受到结构特性的影响,机械?系统的惯性较大,因有频率低的传感器可测信号的频率较低。在动态测量中,应根据信号的特点(稳态、瞬态、随机等)响应特性,以免产生过火的误差。4)线性范围。传感器的线形范围是指输出与输入成正比的范围。以理论上讲,在此范围内,灵敏度保持定值。传感器的线性范围越宽,则其量程越大,并且能保证一定的测量精度。在选择传感器时,当传感器的种类确定以后首先要看其量程是否满足要求。但实际上,任何传感器都不能保证绝对的线性,其线性度也是相对的。当所要求测量精度比较低时,在一定的范围内,可将非线性误差较小的传感器近似看作线性的,这会给测量带来极大的方便。5)稳定性。传感器使
16、用一段时间后,其性能保持不变化的能力称为稳定性。影响传感器长期稳定性的因素除传感器本身结构外,主要是传感器的使用环境。因此,要使传感器具有良好的稳定性,传感器必须要有较强的环境适应能力。在选择传感器之前,应对其使用环境进行调查,并根据具体的使用环境选择合适的传感器,或采取适当的措施,减小环境的影响。传感器的稳定性有定量指标,在超过使用期后,在使用前应重新进行标定,以确定传感器的性能是否发生变化。?在某些要求传感器能长期使用而又不能轻易更换或标定的场合,所选用的传感器稳定性要求更严格,要能够经受住长时间的考验。6)精度。精度是传感器的一个重要的性能指标,它是关系到整个测量系统测量精度的一个重要环
17、节。传感器的精度越高,其价格越昂贵,因此,传感器的精度只要满足整个测量系统的精度要求就可以,不必选得过高。这样就可以在满足同一测量目的的诸多传感器中选择比较便宜和简单的传感器。如果测量目的是定性分析的,选用重复精度高的传感器即可,不宜选用绝对量值精度高的;如果是为了定量分析,必须获得精确的测量值,就需选用精度等级能满足要求的传感器对某些特殊使用场合,无法选到合适的传感器,则需自行设计制造传感器。自制传感器的性能应满足使用要求。四、传感器的发展历史 国外发展传感器枝术有两条不同途径,一条是以美国为代表的走先军工后民用、先提高后普及的路子。另一条是以日本为代表的侧重实用化和商品化,先普及后提高,由
18、引进、消化、仿制到自行改进设计创新的路子。前者花钱多,后者花钱少,速度快。 据国内专家评估,我国传感器技术与国外先进国家相比,在科研开发上要落后10年,在生产技术上则要落后15年。 国外传感器技术发展较快,主要有以下几方面原因:1、非常重视传感器功能材料研究。 2对传感器技术开发十分重视。 3重视工艺研究。4重视质量管理与市场分析。 当今传感器技术发展大体经历了以下四个阶段: (1)结构型传感器例如应变式位移计。 (2)物性型传感器例如固态压阻式压力传感器。 (3)智能性传感器例如美国霍尼威尔公司的ST-3000型智能压力传感器,它带有微处理器,具有检测和信息处理功能。自诊断、自适应功能。 &
19、#160;(4)分子型传感器,它是利用竹子的构形和构象以及由此而表现出电磁现象为理论基而制作的。显著特点:尺寸小到竹子级,并由一个大分子或几个分子器件所构成。 人体是各类传感器会集之处,而且绝大部分生物体内的传感器都是分子传感器。到目前为止,真正的传感器,只有在生物体内能够找到、这就提示我们,可以借助基因工程、生物合成分子传感器系统。而在我国传感器的发展现状却仍旧令人担忧。虽然我国早在20世纪60年代就开始涉足传感器制造业,那时在上海、四川、重庆等地成立的一些企业现在仍然存在。但是今天活跃在国际市场上的仍然是德国、日本、美国、俄国等老牌工业国家。在这些国家里,传感器的应用范围很广,许多厂家的生
20、产都实现了规模化,有些企业的年生产能力能达到几千万只甚至几亿只。相比之下,中国传感器的应用范围较窄,更多的仍然停留在航天航空以及工业测量与控制上。据有关资料显示,我国最大的传感器公司的年产值也仅有55000只。而且,高、精、尖传感器和新型传感器的市场,几乎全被国外品牌或合资企业垄断了。谈及国内传感器发展水平与国外相差甚远的原因,中国自动化学会的彭瑜先生认为“主要是技术基础薄弱,研究水平不高,缺乏自主知识产权。”我国从事敏感元件与传感器研制生产的企业、单位有1688家,但研制、生产综合实力较强的骨干企业较少,仅占总数的10%左右。我国目前很多企业都是引用国外的芯片加工,自主研发的产品少之甚少,自
21、主创新能力非常薄弱。甚至许多企业仅停留在代理国外产品的水平上,发展空间捉襟见肘。国产传感器企业按照长期依赖国外技术的惯性发展至今,在技术上形成了“外强中干”的局面,不仅失去了中高档产品市场,而且也直接导致自己能生产的产品品种单一,同质化十分严重。甚至有相当一部分国产产品只能模仿别人的外形,即使这样,由于技术水平低,模仿产品的灵敏度、精度和可靠性也差强人意。除此以外,我国传感器行业分布上还不均衡,在第十届中国国际传感器、测试测量展览会上,中国传感器协会副理事长谷荣祥提供了以下情况:国内传感器企业主要集中在陕西省以及东部、沿海地区,西部其他地区以及内陆地区相对较少。但是随着传感器向产业化更积极地迈
22、进,包括通用传感器在内的传感器应用领域和范围的进一步扩大,随着市场化程度的深入和客户采购制度的完善,谷荣祥先生说“未来国内传感器厂商的数量会先增后减”,从而使中国传感器产业走向规范化发展的轨道。在第十届中国国际传感器、测试测量展览会上,我们也看到了国内传感器企业发展可喜的一面。沈阳传感器中心和青鸟元芯在压力芯片制造中取得了突破,我国很多国家级的航天、电子研究所的芯片制造技术相互组合,如果再有市场因素推动,规模生产指日可待。而昆山双桥传感器测控技术有限公司、西安中星测控有限公司、宝鸡麦克传感器有限公司等开始集中力量考虑专项技术问题,并取得了一些成绩。国内也已经有企业跟踪高端传感器的发展,比如ME
23、MS技术,而MEMS已成为全球增长最快的产品之一。现在我国传感器面临着历史上的最好时刻,市场需求量大,国家政策支持,一方面许多国内企业在努力开发自己的新技术,企业管理模式大大改进,另一方面来自国际的AMA德国传感器协会还参会进行支持。范茂军所长说:“传感器的质量、价格、功能都是将来国内企业要重点提高的方面。将来国内传感器还要走好从工业过程检测向功能独立的设备仪器转化的过程,比如日常用血压计就属于此类。”大家也都相信国内企业会在取长补短上更有作为,从而争取早日与外企站在同一起跑线上,向传感器微型化、网络化、专业化进军。我们期待未来的中国传感器取得不菲的成绩,而中国传感器企业仍然任重而道远。五、传
24、感器发展的未来前景就关于21世纪传感器技术发展热点问题,谈一点个人初浅看法:传感器支持工艺是微加工技术,包括微电子和微机械加工技术,传感器技术竞争将从芯片制造工艺转化到封装技术竞争。新的封装工艺诸如阳极粘合、倒装焊接,多芯片组装等工艺将会有新的更大发展。应抓住信息产业的飞速发展和环保生态产业的兴起,21世纪的传感器市场将会有更大发展,抓住传感器发展机遇,不失时机地开发新产品,逐步形成产业,将会形成国民经济新的增长点。 多传感器信息融合技术。美国空军技术学院利用信息融合方法检验运动目标研究工作中选用了前视红外传感器和距离传感器,将近100幅的视红外图像和数十幅距离图象进行信息融合比较分析,采用特征级融合分析方法和贝叶斯最小误差分类准则,使运动目标检测准确率大大提高。 世界各国对微型电子机械系统(MEMS)给予极高重视,美国宇航局(NASA)很早就给予支持,美国国防部高级研究计划局(APPA)等机构每年投资2000万美元,德国每年投资7000万美元,日本通商产业省MITI)则拟订了一个十年内投资2亿美元的计划,美国的硅谷已成为当今世界上MEMS研究中心。随着传感器技术、固态技术、微电子技术、计算技术等学科的飞速发展,一种高精度、低驱动、高可靠性、低功耗、占用空间小、重量轻和快速响应的崭新的微型电子机械系统的传感器即
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