0配电箱包定义文件

1、包件目录1工作范围41.11.21.31.41.51.61.71.81.9总体描述：4一般描述5. 6洁净室吊洁净室隔墙系统7. 8洁净室的高架地洁净室环氧系统9. 9洁净室空调系统、一般空调系统及排. 10工艺冷却制程排气系统：121.10 工艺真. 131.11 消火栓系统141.12 自动喷水灭火系统141.13 灭火器151.14 气体灭火系统151.15 一般给排. 151.16 自动系统161.17 电气系统161.18 火灾系统181.19 吸气式烟雾探测系统(简称 ASD)191.20 广播呼叫系统201.21 工艺管线201.22 公共管架系统211.23 空间管理211.2

2、4 安装的其他要求211.25 洁净室第检测221.26 洁净包区域的管理和协调22须送审的内容2322.12.22.3施工开始前23施工期间23施工完成后243其他243.1技术资料和备件保障要求24包名称：洁净包包编号：CR第 2 页第 34 页，共 269 页包件3.23.33.4安装调试、培训25验收26服务264图纸目录265工作界面266相关规范及技术规格书337供应商资料送审要求378包文件的主要编制. 379发包37包名称：洁净包包编号：CR第 3 页第 35 页，共 269 页包件1工作范围1.1 总体描述：1.1.1本包的目的是为广州粤芯半导体技术项目提供符合相关要求的洁净

3、室系统。本12 英寸集成电路生产线项目(一期)下列专业组成：、结构、暖通、气体动力、给排水、电照、自控、通信、工艺管线、空间管理。本包工作范围不仅具有洁净度等级的洁净室，还划入本围内的非洁净室（区）的相关内容。1.1.2洁净包的组成：洁净室内装系统、洁净室空调系统、非洁净区空调系统、非洁净区通、制程排气系统、防排烟系统、工艺冷却、制程真、自动喷洒和消火栓系统、本围内的火灾系统、广、早期系统、电气，自控，公共管架等。洁净室系统包的工作范围依据图纸、技术规范以及此文件定义的范围，它还视现场状况而必须做的工作。1.1.3本包涉及为 1 号（12 英寸生产厂房）整体、2 号（连廊 1）整体。（生产调度

4、厂房）四层洁净更衣室区域、11 号1.1.4本包要求承包商完成以上所有 1.1.2 条相统的详细设计，材料/供货、检验、储存保管、现场吊装搬运、空间管理、现场安装和调试运行等工作；以及屋面管道的空间管理、相应排风管以及风管共用支架、检测及检修平台的设计，以及上述系统的补液、排污、配电、防雷、系统。及图纸是互为补充的1.1.5对于工作范围的描述，PDD 文件、工程量。1.1.6当规范、技术说明或图纸及工程量为准。中的描述发生时，应以较严格的要求1.1.7本包商必须提供本项目各环节（设计、安装、测试等）所需的人工、材料和，必须满足本技术规格书所提及的性能。特别重要的是，本章所述内容，仅为所必备的最

5、基本要求。1.1.8本包商应提供本区域内的全部清洁工作， 到符合 EPC 包商、业主的要求。洁净区域见本包洁净区其他包商的专业洁净区划图。及管线，直1.1.9本包商为了执行其空间管理信息和布局安装工作，有责任制定相关的详细设计文件。设计文件所有相关及管道安装所必须的图纸、计算书和施工计划书。此设计文件必须由 EPC 和业主批准。1.1.10 系统测试和试运行1.1.10.1 本包商应该提供本涉及的所有排风、制程排气、空调系统的第测试、调试、平衡以及试运行报告。系统测试、调试、平衡以及试运行应符合规格书所规定的标准和规范，以及和地方的法令、。本包商还应提供保证完整、包名称：洁净包包编号：CR第

6、4 页第 36 页，共 269 页包件行所需要的标准附件、技术文件、操作规程和权限。示。应采用统一、标准的代码表1.1.10.2 所有的测试需提前 2 周提交调试、测试方案，并得到 EPC 包商、业主的批准，且必须在 EPC 包商、 业主在场的情况下进认可。试结果应得到业主和 EPC 包商的签字1.1.10.3 在系统试运转期间，承包商需要提供 24 小时的现场运行监护。1.1.11 为保证及的完整性、一致性，本包商有义务以适时的方式提供给其他系统包商、施工包商所需要的系统和数据，并应和其他包商供应相同厂家相同系列的、。1.1.12 洁净室系统包商应采用与工业标准、技术规格书、图纸相一致的材料

7、和。任费何由于采用了与技术规格书和图纸不一致的材料和的替代品，而引起的额外包商负责。用或造成结构部分的修改而延误了工期，1.1.13 此包内的图纸和文件，承包商应核实其准确性，错误或遗漏应列明并在实施前提交业主或管理公司确认。承包商应根据现场的、结构、机电条件，提供合适的文件和图纸，避免任何不必要的，并遵照材料及商详图和指令的要求。1.1.14 承包商负责材料报审、现场样板施做工作，所有材料满足技术规范要求并提交报审确认后方可采购进场（颜色确认），现场施工样板确认后方可大面积施工。1.1.15 本包商配合工艺自动传输装置的安装。1.1.16 报价厂商收到标书后，有疑问、建议或与业主标书设计有偏

8、离的事项以规定的正式文件格式提交给业主，业主会以正式文件格式对各报价厂商所提事项进行统一补充、答疑或设计更改。最终之承揽责任及范围以业主标书及正式答疑文件为有效文件。承包商效。文件（含承包商之计划书）若与业主标书及正式答疑文件任何者视为无1.1.17 承包商为参考，最终文件(含承包商之计划书)与现场需配合现场规定及协调结果。有品检安全及安装计划皆视1.1.18 本包与其它包的工作界面见设计图纸。1.1.19 此围内的开洞及洞口封堵工作，见其它洁净包招标文件要求。1.2 一般描述1.2.1由本包商负责施工的电缆，其电缆压接头的施工也包商负责。1.2.2从主体钢结构（如 1 号三层静压箱内）上生根

9、的管道或采用卡具形式从钢结构上固定。的吊挂构件严禁与主体钢结构动火焊接，仅包名称：洁净包包编号：CR第 5 页第37页，共 269 页包件1.2.3工艺自动化传输设施，吊顶以下安装固定用钢结构不属于本包，但吊顶以上加固措施、异形龙骨、收边、气密等属本围。本根据厂家资料，提供所在部位吊顶系统、龙骨、吊杆等计算、复核，以最终确定龙骨、吊杆型号。1.2.4本包商应负责配合消防包商的各项验收工作，协助消防包商通过中国有关消防部门对本项目的消防验收，并配合业主保险商组织的相关验收；提供防火材料送检（费用由包商自理）。1.2.5本包内所有的消防均须经过 3C 认证，并满足当地消防部门的相关要求；其中自喷系

10、统的喷淋头、ACV 阀及高压软管须由 FM 认证。1.2.6协助业主进行环保验收，本包商应负责从当地环保局得到最终的认证，且负责本的环保验收及项目环保总验的本要提供材料送检，费用由包商自理。的配合资料提供，方案、计算书的提供。若需1.2.6.1 制程排气系统（酸性废气、碱性废气、有机废气及热排气系统）安装运行后，本，有资质测试的，会同 EPC 和业主对系统风量、负压及环保达标包商委托第排放进行检查。废气污染物执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中标准。1.2.6.2 废气处理系统的设置应避免污染物瞬时的可能性。1.2.6.3 废气处理系统排气筒高度不低于 30 米，且

11、须满足污染物综合排放标准（GB16297-1996）的要求。报告书及大气1.2.6.4 噪音、保温满家相关规范。该项目所在地为工业用地区，其声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类标准，即昼间 65dBA，夜间 55dBA。1.2.7所有机械、管道、阀门、电气元件、系统等的标识或挂牌，根据业主以及 EPC 包商标准制作系统标识，并递交供审核；1.2.81.2.91.2.10所有风管出屋面的楼板洞，本采用镀锌钢盖板进行密封，并采取防水措施。负责屋面本责区域内的区域照明和、管道的防雷接地。公共管架系统：提供并安装本围管道支撑系统及抗震支吊架、一层及二层的共用管架，主要包含热镀

12、锌成品 C 型钢支架及热镀锌 H 型钢支架及其附属构件。依附于 1 号外墙的外立管的管道支架也属于本围，需在楼层处设置对应的承重型的立管支架。各类管道支架与主体结构的连接件、钢牛腿、后锚固锚栓等均属于本包范围。1.2.111.2.121.2.13严格执行技术规格书15240机械振动和隔振的相关要求。提供可靠合适的临时设施和备品，确保安装阶段的现场成品保护。本涉及的系统在移交之前，系统的运行维护在本包的工作范围之内。1.3 洁净室吊包名称：洁净包包编号：CR第 6 页第 38 页，共 269 页包件1.3.1本项目洁净室吊顶采用悬挂式吊用于过滤单元的安装。吊包含阳极氧化铝处理的 T 型龙骨及锌合

13、金连接件。吊的组装在现场将龙骨与连接件通过螺栓连接而实现，洁净室动力系统如灯具电缆，喷淋头等若需穿过吊顶，可以通过吊顶连接件上的螺纹实现。具体但不限于：1.3.1.1吊顶龙骨为阳化处理，T 形挤型铝。龙骨上下凹槽强度、接头强度需提供业主认可的第测试报告。1.3.1.21.3.1.3盲板，盲板需设置金属固定夹与龙骨紧密固定。方，梁夹，型钢连接用螺母及垫圈，方形调节器/洁净室二次钢构系统连接器（如需要），螺杆及和所有必要的配件。1.3.1.4吊顶龙骨每个连接件需采吊杆悬吊在二次钢构上。1.3.1.5AMHS 轨道区域吊顶龙骨需加强，应按照 AMHS 支架反向点对点增设吊杆（含五金连接配件）并补强镀

14、锌型钢（双面 C 型钢），根据每个吊点荷载，提供深化设计安装详图。1.3.1.61.3.1.71.3.1.8挡烟垂壁，3C 认证。吊顶静压箱分隔板和维修门，型钢和镀锌钢板封板（至少 1.2mm 厚）。回风道内钢格栅（含支撑结构钢构等辅材）以及猫道、吊顶的护栏，回风道内管道必须的维修平台及钢爬梯，需提供深化设计安装详图。1.3.1.9 回风道内洁净室钢楼梯，需提供深化设计安装详图。1.3.1.10 负责所有在洁净室内吊顶穿孔、吊顶上分隔板穿管、下夹层隔墙穿管的总协调，开收边密封工作。1.4 洁净室隔墙系统1.4.1洁净室隔墙系统将会安装于指定位置以形成房间布局，在所有洁净室范围内的混墙体、硅酸钙

15、板以及结构柱都会覆以洁净金属壁板，每层金属壁板其高度直至本层顶部。墙体系统由铝合金骨架，金属龙骨固及金属墙板（墙板为铝蜂窝或岩棉板外覆抗静电环氧涂层钢板）。该墙体系统为模块可拆式，其以 1.2m 为单元进行组装 / 拆除 / 重组。方式墙体1.4.2洁净室内墙板的耐火极限不应低于 0.4h，洁净生产与一般生产区域之间隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于 1h，需提供洁净壁板的防火构出具的耐火极限形式检验报告。1.4.3隔墙及视窗应符合 FM4910 认证材料。材料质量监督检验机1.4.4 洁净室隔墙系统的供应及安装，1.4.4.1 洁净室内隔间墙板和视窗（透明及但不限于：）。包名称：洁净包包编号

16、：CR第 7 页第 39 页，共269 页包件1.4.4.2 金属框架系统构及抗风抗压结构。1.4.4.3 安装在洁净室墙上的洁净室铝合金铝合金门框、墙体立柱和龙骨、固定件等墙板安装所支撑结五金件（闭门器、门把手、Master-key、门锁、门底自动升降条等），含单开门、双开门、自动移门、检修门等。1.4.4.41.4.4.5寸大于1.4.4.6墙上回风百叶。外墙设置有消防口处，需在内墙铝蜂窝板上增设第二道窗或者安装尺窗的通道门（隔墙与所有洁净室墙板上的穿墙开窗之间有通道处）。收边处理工作（与土建包的墙体收边），包括但不限于：工艺管道。、紧急冲淋器、消火栓箱和管道、其它和管道、其它包商的1.4

17、.4.7供应及安装填缝料（密封胶应采用不含硅的洁净室密封胶），用于所有洁净封。例如洁净室内所有开孔，收1.4.4.8负责所有开关、插座、温湿度缝隙处封堵。显示屏等在洁净室内的墙板穿孔的总协调，开收边工作。1.5 洁净室的高架地1.5.1洁净室的高架地的供应及安装工作，但不限于：1.5.1.11.5.1.21.5.1.31.5.1.4面板：600×600mm高架地板高度：CMP 区：1000mm，除此之外其它洁净室：600mm。导静电地网的敷设。铝合金压铸后的铸件，于机械前必须先进行表面喷丸处理，以强化表面洁净度，避免对洁净度等级造成影响，并同时去除铸件表面的氧化膜、铁锈及其他脏污物或

18、表面瑕疵，机过程应避免油污沾染，制作完成后，应配合施工阶段之洁净要求进行妥善清洁及包装。1.5.1.5 铝合金地板背面应明确以模铸方式标注:地板品牌、型号及生产日期。1.5.1.6 贴面粘着强度:须大于 2.0MPa，测试时取面砖 5 点做拉力试验。1.5.2高架地板由以下材料组成：1.5.2.11.5.2.21.5.2.31.5.2.41.5.31.5.4板，乙烯基板贴面，厚度 2mm。脚架（含抗举螺栓）、横梁，斜支撑及必须的相关配件。面板四个角应与脚架固定。脚架应用膨胀螺栓固定在地面上。高架地板分隔板。搬入通道及额外的斜支撑(间距1.2m)。收边工作在环氧地面和高架地板的交接处，门口或通道

19、处需加盖 5mm 厚不锈钢通道两侧推车可正常通行。包名称：洁净包包编号：CR第 8 页第 40 页，共 269 页包件1.5.51.5.61.5.71.5.81.5.9要。整个高架地板区域需采用 PVC 薄膜保护。高架地板的清洁工作。负责高架地板及其它洁净室材料在现场存放的保护工作。盲板和带孔板的比例需核算并按需配置，投标时提供深化图纸。洁净预留区不设置高架地板，但包商应用高架板搭接台阶以满足通道处高差的需1.6 洁净室环氧系统1.6.1洁净室环氧系统，含现场理的工作。、混地面打磨找平、局部地面凹坑修补处1.6.1.11)2)3)2.0mm 厚导电环氧自流平地面，主要二层洁净室技术下夹层楼面；

20、二层回风道楼面；二层洁净预留区楼面如下施工区域：其它区域详见图纸装修表。1.6.1.21)2)3)4)5)0.5mm 非抗静电普通环氧，主要如下施工区域：洁净室下夹层除SMC 模壳外的梁、柱、板表面。静压箱上部的结构混表面等，涂层厚度约 0.5mm。洁净室回风夹道内从二层到屋面高度所有的上部楼面。、柱面、梁面和剪力。二期洁净室所有在室内的混上部楼面。构件以及除SMC 模壳外的梁、柱、板表面。整个6)1.6.1.31)2)3)4)其它区域详见图纸装修表。导电 PVC 地砖，主要如下施工区域：2 号换鞋间、洁净更衣室。连廊 1 中洁净走道及参观参观走道。其它区域详见图纸装修表。以上工作均含现有混表

21、面的修整、打磨、修补及吹洗等基层处理工作，含墙面及柱面的腻子刮平处理。1.7 洁净室空调系统、一般空调系统及排/区域内（本围内的洁净区域及非洁净区域），所有通风（不卫生间）及空调系统的、风管及水管、阀门等材料的采购、现场吊装搬运、卸货、现场保管、组装、调试运行等。但不限于以下系统：1.7.1区及支持区洁净室空调系统包名称：洁净包包编号：CR第 9 页第 41 页，共 269 页包件1.7.1.1洁净新风空调机组（MAU），加湿器、循环水泵（含减震台座）、加湿器液位计、电导率仪表、水洗循环配管、阀门、仪PLC盘、补排水电动阀、表、补水、排水管道、阀门等；1.7.1.21)2)FFU 系统：FFU

22、 采购和安装；和监视系统含所有必要的软硬件，如通讯卡、网关、中继、电脑、线缆、线槽等，实现实警功能；线布置、编程、调试和所有必要的服务；3)4)1.7.1.31)2)1.7.21.7.31.7.41.7.51.7.6设计、提供系统项目验收前所有 FFU 入风口需加装无纺布，并在验收移交前定期更换。DCC 系统DCC 采购和安装；DCC 水管、阀附件的采购及安装。洁净洁净区、洁净更衣室、洁净排风、排烟、补及洁净连廊的空调、排；非洁净区空调系统；非洁净区风管排风、事故排风、气体灭火后排风、事故排；，风管、保温、软连接、支吊架、手动调节阀、电动/电磁风阀（含执行器）、防火阀（70）、排烟阀、排烟防火

23、阀（280）、风口、软管的供货及安装；1.7.7水管，空调热水管、中温冷冻水管、低温冷冻水管、加湿水管、阀门、；排气阀、软管、伸1.7.81.7.91.7.101.7.111.7.121.7.131.7.141.7.15空调水管的电动两通阀由 FMCS 包提供，本提供和安装减振弹簧、减振垫；风管、水管保温；风管上的检查口的安装。责安装；此系统消耗品备品（初、中效空气过滤器每台配两套）的供应。MAU 及NMAU 机组外气口提供并安装无纺布保护，负责无纺布更换至项目验收。该系统的工作范围但不限于以、风管、阀。配件等）采购及安装不属于本围。卫生间排（1.8 洁净室离子棒系统1.8.1招标文件不提供离

24、子棒系统设计图纸，由包商依据经验进行设计。本设计、采购、安装、调试及验收。责系统1.8.2洁净室 Waferstar、Mask room、光刻区（）三个房间内上方安装吊顶式离。提供范围:离子棒系子棒, 达到静电要求，并按以下布置原则布置离子包名称：洁净包包编号：CR第 10 页第 42 页，共 269 页包件统器，离子发生器，离子发射电极杆和发射针尖，供电和信号，红外线（IR），手持式终端器等。器（HHT），安装铝合金支架，电线，通讯线，线槽，系统1.8.3布置原则：根据机台 layout 进行离子1.8.4衰减时间：1000V®100V<35sec)1.8.5离子发生器安装：

25、保证发射针尖离高架地板至少 3 米距离。之间距离为 1m。布置，离子1.9 工艺冷却1.9.1工艺冷却循环开车；（以下简称 PCW）需要的设计、采购、安装、调试、1.9.2 工作内容：包含 PCW 机房（含水-水换热器、过滤器、加压水泵、膨胀至洁净室主管道（二次配管除外）；PCW 系统应急补水等。1.9.3 本包商有责任协调本区域内管道与其他承包商的管道，负责管道空间管理。等）1.9.4关于承包商二次设计文件审核：为确保承包商提供的或者服务符合招标文件，并能有效满足生产工艺的要求，承包商就本有相关内容所进行的二次设计均应提交业主，项目设计方确认后，方可实施。业主方、项目设计方的确认，不能成为减

26、免承包商责任的理由，承包商的责任就是提供符合相关技术规格书要求的整体系统。1.9.5 本包不1.9.5.1 不1.9.5.2 不的工作范围：二次配管部分（即从隔断阀接至工艺），接口详见图纸。PCW 系统补充水的。详细接口见图纸。1.9.6承包商的工作应系统的设计、预制、现场安装、启动、认证、调试、提供业主培训等。承包商必须提供原厂厂验，每批次四人，共分二批次，费用由承包商负责。1.9.7本工程范围运送、安装、制作及测试调整以下 PCW 系统：、PCW 循环水泵、板式换热器及过滤器、水泵减震机座。1.9.7.11.9.7.21.9.7.31.9.7.41.9.7.51.9.7.61.9.7.71

27、.9.7.8PCW 膨胀Filter tank 区域维修平台。水泵区域维修走道平台。 站房内钢构支撑剂避震。 所有的系统内部连接管路。生产厂房内的一次配管，并预留隔断阀，具体内容详见图纸。的本包上位系统，该系统应提供与全厂管理系统（FMCS）的接口。及器等硬件的选择应满足业主及FMCS 包商的相应规定及要求。包名称：洁净包包编号：CR第 11 页第 43 页，共 269 页包件1.9.7.9本按照 FMCS 包商的要求提供但不限于：数据FMCS 的集成工作等。、上位画面、配合完成1.9.7.101.9.7.11至1.9.7.121.9.7.131.9.7.141.9.7.151.9.7.161

28、.9.7.171.9.7.18PCW 系统的配电系统采用 220/380V、50Hz，接地型式为 TN-S。工作范围：包含变电站至 PCW一、二次侧电源均。工作计算机。室，PLC系统不间断电源。承包商应该提供必要的结构支撑系统来支持上述和管道。本负责系统的调试。站房内的空间管理由本负责。本必所负责的管线进行空间，并积极与其他承包商协调负责公共区域的空间管理。1.9.7.191.9.7.201.9.7.21承包商须提供系统所有滤筒整体更换的备用滤芯。工艺冷却循环的技术要求，详见技术规格书 11206若无特别考虑就涉及系统行，应利用器发出脉冲信号本包内所的启动、停止信号各为 1 个发自器的 DO

29、信有电号。的启动及停止，即电1.10 制程排气系统：1.10.1 制程排气系统1.10.2 制程排气系统酸性废气、碱性废气、有机废气和热废气系统。包商进行完整系统（室内和室外部分）的二次深化设计、采购、安装、调试及试运行。且不限于：室内及屋面风管、选型、配电、加药、储液、补液、排污及系统等。配电、系统布置在四层及屋面的电气间内。管设定确定：酸废气、碱废1.10.3 四种制程排气系统的排气风压，须依据气、有机废气系统的管设定为-1800Pa，热废气系统管设定为-1500Pa。1.10.4 加药泵房位于 1 号南侧一层支持区，内设气动加药泵（N+1 台）、储液箱等。1.10.5 室内排风管从支管预

30、留阀门+盲板至使用点不属于本围。1.10.5.1 从 1 号通过管架接至子项的酸废路系统也属于本围，界面为废气排风管进入子项墙内 1 米，界面位置详见平面图。1.10.6 所有制程排风采用直联驱动，变频；变频单独设置降温风扇，冷却方式为 IC416 或 IC616。电机能效标准要达到 IE3(对应标准 2 级能效)。1.10.7 1 号均设置洁净室内酸、碱、有机、热排风所有支干管末端及接至干管的阀门附近表，末端还需设置传感器。包名称：洁净包包编号：CR第 12 页第44 页，共 269 页包件1.10.8 1 号每个系统屋面集管底部均设置排水（液）管及阀门；酸、碱排气系统管路应在低端设置积液排

31、放系统，其积液排放系统应连接到相应的废液收集系统中。1.10.9 1 号酸废气、碱废气系统的中和液储存罐和加药泵放置屋面。1.10.10供应和安装所有制程排气系统内的烟囱以及烟囱的支架、检测口、避雷针等必要措施，其中烟囱的支架钢构需提供详细的设计图纸。1.10.11 提供排风烟筒检测孔的位置及检测平台，且须满足环保部门的检查要求。所有的、台座，不得与操作平台接触，需完全监测：。1.10.121.10.12.1 废气处理系统每个排气筒设置 1 个监测孔，根据当地环保部门要求的检测内容，提供HZ477-2009。检测仪器。监测和传输应符合行业标准1.10.13在洗涤塔出求。及所有烟筒上设置采样点。

32、采样点的位置应满家规范的要1.10.14有机废气处理系统：1.10.14.1 1 号协调上述相1.10.14.2 1 号屋面的天然气用量、用水量、CDA、N2 使用量的计算工作，并配合、统的安装工作；屋面有机废气燃烧器采用低 NOx 型，燃烧后排放的氮氧化物浓度低，燃烧器进出气的导流装置在满足处理效率的前提下，保障高可靠性和低维护性，提供详细的方案说明。1.10.14.31.10.14.41.10.14.51.10.151.10.15.11.10.16活性炭填充量按更换周期 15 天考虑。有机废气处理系统应设置导除静电的保护装置。应设置导除静电的保护装置。系统二次配预留接口的盲板封堵。的系统，

33、该系统应提供与全厂管理系统（FMCS）的接口。、上位画面、配合完本按照 FMCS 包商的要求提供但不限于：数据成 FMCS 的集成工作等。1.10.17按照包件及技术规格书要求，提供报审文件，经 EPC 和业主审核通过后方可实施。1.10.18该系统的工作范围但不限于以。1.11 工艺真1.11.11.11.21.11.3生产厂房内成套工艺真空泵盘、机组的附件；、工艺真空管道、排道的供货及安装；配套真空泵系统配套的冷却；包名称：洁净包包编号：CR第 13 页第 45 页，共 269 页包件1.11.41.11.51.11.6作。真空泵系统的配套供电系统；真空泵系统的配套系统。为提供全厂管理系统

34、（FMCS）的通讯接口，配合完成 FMCS 的集成工1.12 消火栓系统1.12.1 供应及安装 1 号生产厂房和 2 号洁净室内部分消火栓管道,室内消火栓，消火栓箱、水枪、水带、水带卷盘和消防按钮，所有应满足 3C 认证。1.12.2 供应及安装上述室内消火栓系统的管道支架、阀门、弯头与其它配件。1.12.3 承包商提供支吊架的详图，并清楚地 标注上计算。1.12.4 供应油漆并负责所有消火栓管道的油漆工作。；还应在图纸上显示支吊架的1.12.5 除非另有说明，洁净区内消火栓管道应全部采用红色标识，洁净区外刷红色面漆并标识。1.12.6 消火栓箱颜色和材质应配合物内装修要求,并符合当地消防部

35、门要求。1.12.7 室内消火栓系统安装完成后应取屋顶试验消火栓和首层取二处消火栓做试射试验，达到设计要求为。1.13 自动喷水灭火系统1.13.1 供应及安装 1 号生产厂房和 2 号洁净室内部分的自动喷水灭火系统（包括：湿式自动喷水灭火系统、预作用自动喷水-联用系统）喷淋系统喷淋管道、，开闭式喷头、水流指示器、水力警铃、闸阀、泄水阀、末端试水装置等。开关、延迟器、过滤器、截止阀、表、1.13.2 供应及安装整个自动喷水灭火系统的管道支架、防震支架、阀门、弯头与其它配件。1.13.3 承包商提供支吊架的详图，并清楚地 标注上计算。1.13.4 当梁、通风管道、成排布置的管道、桥架等大于 0.

36、6m 时)，其下方应增设喷头，增设喷头的上方集热时应设集热罩。；还应在图纸上显示支吊架的物的宽度大于 1.2m 时(仓库区域缝隙时或上方为圆形风管无法1.13.51.13.61.13.71.13.8供应油漆并负责所有喷淋管道的油漆工作，2 遍底漆 1 遍面漆。除非另有说明，喷淋管道应全部采用红色涂层。承包商需要在施工过程中提供对已安装喷头进行成品保护。各种不同规格的喷头均应有一定数量的备用品，其数量不应小于安装总数的 1%，且每种备用喷头不应少于 10 个。包名称：洁净包包编号：CR第 14 页第 46 页，共 269 页包件1.13.9 消防1.13.10 当火警费用。及其管。、管线与其他系

37、统时，承包商需要负责配合修改，不得追加任何1.13.11 承包商应负责复核管线和电缆的安装长度。1.13.12 任何需要用于感温电缆安装的接线盒、支撑、支架等应当1.13.13（补充二期消防设施描述）在本范围内。1.14 灭火器1.14.1 供应及安装 1 号生产厂房和 2 号洁净室内部分的灭火器。1.15 气体灭火系统1.15.1 高压 CO2 气体灭火系统（应用于变配电间等位置）;1.15.1.1 系统部件（）采用 3C 认气体钢瓶、阀门、喷头、泄压阀证。1.15.1.21.15.1.31.15.1.4承包商应提供完整的高压 CO2 气体灭火系统；承包商应提供完整的系统及盘；承包商应根据设

38、计要求对高压 CO2 气体灭火系统进行二次设计及深化设计；1.15.2 七氟丙烷气体灭火系统1.15.2.1证的1.15.2.21.15.2.3）采用 3C 认系统部件（。气体钢瓶、阀门、喷头、泄压阀承包商应提供完整的七氟丙烷组合分配灭火系统；承包商应提供完整的系统及盘；1.15.3 承包商应根据设计要求对七氟丙烷组合分配气体灭火系统进行二次设计及深化设计。1.15.4 （泄压装置描述，与土建是否有界面）1.16 一般给排1.16.1但不限于供应及安装 1 号生产厂房和 2 号洁净室内的生活加压给水系统(DW)、自来CIW）、生产给CW1&CW2）、冷凝水回收系统（CDW）、详细位置见

39、相关图纸。生活污生产废水排。面1.16.2 生活加压给包工作范围；本(DW)；加压泵设在 3 号L10 层，加压泵、等为机电责供应及安装 1 号生产厂房和 2 号洁净室内的管道及阀门等。面详细位置见相关图纸。包名称：洁净包包编号：CR第 15 页第 47 页，共 269 页包件1.16.3 生产给（CW1&CW2）：加压泵设在 7 号L10 层，加压泵等为机电包洁净室内的管道及阀门等。工作范围；本责供应及安装 1 号生产厂房和 2 号面详细位置见相关图纸。1.16.4 冷凝水回收系统（CDW）：加压泵设在 1 号L10 层 PCW 站房内，加压泵、责将 CDW 供水详细位置见相关图纸。

40、1#生产厂、收集及供水管包工作范围；本房外 1 米，其后为机电包商工作范围。面1.16.5 一般生产废；重力排水（D）及排水（DP），不需经废水站处理的一般排水、站房的拖布池排水等。1.16.6 卫生间给排：给水主管或主立伸进卫生间 1m 并预留阀门由本责。卫生间附近的排水立管预留排责，从预留阀门后接至各卫生器具的管路由土建水三通由本生间排水责，卫生间器具排水预留排水三通的管路由土建责。首层卫由土建责。1.17 自动系统1.17.1 自动系统中洁净包主要负责：1.17.1.1 空调系统1)2)风管上电动/气动风阀及执行器的采购、安装；所有 MAU、AHU、NMAU、DCC 等空调系统水管路上电

41、动/气动两通阀及其附件由 FMCS 包采购，本责安装；3)洁净围内空调水管路上温度变送器、流量变送器（含配套附件、导压管及球阀）等由 FMCS 包采购、安装；仪表附件的安装；附件由 FMCS 包采购，本责4)洁净围内空调风管路上的温度变送器、流量变送器（含配套附件、导压管及球阀）、附件等由 FMCS 包采购及安装。5)FFU 系统的自控系统，并为 FMCS 提供通讯接口。1.17.1.2 负责 PCW 系统、工艺排及 PV 系统的自动，整合并预留通讯接口给FMCS。接口形式须满足 FMCS 包商的要求，并配合 FMCS 包商完成通讯调试。1.17.2 提供 FMCS 包商组态开发所需画面，并协

42、助完成 FMCS系统，实现 FMCS系统的功能。1.17.3 根据业主及 FMCS 包要求，配合 FMCS 完成能源管理系统所需的号信息传输及图控等工作。，信1.18 电气系统1.18.1 非本围：包名称：洁净包包编号：CR第 16 页第 48 页，共 269 页包件工艺二次配电不属于本围。二次配包商负责由母线预留的插接口引插接及相关支线电缆、桥架（除图中已表示的插接箱、电箱电缆、I-LINE 盘及配至工艺缆、I-LINE 盘外）。纯水、废水、化学品供应、特气、大宗气的系统包商自带盘柜的上游电缆、桥架由洁净责，并接至上述包商自带电控柜。上述电控柜及其下游配电由各自包商负责。1.18.2 本包工

43、作范围：1 号12 英寸生产厂房内（除变配电室采购安装，以及纯、废水、特气、化学品、大宗气等包内配电外）的所有配电、照明、接地工程。四层洁净更衣室内的配电、照明、接地工程。11 号连廊 1 以及 2 号桥架界面：1 号内：变电所安装责出变电所 1.0m 或第一个弯头；洁净包负责接变电所桥架并引至纯水、废水、化学品供应、特气、大宗气的站房（或室）内包商自带电控柜；连廊 1 内所有桥架及 2 号责其电控柜的出线桥架并敷设至其洁净更衣室内的桥架。末端。11 号1.18.2.1 提供以下/材料：1) 1 号为工艺配电的插接母线的采购及安装调试。母线由变配电室低压屏引至洁净室下夹层，并在母线插接段预留插

44、接口，每根母线按图纸要求设置一至两台 I-LINE 盘，其余插接箱、I-LINE 盘由二次配责；2) 1 号及其他动力、连廊 1、更衣室区域用配（照明、杂项、检修、AHU、FFU等）、VFD 及滤波器盘柜；3)4)5)6)7)8)MAU 用配电、VFD 及滤波器、DCBANK 盘柜；制程排气系统的深化设计，及其系统用配电、VFD 及滤波器、DCBANK 盘柜；PCW 系统的深化设计，及其用配电、VFD 及滤波器、DCBANK 盘柜；用配电、VFD 及滤波器、DCBANK 盘柜；真由 1 号引至 2 号的 380/220V 电缆，由本责。包含 1 号范围内火灾漏电系统与消防电源系统的采购安装和调

45、试。包含1 号内以上两系统的区域分机，并负责将信号引至 3 号主机。CUB 两系统的9) 现场开关箱和操作按钮；10) 灯具、开关和插座；11) 线管和所有桥架（详见 1.18.2 内桥架界面），照明线槽及配电管安装附件；12) 低压电缆/电线（含防火电缆）（13) 接地电缆/电线，静电接地；上述 1.21.2 范围内所有电缆、电线）；14) 落地槽钢基础和挂墙配电箱 U 型钢支架；15) 接线盒含盖板及端子板。包名称：洁净包包编号：CR第 17 页第 49 页，共 269 页包件1.18.2.2提供以下安装工作：1)2)3)4)5)6)7)变频器柜及变频器装置卸货、移入、安装、测试和试运行。

46、动力及照明配电箱安装、测试和试运行洁净室吊装口的各卷帘配电。照明线槽安装，测试，运行调试。动力、照明、MCC、FFU 等盘。开关装置及操作按钮安装、测试和试运行。照明灯具、开关和插座的安装、测试和试运行。安装从低压开关装置到电气和机械的电缆梯架、电缆槽盒、电缆线槽、电缆管及其附件。8) 安装从动力/照明/检修插座配电箱至照明灯具、开关、插座、电动门、传递窗、FFU 及其箱等的电缆梯架、电缆槽盒、电缆线槽、电缆管及其附件。9) 按照单线图或电缆表敷设电气和机械电缆/电线。(或包商提供的现场盘)的低压和10)关11)安装和连接从接地铜排到配电的接地电缆线。、动力机械、电缆桥架、管道及其他相安装和连

47、接从接地铜排到静电地板、墙板、顶板、FFU 和电缆桥架、管道及其他电气的接地电缆线。12) 提供低压配电、照明和插座系统的测试和试运行以及接地系统的测试。13) 提供洁净室照明、插座、FFU 及其他配电回路/系统的测试和试运行以及静电接地系统的测试。14)15)16)a)b)排气系统保护接地和防雷接地的连接工作，排烟烟囱的接地至防雷网。提供开关柜、配电箱内进出电缆的电缆承包商应提供所有临时设施和用具如： 电气测试用临时电源。工作区域的临时工作照明。头。1.19 火灾系统1.19.1装。1.19.21)用户需求的调研及优化、深化设计。按国标、保险商及业主要求进行设计、安本包主要内容及与他提供并安

48、装 1 号面：内火警区域主机及所有火警，包含但不限于：感烟探测器、手动按钮及声光警报器及所有火警系统所需的桥架、管道、线缆；消防责提供接口，火警区域主机的接入及配合调试由洁净包完成；包名称：洁净包包编号：CR第 18 页第 50 页，共 269 页包件2)提供并安装 2 号洁净更衣室内全部火警，包含但不限于：感烟探测器、手动按钮及声光警报器及所有火警系统所需的桥架、管道、线缆；火警信号回路由洁净包引至消防围最近回路接点位置，并负责接线，线在内;与之相关的电源线和3)4)线敷设至 3 号1 层消防本责将本围内的全部手动直接室；供应及安装由接口模块接线箱(消防总包提供)至消防线。插孔之间的管、线及

49、接5)提供并安装本围内防火门监视系统所需的区域器、防火门模块（含所需附件）及配套管道、线缆、桥架及全部附件；1.19.31.19.41.19.51.19.6测试本围内火警系统管、线的连通及线路绝缘正确可靠。配合消防总进行警系统全点位测试和全系统联动测试。供应和安装所有的标示，排烟按钮对应排烟口的编号等。本围内的管道空间协调工作，并作为深化设计资料提交设计审核；当火警设备、管线与其他系统时，承包商需要负责配合修改，不得追加任何费用。1.19.71.19.81.19.9承包商应负责复核管线和电缆的安装长度。所有金属软管、任何需要用于头和接地线等配件必须在承包商的工作范围内。安装的接线盒、支撑、支架、装置等应当在本范围内。1.19.10 承包商承担本保接地可靠。1.19.11 所供应的火警围内的消防线路的防火桥架（汇聚线槽）的供货和